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31. 发明专利

TW201918813A 氣化系統和氣化系統用程式审中-公开
简体标题：气化系统和气化系统用进程
公开(公告)号：TW201918813A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：TW107138622
申请日：2018-10-31
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：田口明廣 , TAGUCHI, AKIHIRO , 薑山亮一 , KYOYAMA, RYOICHI
IPC分类号： G05D16/20 , G01F15/04
CPC分类号： C23C14/54 , C23C14/24 , C23C14/246 , C23C14/543 , C23C16/4485
摘要：本發明提供氣化系統和氣化系統用程式，不使用壓力感測器就能適當控制液體材料的供給。氣化系統（100）包括：氣化器（21），使液體材料氣化；供給量控制設備（22），控制向氣化器（21）供給的液體材料的供給量；流量調整閥（32），調整氣化器（21）生成的氣化氣體的流量；流量感測器，測定氣化氣體的流量；閥控制部（43），向流量調整閥（32）輸出驅動訊號來控制閥開度，以使由流量感測器測定的測定流量成為預先設定的設定流量。還包括：驅動訊號值取得部（44），取得作為驅動訊號所表示的值的驅動訊號值；供給控制部（45），基於驅動訊號值向供給量控制設備（22）輸出控制訊號，控制液體材料的供給。
简体摘要：本发明提供气化系统和气化系统用进程，不使用压力传感器就能适当控制液体材料的供给。气化系统（100）包括：气化器（21），使液体材料气化；供给量控制设备（22），控制向气化器（21）供给的液体材料的供给量；流量调整阀（32），调整气化器（21）生成的气化气体的流量；流量传感器，测定气化气体的流量；阀控制部（43），向流量调整阀（32）输出驱动信号来控制阀开度，以使由流量传感器测定的测定流量成为预先设置的设置流量。还包括：驱动信号值取得部（44），取得作为驱动信号所表示的值的驱动信号值；供给控制部（45），基于驱动信号值向供给量控制设备（22）输出控制信号，控制液体材料的供给。

32. 发明专利

TW201835981A 氣體控制系統、成膜裝置、存儲介質和氣體控制方法审中-公开
简体标题：气体控制系统、成膜设备、存储介质和气体控制方法
公开(公告)号：TW201835981A
公开(公告)日：2018-10-01
申请号：TW107108102
申请日：2018-03-09
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：坂口有平 , SAKAGUCHI, YUHEI , 志水徹 , SHIMIZU, TORU , 南雅和 , MINAMI, MASAKAZU , 林大介 , HAYASHI, DAISUKE
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/448
摘要：本發明涉及氣體控制系統、成膜裝置、存儲介質和氣體控制方法，容易控制從容器匯出的材料氣體的總量。氣體控制系統向收容有材料的容器(10)導入載氣，並且將材料氣化後的材料氣體與載氣一起從容器(10)匯出，氣體控制系統具有控制部(60)，控制部(60)控制載氣的流量，使濃度指標值接近預先確定的目標濃度指標值，濃度指標值直接或間接表示測量從容器(10)匯出的混合氣體而得到的混合氣體中的材料氣體濃度，控制部(60)在進行控制載氣的流量以規定變化率變化的第一控制後進行第二控制，第二控制基於濃度指標值和目標濃度指標值的偏差來控制載氣的流量。
简体摘要：本发明涉及气体控制系统、成膜设备、存储介质和气体控制方法，容易控制从容器导出的材料气体的总量。气体控制系统向收容有材料的容器(10)导入载气，并且将材料气化后的材料气体与载气一起从容器(10)导出，气体控制系统具有控制部(60)，控制部(60)控制载气的流量，使浓度指针值接近预先确定的目标浓度指针值，浓度指针值直接或间接表示测量从容器(10)导出的混合气体而得到的混合气体中的材料气体浓度，控制部(60)在进行控制载气的流量以规定变化率变化的第一控制后进行第二控制，第二控制基于浓度指针值和目标浓度指针值的偏差来控制载气的流量。

33. 发明专利

TW201823901A 流量控制裝置和程式存儲介質审中-公开
简体标题：流量控制设备和进程存储介质
公开(公告)号：TW201823901A
公开(公告)日：2018-07-01
申请号：TW106143733
申请日：2017-12-13
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：林繁之 , HAYASHI, SHIGEYUKI , 長井健太郎 , NAGAI, KENTARO , 山口正男 , YAMAGUCHI, MASAO
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/34 , G01F1/88 , G01F25/00
摘要：本發明提供流量控制裝置和程式存儲介質，特別是即使在目標流量下降這樣的過渡響應狀態下也能高速響應。流量控制裝置包括：閥，具備測量開度的位置感應器，設在流體流過的流道上；具備節流器的流量感應器，設置在所述閥的上游側；第一壓力感應器，設置在所述節流器的下游側，並且位於所述閥的上游側；設置在閥的下游側的第二壓力感應器；特性圖存儲部，存儲特性圖，該特性圖至少表示閥的開度、閥的前後的壓差以及流過流道的流體的流量之間的關係；以及閥控制部，控制閥的開度，以使流過流道的流體的流量成為接收到的目標流量。
简体摘要：本发明提供流量控制设备和进程存储介质，特别是即使在目标流量下降这样的过渡响应状态下也能高速响应。流量控制设备包括：阀，具备测量开度的位置感应器，设在流体流过的流道上；具备节流器的流量感应器，设置在所述阀的上游侧；第一压力感应器，设置在所述节流器的下游侧，并且位于所述阀的上游侧；设置在阀的下游侧的第二压力感应器；特性图存储部，存储特性图，该特性图至少表示阀的开度、阀的前后的压差以及流过流道的流体的流量之间的关系；以及阀控制部，控制阀的开度，以使流过流道的流体的流量成为接收到的目标流量。

34. 发明专利

TW201821770A 流體特性測量系統、程式存儲介質和流體特性測量方法审中-公开
简体标题：流体特性测量系统、进程存储介质和流体特性测量方法
公开(公告)号：TW201821770A
公开(公告)日：2018-06-16
申请号：TW106143729
申请日：2017-12-13
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：磯部泰弘 , ISOBE, YASUHIRO
IPC分类号： G01F1/00 , G01F25/00 , G01F15/02
摘要：本發明提供流體特性測量系統、存儲有流體特性測量系統用程式的程式存儲介質和流體特性測量方法，其能夠容易地求出作為流體的特性的壓縮係數，大幅度提高了基於ROR系統等的流量測量精度。流體特性測量系統包括：具有固定容量的容器（1）；流量控制器（2），連接成能夠以固定流量向該容器（1）導入流體；以及資訊處理裝置（5），在所述容器（1）內的壓力不同的兩種狀況下，基於由所述流量控制器（2）以相互相同的流量向該容器（1）導入流體時的該容器（1）內壓力的各時間變化，計算與該流體的壓力對應的壓縮係數。
简体摘要：本发明提供流体特性测量系统、存储有流体特性测量系统用进程的进程存储介质和流体特性测量方法，其能够容易地求出作为流体的特性的压缩系数，大幅度提高了基于ROR系统等的流量测量精度。流体特性测量系统包括：具有固定容量的容器（1）；流量控制器（2），连接成能够以固定流量向该容器（1）导入流体；以及信息处理设备（5），在所述容器（1）内的压力不同的两种状况下，基于由所述流量控制器（2）以相互相同的流量向该容器（1）导入流体时的该容器（1）内压力的各时间变化，计算与该流体的压力对应的压缩系数。

35. 发明专利

TW201820455A 流體機器审中-公开
简体标题：流体机器
公开(公告)号：TW201820455A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106139089
申请日：2017-11-13
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：宮本英顕 , MIYAMOTO, HIDEAKI , 井上正規 , INOUE, MASAKI , 西川一朗 , NISHIKAWA, ICHIRO , 濱田昌資 , HAMADA, MASASHI , 畑板剛久 , HATAITA, TAKEHISA , 岸田創太郎 , KISHIDA, SOTARO , 矢田秀貴 , YADA, HIDETAKA
IPC分类号： H01L21/306 , G01F1/00 , G01F25/00
摘要：本發明減少因流體的熱膨脹等而施加至壓力感測器的過度的壓力。本發明具備：機殼單元2，其形成有流體所流經的內部流路R1；壓力感測器3，其設置於機殼單元2而偵測內部流路R1的壓力；以及變動吸收部5，其設置於機殼單元2而吸收流體的壓力變動。
简体摘要：本发明减少因流体的热膨胀等而施加至压力传感器的过度的压力。本发明具备：机壳单元2，其形成有流体所流经的内部流路R1；压力传感器3，其设置于机壳单元2而侦测内部流路R1的压力；以及变动吸收部5，其设置于机壳单元2而吸收流体的压力变动。

36. 发明专利

TW201624590A 氣化用容器、氣化器及氣化裝置审中-公开
简体标题：气化用容器、气化器及气化设备
公开(公告)号：TW201624590A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW104139142
申请日：2015-11-25
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：田口明廣 , TAGUCHI, AKIHIRO , 矢田秀貴 , YADA, HIDETAKA
IPC分类号： H01L21/67 , G05D7/06
CPC分类号： F22B15/00 , F22B1/282 , F22B1/30
摘要：本發明提供一種氣化用容器、氣化器及氣化裝置，在維持緊湊性的同時，能穩定且大流量地輸出材料氣體。氣化用容器(11)具有氣化室(11a)，使導入所述氣化室(11a)的液體材料氣化並將生成的材料氣體導出，所述氣化用容器包括分隔壁(6)，所述分隔壁(6)將所述氣化室(11a)的下方空間分隔成最初導入液體材料的第一下方空間(11e)及導入從所述第一下方空間(11e)溢出的液體材料的第二下方空間(11f)。
简体摘要：本发明提供一种气化用容器、气化器及气化设备，在维持紧凑性的同时，能稳定且大流量地输出材料气体。气化用容器(11)具有气化室(11a)，使导入所述气化室(11a)的液体材料气化并将生成的材料气体导出，所述气化用容器包括分隔壁(6)，所述分隔壁(6)将所述气化室(11a)的下方空间分隔成最初导入液体材料的第一下方空间(11e)及导入从所述第一下方空间(11e)溢出的液体材料的第二下方空间(11f)。

37. 发明专利

TW201603432A 流體控制測量系統的供電裝置审中-公开
简体标题：流体控制测量系统的供电设备
公开(公告)号：TW201603432A
公开(公告)日：2016-01-16
申请号：TW104119068
申请日：2015-06-12
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：瀧尻興太郎 , TAKIJIRI, KOTARO , 高倉洋 , TAKAKURA, HIROSHI , 大江健一 , OE, KENICHI
IPC分类号： H02J13/00 , G05D7/06
CPC分类号： G05F1/66 , G05D7/0641
摘要：本發明提供一種流體控制測量系統的供電裝置。為了防止管理複數個流量控制裝置(101)的供電裝置(102)的電源裝置大型化，在控制流體流量的複數個流量控制裝置(101)上分別連接電纜，藉由該電纜(8)管理各流量控制裝置(101)的動作並向各流量控制裝置(101)供電，其中，供電裝置具有供電控制部(10)，該供電控制部(10)使針對至少一部分流量控制裝置(101)的供電開始時機偏移。
简体摘要：本发明提供一种流体控制测量系统的供电设备。为了防止管理复数个流量控制设备(101)的供电设备(102)的电源设备大型化，在控制流体流量的复数个流量控制设备(101)上分别连接电缆，借由该电缆(8)管理各流量控制设备(101)的动作并向各流量控制设备(101)供电，其中，供电设备具有供电控制部(10)，该供电控制部(10)使针对至少一部分流量控制设备(101)的供电开始时机偏移。

38. 发明专利

TWI491852B 流量測量機構以及質流控制器有权
简体标题：流量测量机构以及质流控制器
公开(公告)号：TWI491852B
公开(公告)日：2015-07-11
申请号：TW099133366
申请日：2010-09-30
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：林繁之 , HAYASHI, SHIGEYUKI
IPC分类号： G01F1/34 , G01F1/684 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/363 , G01F1/40 , G01F1/48

39. 发明专利

TW201448047A 加熱汽化系統和加熱汽化方法审中-公开
简体标题：加热汽化系统和加热汽化方法
公开(公告)号：TW201448047A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW103118569
申请日：2014-05-28
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：寺阪正訓 , TERASAKA, MASANORI
IPC分类号： H01L21/324 , C23C16/52
CPC分类号： C23C16/4485 , B01D1/0082 , F17C2270/0518
摘要：本發明提供加熱汽化系統和加熱汽化方法。所述加熱汽化系統(1)具備：容器(2)，通過將材料加熱和汽化而生成材料氣體；配管(3)，將所述材料氣體導出；感測器用流道(3a)，設置在配管(3)上；流量檢測部(4a)，具備設置在感測器用流道(3a)上的熱式流量感測器(6)，利用所述熱式流量感測器(6)測量流過配管(3)的材料氣體的流量；流量調節部(4b)，調節流過流量檢測部(4a)上游的配管(3)的所述材料氣體的流量；以及控制部(4c)，使用流量檢測部(4a)的檢測結果，控制流量調節部(4b)。
简体摘要：本发明提供加热汽化系统和加热汽化方法。所述加热汽化系统(1)具备：容器(2)，通过将材料加热和汽化而生成材料气体；配管(3)，将所述材料气体导出；传感器用流道(3a)，设置在配管(3)上；流量检测部(4a)，具备设置在传感器用流道(3a)上的热式流量传感器(6)，利用所述热式流量传感器(6)测量流过配管(3)的材料气体的流量；流量调节部(4b)，调节流过流量检测部(4a)上游的配管(3)的所述材料气体的流量；以及控制部(4c)，使用流量检测部(4a)的检测结果，控制流量调节部(4b)。

40. 发明专利

TWI444799B 流量控制裝置與流量測定裝置之校準方法、流量控制裝置之校準系統、及半導體製造裝置有权
简体标题：流量控制设备与流量测定设备之校准方法、流量控制设备之校准系统、及半导体制造设备
公开(公告)号：TWI444799B
公开(公告)日：2014-07-11
申请号：TW096146323
申请日：2007-12-05
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：安田忠弘 , YASUDA, TADAHIRO
IPC分类号： G05D7/00
CPC分类号： G05D7/0635

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