专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201918813A 氣化系統和氣化系統用程式审中-公开
简体标题：气化系统和气化系统用进程
公开(公告)号：TW201918813A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：TW107138622
申请日：2018-10-31
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：田口明廣 , TAGUCHI, AKIHIRO , 薑山亮一 , KYOYAMA, RYOICHI
IPC分类号： G05D16/20 , G01F15/04
CPC分类号： C23C14/54 , C23C14/24 , C23C14/246 , C23C14/543 , C23C16/4485
摘要：本發明提供氣化系統和氣化系統用程式，不使用壓力感測器就能適當控制液體材料的供給。氣化系統（100）包括：氣化器（21），使液體材料氣化；供給量控制設備（22），控制向氣化器（21）供給的液體材料的供給量；流量調整閥（32），調整氣化器（21）生成的氣化氣體的流量；流量感測器，測定氣化氣體的流量；閥控制部（43），向流量調整閥（32）輸出驅動訊號來控制閥開度，以使由流量感測器測定的測定流量成為預先設定的設定流量。還包括：驅動訊號值取得部（44），取得作為驅動訊號所表示的值的驅動訊號值；供給控制部（45），基於驅動訊號值向供給量控制設備（22）輸出控制訊號，控制液體材料的供給。
简体摘要：本发明提供气化系统和气化系统用进程，不使用压力传感器就能适当控制液体材料的供给。气化系统（100）包括：气化器（21），使液体材料气化；供给量控制设备（22），控制向气化器（21）供给的液体材料的供给量；流量调整阀（32），调整气化器（21）生成的气化气体的流量；流量传感器，测定气化气体的流量；阀控制部（43），向流量调整阀（32）输出驱动信号来控制阀开度，以使由流量传感器测定的测定流量成为预先设置的设置流量。还包括：驱动信号值取得部（44），取得作为驱动信号所表示的值的驱动信号值；供给控制部（45），基于驱动信号值向供给量控制设备（22）输出控制信号，控制液体材料的供给。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式