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    • 15. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DÜNNFILMHALBLEITERCHIPS
    • 用于生产薄膜半导体芯片
    • WO2006034686A2
    • 2006-04-06
    • PCT/DE2005/001684
    • 2005-09-23
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBHPLÖSSL, AndreasSTEIN, Wilhelm
    • PLÖSSL, AndreasSTEIN, Wilhelm
    • H01L33/00
    • H01L33/405H01L21/76838H01L33/0079H01L33/38H01L2933/0016
    • Es werden zwei Verfahren zur Herstellung eines Dünnfilm-Halbleiterchips basierend auf einem III/V-III/V-Verbindungshalbleitermaterial beschrieben, wobei der Dünnfilmhalbleiterchip geeignet ist elektromagnetische Strahlung zu erzeugen. Gemäß dem ersten Verfahren wird eine aktive Schichtenfolge (1), die geeignet ist elektromagnetische Strahlung zu erzeugen, auf einem Aufwachssubstrat (2), mit einer zur Aufwachssubstrat (2) hinweisenden Vorderseite (12) und einer vom Aufwachssubstrat (2) wegweisenden Rückseite (11) aufgebracht. Auf die Rückseite (11) der aktiven Schichtenfolge (1) wird weiterhin mindestens eine dielektrische Schicht (3) als Teil einer reflektierenden Schichtenfolge (51) aufgebracht und Energie mit Hilfe eines Lasers in definiert begrenzte Volumenbereiche (8) der dielektrischen Schicht (3) eingebracht, so dass mindestens eine Öffnung (4) zur Rückseite (11) der aktiven Schichtenfolge (1) entsteht. Nachfolgend wird mindestens eine metallische Schicht (5) als weiterer Teil einer reflektierenden Schichtenfolge (51) aufgebracht, so dass die Öffnung (4) mit metallischen Material gefüllt wird und mindestens ein rückseitige elektrisch leitfähige Kontaktstelle (6) zur Rückseite (11) der aktiven Schichtenfolge (1) ausgebildet wird. Danach wird ein eines Trägers (8) auf der reflektierenden Schichtenfolge (51) angebracht, und des Aufwachssubstrates (2) entfernt. Gemäß dem zweiten Verfahren wird eine reflektierende Schichtenfolge (51) auf die aktive Schichtenfolge (1) aufgebracht und dann Energie mit Hilfe eines Lasers einen definiert begrenzten Volumenbereich (6) der reflektierenden Schichtenfolge (51) eingebracht, so dass mindestens eine rückseitige elektrisch leitfähige Kontaktstelle (6) zu der Rückseite (11) der aktiven Schichtenfolge (1) hin ausgebildet wird.
    • 有一种制造薄膜半导体芯片的两个方法中描述的基于III / V III / V族化合物半导体材料,所述薄膜半导体芯片是适合于产生电磁辐射。 根据第一方法,有源层序列(1),其适于产生电磁辐射,在生长衬底(2)上,具有与生长衬底(2)表示的前侧(12)和一从生长衬底开创性(2)背面(11 )施加。 在有源层序列的背面侧(11)(1)进一步施加至少一个电介质层(3)用激光的在介电层的限定的体积限定的区域(8)的帮助下引入的反射层序列(51)和能量的部分(3) 使得至少朝向有源层序列(1)的后部(11)中的开口(4)被形成。 接着,(5)被至少施加金属层,作为反射层序列(51)的另一部分,以使所述开口(4)被填充有金属材料和至少一个后导电接触点(6)朝向所述有源层序列的后部(11) 形成(1)。 此后,一个托架(8),其安装在反射层序列(51),和生长衬底(2)被除去。 根据第二方法,在有源层序列的反射层序列(51)(1)被施加,然后能量引入限定的有限的体积区域(6)的反射层(51)通过激光的手段,使得至少一个后部导电接触点( 6)(通过形成在有源层序列(1)的后侧11)。
    • 20. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ELEKTRISCHEN ANSCHLUSSTRÄGERS
    • 方法制作电气连接支持
    • WO2012084743A1
    • 2012-06-28
    • PCT/EP2011/073136
    • 2011-12-16
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBHPLÖSSL, Andreas
    • PLÖSSL, Andreas
    • H01L23/498H01L31/02H01L33/62
    • H01L31/02002H01L23/147H01L23/49827H01L31/02005H01L33/0079H01L33/382H01L33/62H01L2924/0002Y10T29/49165H01L2924/00
    • Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Anschlussträgers für einen optoelektronischen Halbleiterkörper mit den folgenden Schritten angegeben: - Bereitstellen einer Trägeranordnung (1), die einen Trägerkörper (11), eine auf einer Außenfläche (111) des Trägerkörpers (11) angeordnete Zwischenschicht (12) und eine auf der Zwischenschicht (12) angeordnete Nutzschicht (13) aufweist; - Einbringen von zumindest zwei in lateraler Richtung (L) beabstandet zueinander angeordneten Öffnungen (4) in die Nutzschicht (13) über die Außenfläche (131) der Nutzschicht (13), wobei sich die Öffnungen in vertikaler Richtung (V) vollständig durch die Nutzschicht (13) hindurch erstrecken; - Elektrisches Isolieren von Seitenflächen (41) der Öffnungen (4) und der Außenfläche (131) der Nutzschicht (13); - Anordnen von elektrisch leitfähigem Material (6) in den Öffnungen (4), wobei - nach Fertigstellung des Anschlussträgers (100) das elektrisch leitfähige Material (6) in seinem Verlauf entlang der Außenfläche (131) der Nutzschicht (13) in der lateralen Richtung (L) zwischen benachbarten Öffnungen (4) eine Unterbrechung (U) aufweist.
    • 提供了一种用于制造电连接载体的光电子半导体本体具有以下步骤的方法: - 提供支撑装置(1)包括在所述支撑体的外表面(111)的载体主体(11),(11)之一排列层之间(12 有)和一(设置在中间层12)的磨损层(13)上; - 在横向方向(L)将至少两个相互间隔开的开口(4)在耐磨层(13)在所述耐磨层(13)的外表面(131),其中,在垂直方向上的开口部(V)完全穿过耐磨层 (13)延伸穿过其中; - 磨损层的开口部(4)和所述外表面(131)的侧表面(41)的电隔离(13); - 在开口的导电材料(6)的布置(4),其中, - 所述连接载体(100),所述导电材料完成后(6)在其沿侧向方向的磨损层(13)的外表面(131)的路径 (L)相邻的孔(4)之间的中断(U)具有。