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1. 发明专利

TW201820455A 流體機器审中-公开
简体标题：流体机器
公开(公告)号：TW201820455A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106139089
申请日：2017-11-13
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：宮本英顕 , MIYAMOTO, HIDEAKI , 井上正規 , INOUE, MASAKI , 西川一朗 , NISHIKAWA, ICHIRO , 濱田昌資 , HAMADA, MASASHI , 畑板剛久 , HATAITA, TAKEHISA , 岸田創太郎 , KISHIDA, SOTARO , 矢田秀貴 , YADA, HIDETAKA
IPC分类号： H01L21/306 , G01F1/00 , G01F25/00
摘要：本發明減少因流體的熱膨脹等而施加至壓力感測器的過度的壓力。本發明具備：機殼單元2，其形成有流體所流經的內部流路R1；壓力感測器3，其設置於機殼單元2而偵測內部流路R1的壓力；以及變動吸收部5，其設置於機殼單元2而吸收流體的壓力變動。
简体摘要：本发明减少因流体的热膨胀等而施加至压力传感器的过度的压力。本发明具备：机壳单元2，其形成有流体所流经的内部流路R1；压力传感器3，其设置于机壳单元2而侦测内部流路R1的压力；以及变动吸收部5，其设置于机壳单元2而吸收流体的压力变动。

2. 发明专利

TWI501290B 液體材料氣化裝置有权
简体标题：液体材料气化设备
公开(公告)号：TWI501290B
公开(公告)日：2015-09-21
申请号：TW097148233
申请日：2008-12-11
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：宮本英顯 , MIYAMOTO, HIDEAKI , 西川一朗 , NISHIKAWA, ICHIRO
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4481 , B01B1/005 , B01D1/0082 , B01D1/16

3. 发明专利

TW201819864A 壓力式流量計审中-公开
简体标题：压力式流量计
公开(公告)号：TW201819864A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106139505
申请日：2017-11-15
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：畑板剛久 , HATAITA, TAKEHISA , 宮本英顕 , MIYAMOTO, HIDEAKI
IPC分类号： G01F1/34
摘要：本發明的壓力式流量計100為了消除在測定絕對壓力的靜電電容型壓力感測器中產生的不良情況且減小流量的測定誤差，於供流體流過的流路R1中設置流體阻力部4，分別檢測流體阻力部4的上游側壓力及下游側壓力並測定流量，檢測上游側壓力的壓力感測器3a及檢測下游側壓力的壓力感測器3b是錶壓力感測器，錶壓力感測器是檢測因壓力而位移的隔膜31與固定電極32之間的靜電電容的變化並測定錶壓力的靜電電容型壓力感測器，具有對固定電極32及隔膜31進行支持並於所述固定電極32及隔膜31之間形成空間的本體部33，其內部空間S1利用連通部37而與外部相連。
简体摘要：本发明的压力式流量计100为了消除在测定绝对压力的静电电容型压力传感器中产生的不良情况且减小流量的测定误差，于供流体流过的流路R1中设置流体阻力部4，分别检测流体阻力部4的上游侧压力及下游侧压力并测定流量，检测上游侧压力的压力传感器3a及检测下游侧压力的压力传感器3b是表压力传感器，表压力传感器是检测因压力而位移的隔膜31与固定电极32之间的静电电容的变化并测定表压力的静电电容型压力传感器，具有对固定电极32及隔膜31进行支持并于所述固定电极32及隔膜31之间形成空间的本体部33，其内部空间S1利用连通部37而与外部相连。

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