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    • 33. 发明公开
    • 반도체 장치의 콘택 형성방법
    • KR1019940001286A
    • 1994-01-11
    • KR1019920011365
    • 1992-06-27
    • 삼성전자주식회사
    • 박성기임병학박동건이재창곽규환구목일
    • H01L21/28
    • 반도체 제조방법에 있어서, 현재까지 개발된 콘택 형성방법은 등방성 식각 및 이방성 식각을 각각 한번씩 사용하여 콘택의 모양을 형성하는 것으로써, 이러한 서브미크론 멀티레벨 인터커넥션(Submicron Multilevel Interconnection)기술에서 가장 문제가 되는 것은 종횡비에 따른 배선형성과 콘택 안에서의 샤프 에지부(Sharp Edge)에 따른 금속 필링(Metal Filling) 및 배선간 단락이 일어나는 것이다.
      이에 대해 본 발명은 콘택형성시 등방성 식각과 이방성 식각을 병행한 다단계 식각 방법, 예컨데 등방성, 등방성, 이방성, 식각순으로 절연막 (Film Layer)을 식각 함으로써, 종래의 종횡비(Aspect-Ratio)가 크게 개선되어 단차 피복성이 좋아지게 되며, 배선단락을 막을 수 있어 제품의 성능 및 신뢰도를 향상시킬 수 있을뿐 아니라 콘택의 샤프 에지부를 제거함으로써 금속 라인(Metal Line)의 필링(Filling)을 더욱 개선시킬 수 있으며, 금속의 비트-라인 확보를 크게할 수 있게 된다.
    • 34. 发明授权
    • 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법
    • 压电式喷墨打印头和制造方法
    • KR100528349B1
    • 2005-11-15
    • KR1020040013559
    • 2004-02-27
    • 삼성전자주식회사
    • 신수호정재우이재창정창훈
    • B41J2/045
    • 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드는 세 개의 단결정 실리콘 기판을 적층하여 접합함으로써 이루어진다. 세 개의 기판은 잉크 도입구와 다수의 압력 챔버가 형성된 상부 기판과, 매니폴드와 다수의 리스트릭터와 다수의 댐퍼가 관통 형성된 중간 기판과, 다수의 노즐이 형성된 하부 기판으로 구성된다. 실리콘으로 이루어진 진동판을 형성하는 상부 기판 위에는 압전 액츄에이터가 일체형으로 형성된다. 그리고, 세 개의 기판을 순차적으로 적층하여 접합함으로써 잉크 도입구와 매니폴드로 이루어진 공통 유로와 리스트릭터, 압력 챔버, 댐퍼 및 노즐로 이루어진 개별 유로가 형성된다. 이와 같은 구성에 의하면, 매니폴드와 리스트릭터와 댐퍼를 중간 기판을 관통하여 가공하는 단일 공정에 의해 동시에 형성할 수 있으므로 제조 공정이 단순화되어 제조 비용이 저감될 뿐만 아니라, 매니폴드의 단면적이 넓어져서 각 압력 챔버로 공급되는 잉크의 유동 저항이 감소하여 잉크 저장고로부터 각 압력 챔버로 공급되는 잉크의 유량이 적정하게 확보될 수 있다.
    • 35. 发明授权
    • 압전 방식 잉크젯 프린트헤드의 제조방법
    • 压电喷墨打印头的制造方法
    • KR100519760B1
    • 2005-10-07
    • KR1020030009098
    • 2003-02-13
    • 삼성전자주식회사
    • 이재창임승모정재우김상채
    • B41J2/295
    • 적층된 세 개의 단결정 실리콘 기판으로 이루어진 압전 방식 잉크젯 프린트헤드의 제조방법이 개시된다. 개시된 제조방법은, 단결정 실리콘 기판으로 이루어진 상부 기판, 중간 기판 및 하부 기판을 준비하는 단계와, 하부 기판 위에 중간 기판을 SDB법에 의해 접합시키는 단계와, 중간 기판과 하부 기판을 접합된 상태로 미세 가공하여, 중간 기판에는 리스트릭터, 리저버 및 댐퍼를 형성하고, 하부 기판에는 댐퍼에 연결되는 노즐을 형성하는 단계와, 상부 기판을 미세 가공하여 압력 챔버와 잉크 도입구를 형성하는 단계와, 중간 기판 위에 상부 기판을 SDB법에 의해 접합시키는 단계와, 상부 기판 위에 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터를 형성하는 단계를 구비한다. 이와 같은 구성에 의하면, 댐퍼와 노즐 사이의 정렬 오차가 발생하지 않으며, 공정 단계가 줄어들게 되어 장비 사용이나 웨이퍼 손실 등 제조 비용을 절감할 수 있다.
    • 37. 发明授权
    • 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법
    • 압전방식의잉크젯프린트헤드및그제조방법
    • KR100438836B1
    • 2004-07-05
    • KR1020010080908
    • 2001-12-18
    • 삼성전자주식회사
    • 정재우이재창임승모
    • B41J2/045
    • B41J2/161B41J2/1618B41J2/1623B41J2/1628B41J2/1629B41J2/1631B41J2/1632B41J2002/14306B41J2002/14475
    • 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드와 그 제조방법이 개시된다. 개시된 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드는 세 개의 단결정 실리콘 기판을 적층하여 접합함으로써 이루어진다. 세 개의 기판은 잉크 도입구와 압력 챔버가 형성된 상부 기판과, 리저버와 댐퍼가 형성된 중간 기판과, 노즐이 형성된 하부 기판으로 구성된다. 리저버와 압력 챔버를 연결하는 리스트릭터는 상부 기판 또는 중간 기판에 형성될 수 있다. 그리고, 실리콘으로 이루어진 진동판을 형성하는 상부 기판 위에는 압전 액츄에이터가 일체형으로 형성된다. 잉크 유로를 이루게 되는 리저버, 압력 챔버, 리스트릭터, 댐퍼, 노즐 등의 구성요소들은 실리콘 미세 가공 기술에 의해 세 개의 실리콘 기판에 형성되므로 보다 미세한 크기로 정밀하고 용이하게 형성될 수 있으며, 세 개의 기판은 모두 실리콘으로 이루어져 있으므로 서로간의 접합 특성이 우수하다. 또한, 종래에 비해 기판의 수가 감소되어 그 제조 공정이 단순화되고 정렬 오차가 감소된다.
    • 提供一种压电喷墨打印头及其制造方法。 压电喷墨打印头通过将三个单晶硅衬底(100,200,300)彼此堆叠并将它们彼此粘合而形成。 三个基板包括上部基板(100)和下部基板(200),上部基板(100)中形成有墨水供给孔(110),墨水供给孔(110)的底面形成有压力室(120) )和阻尼器(230);以及形成有喷嘴(310)的下部基板(300)。 将储墨器连接到压力室的限制器(220)可以形成在上基板或中间基板上。 压电致动器整体地形成在上基板上。 <图像>
    • 38. 发明公开
    • 레이저빔 프린터의 화상왜곡을 보상하기 위한 장치 및 방법
    • 用于补偿激光束打印机图像失真的装置和方法
    • KR1020000067133A
    • 2000-11-15
    • KR1019990014668
    • 1999-04-23
    • 삼성전자주식회사
    • 이재창김동주
    • B41J2/435G03G15/04
    • PURPOSE: An apparatus and a method for compensating picture distortion of a laser beam printer are provided to minimize picture distortion in a printer using a plurality of scanning units and form a pixel at the same place regardless of the efficiency of each scanning unit. CONSTITUTION: A method for compensating picture distortion of a laser beam printer includes the steps of installing a sensor in regular periods of a picture formation line by each laser scanning unit for measuring scanning time of the laser scanning units by periods, calculating total dot number by periods by the scanning time of the units(200), calculating compensation chop number according to the calculated dot numbers, calculating offset value by dots according to a basic offset value and the calculated compensation chop number, and forming a picture by driving the units according to the offset value by periods.
    • 目的:提供一种用于补偿激光束打印机的图像失真的装置和方法,以便使用多个扫描单元最小化打印机中的图像失真,并且不管每个扫描单元的效率如何,在相同的位置形成像素。 构成:用于补偿激光束打印机的图像失真的方法包括以下步骤:通过每个激光扫描单元在图像形成线的规则周期安装传感器,用于测量激光扫描单元的扫描时间周期,计算总点数乘以 (200)的扫描时间的周期,根据计算出的点数计算补偿剁数,根据基本偏移值和计算出的补偿剁数计算偏移值,并通过驱动单位来形成图像 到周期的偏移值。