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1. 发明公开

CN107407611A 三极管型电离真空计有权
公开(公告)号：CN107407611A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680013476.6
申请日：2016-02-10
申请人：株式会社爱发科
发明人：宫下刚 , 中岛丰昭 , 福原万沙洋
IPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04
CPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04
摘要：本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG)，具有灯丝(2)；配置在灯丝周围的具有筒状的轮廓的栅极(3)；以及在栅极周围同心配置的筒状的离子收集器(4)。离子收集器的母线方向的长度(L2)设定在栅极的母线方向的长度(L1)的6％～80％的范围内，省去离子收集器的母线方向的两端部的粒子释放区域。

2. 发明授权

CN101133308B 真空测量仪有权转让
公开(公告)号：CN101133308B
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN200680007086.4
申请日：2006-03-01
申请人：英飞康有限责任公司
发明人： W·克纳普 , M·沃斯特
IPC分类号： G01L21/30 , G01L21/32 , G01L21/34 , H01J1/30 , H01J1/304 , H01J41/00 , H01J41/02 , H01J41/04 , H01J41/06 , H01J41/08 , H01J41/10 , H01J19/00 , H01J19/02 , H01J19/04 , H01J19/10
CPC分类号： G01L21/32 , G01L21/12 , H01J1/3042 , H01J41/04
摘要：本发明提出一种发射电子的阴极(6)，它由装接到由不锈钢制成的侧壁(2)上的导电的发射层(7)和门(9)，将该门以很小的距离固定在发射层(7)的凹入的发射表面的内部。阴极(6)围绕着一个反应区域(3)，该反应区域包含一个圆柱形的筛网状的阳极(5)和一个位于中心的离子收集器(4)，该离子收集器包括一直的轴向细丝。电流计(11)测量反映在反应区域(3)中气体密度的离子收集器电流(IIC)，同时将门电压(VG)保持在发射层(7)的地电压与较高的阳极电压(VA)之间，并且调节门电压，其方式使得将阳极电流(IA)保持不变。发射层(7)可包括碳纳米管，金刚石状的碳，一种金属或一种金属混合物，或者一种半导体材料，半导体材料例如是可以比如用碳化物或钼涂布的硅。然而，发射表面也可是例如被化学刻蚀过程变粗糙的侧壁的内表面的一部分。门(9)可以是一种筛网，或者，它可以包括覆盖分布在发射区上的隔离器的金属薄膜小片或覆盖设置在发射表面上的电子可穿透层的一层金属薄膜。

3. 发明公开

CN104303033A 用于高压操作的电离计有权
公开(公告)号：CN104303033A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201380014817.8
申请日：2013-02-07
申请人： MKS仪器公司
发明人： G·A·布鲁克尔
IPC分类号： G01L21/32
CPC分类号： G01L21/32 , G01L19/0627 , G01L21/30 , H01J1/52 , H01J41/02 , H01J41/04
摘要：一种电离计，在控制由操作在高压下的溅射得到沉积的位置而测量压力，所述电离计包括至少一个发射电子的电子源，和限定电离体积的阳极。电离计还包括用于收集在电离体积中由电子与气体分子和原子之间的碰撞所形成的离子的收集器电极，以提供气体压力输出。电子源可以被定位在电离体积的端部处，使得电子源到溅射离开收集器电极和包层表面的原子束的暴露最小化。可替换地，电离计可以包括电离体积的外部的第一遮挡件，所述第一遮挡件被定位在电子源和收集器电极之间，并且可选地，处于包层和电子源之间的第二遮挡件，使得溅射离开包层的原子受到抑制不在电子源上沉积。

4. 发明公开

CN101133308A 真空测量仪有权转让
公开(公告)号：CN101133308A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200680007086.4
申请日：2006-03-01
申请人：英飞康有限责任公司
发明人： W·克纳普 , M·沃斯特
IPC分类号： G01L21/30 , G01L21/32 , G01L21/34 , H01J1/30 , H01J1/304 , H01J41/00 , H01J41/02 , H01J41/04 , H01J41/06 , H01J41/08 , H01J41/10 , H01J19/00 , H01J19/02 , H01J19/04 , H01J19/10
CPC分类号： G01L21/32 , G01L21/12 , H01J1/3042 , H01J41/04
摘要：本发明提出一种发射电子的阴极(6)，它由装接到由不锈钢制成的侧壁(2)上的导电的发射层(7)和门(9)，将该门以很小的距离固定在发射层(7)的凹入的发射表面的内部。阴极(6)围绕着一个反应区域(3)，该反应区域包含一个圆柱形的筛网状的阳极(5)和一个位于中心的离子收集器(4)，该离子收集器包括一直的轴向细丝。电流计(11)测量反映在反应区域(3)中气体密度的离子收集器电流(IIC)，同时将门电压(VG)保持在发射层(7)的地电压与较高的阳极电压(VA)之间，并且调节门电压，其方式使得将阳极电流(IA)保持不变。发射层(7)可包括碳纳米管，金刚石状的碳，一种金属或一种金属混合物，或者一种半导体材料，半导体材料例如是可以比如用碳化物或钼涂布的硅。然而，发射表面也可是例如被化学刻蚀过程变粗糙的侧壁的内表面的一部分。门(9)可以是一种筛网，或者，它可以包括覆盖分布在发射区上的隔离器的金属薄膜小片或覆盖设置在发射表面上的电子可穿透层的一层金属薄膜。

5. 发明授权

CN107407611B 三极管型电离真空计有权
公开(公告)号：CN107407611B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201680013476.6
申请日：2016-02-10
申请人：株式会社爱发科
发明人：宫下刚 , 中岛丰昭 , 福原万沙洋
IPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04
CPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04
摘要：本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG)，具有灯丝(2)；配置在灯丝周围的具有筒状的轮廓的栅极(3)；以及在栅极周围同心配置的筒状的离子收集器(4)。离子收集器的母线方向的长度(L2)设定在栅极的母线方向的长度(L1)的6％～80％的范围内，省去离子收集器的母线方向的两端部的粒子释放区域。

6. 发明授权

CN104303033B 用于高压操作的电离计有权
公开(公告)号：CN104303033B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380014817.8
申请日：2013-02-07
申请人： MKS仪器公司
发明人： G·A·布鲁克尔
IPC分类号： G01L21/32
CPC分类号： G01L21/32 , G01L19/0627 , G01L21/30 , H01J1/52 , H01J41/02 , H01J41/04
摘要：一种电离计，在控制由操作在高压下的溅射得到沉积的位置而测量压力，所述电离计包括至少一个发射电子的电子源，和限定电离体积的阳极。电离计还包括用于收集在电离体积中由电子与气体分子和原子之间的碰撞所形成的离子的收集器电极，以提供气体压力输出。电子源可以被定位在电离体积的端部处，使得电子源到溅射离开收集器电极和包层表面的原子束的暴露最小化。可替换地，电离计可以包括电离体积的外部的第一遮挡件，所述第一遮挡件被定位在电子源和收集器电极之间，并且可选地，处于包层和电子源之间的第二遮挡件，使得溅射离开包层的原子受到抑制不在电子源上沉积。

7. 发明公开

EP0827179A1 Single potential ion source 失效
标题翻译： Einfach-Potential Ionenquelle
公开(公告)号：EP0827179A1
公开(公告)日：1998-03-04
申请号：EP96306329.2
申请日：1996-08-30
申请人： VARIAN ASSOCIATES, INC.
发明人： Hablanian,Marsbed , Ratnam,Asoka
IPC分类号： H01J27/14 , H01J49/12 , H01J41/04
CPC分类号： H01J27/14 , H01J41/04 , H01J49/126
摘要： A single potential ion source 50 includes a single conical electrode 58 encircled by a cylindrical magnet 60. At least one filament 56 is placed proximate to the electrode. This arrangement serves to accelerate electrons created by energy from the filament toward a centre axis 59 of the conical electrode. The electrons collide with gas particles to create a focussed ion stream. The stream may be directed into a magnetic field in a mass spectrometer tube. A base 52 supports pins 54 for electrical connections to the electrode 58 and filaments 56.
摘要翻译：单个电势离子源50包括由圆柱形磁体60包围的单个圆锥形电极58.至少一个细丝56靠近电极放置。这种布置用于将由能量产生的电子加速到锥形电极的中心轴线59。电子与气体颗粒碰撞以产生聚焦的离子流。流可以被引导到质谱管中的磁场中。基座52支撑用于电连接到电极58和细丝56的销54

8. 发明公开

EP0537770A3 Ionization gauge and method of using and calibrating same 失效
标题翻译：离子浓度计及其使用和校准方法
公开(公告)号：EP0537770A3
公开(公告)日：1993-07-28
申请号：EP92117733.3
申请日：1992-10-16
申请人： Granville-Phillips Company
发明人： Bills, Daniel Granville , Borenstein, Michael Dale , Arnold, Paul Clarke
IPC分类号： H01J41/04 , G01L21/32
CPC分类号： H01J41/04 , G01L21/32
摘要： Ionization gauge and method of operating same where the gauge may be of the Bayard-Alpert type and include a shield which completely encloses the electron source, the anode, and the collector electrode so that potentials external to the shield do not disturb the electric charge distribution within the shielded volume to thus stabilize the sensity of the gauge. The ionization gauge is further characterized by the following features which may be present either alone or in combination including: (a) the anode is provided with end caps which extend radially inward at least 25 % of the radius of the anode but not more than 75 % of the radius; (b) the ion collector has a diameter of not less than 0.015 in. and not more than 0.080 in.; (c) the ion collector extends at its free end at least through one of the partial end caps of the anode; (d) the electron source is not substantially longer axially than the region within the anode volume in which the electric field is predominantly directed radially inward and where the electron source is located substantially only adjacent to the foregoing region; (e) the anode is provided with a substantially uniformly transparent grid structure in the regions where the electrons enter the anode volume and where they exit the anode volume. A controller circuitry and method for controlling the operation of the ionization gauge has a source of electrons, an anode, and an ion collector electrode, including storing a plurality of calibration data sets for at least collector electrode currents and gauge sensitivities obtained with at least one reference gauge at representative values of known pressures; and calculating the gauge sensitivity corresponding to an unknown pressure in response to at least one of the data sets together with a measured value of the ion collector current. The data sets may also include representative values of the heating powers of the electron source so that the calculated sensitivity may also be compensated for variations in the electron source heating power.

9. 发明公开

EP1890124A1 IONIZATION VACUUM GAUGE 审中-公开
标题翻译：电离真空计
公开(公告)号：EP1890124A1
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：EP06746359.6
申请日：2006-05-08
申请人： Vaclab Inc.
发明人： WATANABE, Fumio , WATANABE, Reiki
IPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04
CPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04
摘要： An ionization vacuum gauge which has at least three electrodes of a grid (2), an electron source (3) and an ion collector (1) in a vacuum vessel(4) connected in communication with a vacuum apparatus, oscillates electrons emitted from the electron source (3) within and outside of the grid (2), ionizes gas molecules flying into the grid (2) by the oscillated electrons, supplements the ionized ions by the ion collector (1) to convert into a current signal, and measures a gas molecular density (pressure) in the vacuum apparatus according to the obtained current intensity, wherein the ion collector (1) is provided with heating means for heating the ion collector.
摘要翻译：在与真空装置连通的真空容器（4）中具有格栅（2），电子源（3）和离子收集器（1）中的至少三个电极的电离真空计振荡从在电网（2）内部和外部的电子源（3）使通过振荡电子飞入栅格（2）的气体分子电离，通过离子收集器（1）补充离子化离子以转换成电流信号，根据获得的电流强度确定真空设备中的气体分子密度（压力），其中离子收集器（1）设置有用于加热离子收集器的加热装置。

10. 发明公开

EP0899774A2 Miniature ionization gauge utilizing multiple collectors 失效
标题翻译：采用多个收集器的微型电离计
公开(公告)号：EP0899774A2
公开(公告)日：1999-03-03
申请号：EP98102090.2
申请日：1998-02-06
申请人： Granville-Phillips Company
发明人： Bills, Daniel Granville
IPC分类号： H01J41/04
CPC分类号： H01J41/04
摘要： An ionization gauge comprises a source of electrons which is disposed outside an anode volume defined by an open anode. A plurality of ion collector electrodes is disposed within said anode volume. A plurality of axially extending anode support posts support the open anode, said anode support posts being electrically connected to the open anode. The plurality of ion collector electrodes are respectively located sufficiently close to said plurality of axially extending anode support posts so as to substantially repel said electrons from said anode support posts.
摘要翻译：电离计包括设置在由开放阳极限定的阳极体积之外的电子源。多个离子收集器电极设置在所述阳极体积内。多个轴向延伸的阳极支撑柱支撑敞开的阳极，所述阳极支撑柱电连接到敞开的阳极。多个离子收集器电极分别位于足够靠近所述多个轴向延伸的阳极支撑柱的位置，以便基本上排斥来自所述阳极支撑柱的所述电子。

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