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11. 发明公开

KR1020130106032A 수소 센서 및 수소 센서 제조 방법 有权
标题翻译：氢传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020130106032A
公开(公告)日：2013-09-27
申请号：KR1020120027626
申请日：2012-03-19
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 이우영 , 이헌 , 장병진 , 이승현 , 이준민
IPC分类号： G01N27/12
CPC分类号： G01N33/0036 , C23C14/205 , C23C30/00 , G01N27/128 , G01N33/005
摘要： PURPOSE: A hydrogen sensor and a hydrogen sensor manufacturing method are provided to have no special limitations on a material of a substrate and to produce the hydrogen sensor having nanogaps according to a use. CONSTITUTION: A hydrogen sensor manufacturing method includes the following steps of: preparing a mold(20) having hydrogen sensing unit patterns(24) and nanogap patterns(26) desired to form on a substrate and a base(22); preparing a material capable of transferring the patterns of the mold; transferring the patterns of the mold on the material by making the mold touch the material; and forming the substrate having the patterns by removing the mold from the substrate. The substrate of a hydrogen sensor(10) includes a base unit(122), a plurality of hydrogen sensing units(126), and a plurality of nanogaps(124). A thin film(110) of transition metal or an alloy expandable by hydrogen is formed on the substrate. [Reference numerals] (AA) Substrate material S
摘要翻译：目的：提供氢传感器和氢传感器制造方法，以对基板的材料没有特别限制，并且根据用途制造具有纳米点的氢传感器。构成：氢传感器制造方法包括以下步骤：制备具有氢感测单元图案（24）和期望在基底和基底（22）上形成的纳米斑图案（26）的模具（20）; 准备能够转移模具图案的材料; 通过使模具接触材料将模具的图案转移到材料上; 以及通过从基板上移除模具来形成具有图案的基板。氢传感器（10）的衬底包括基本单元（122），多个氢气感测单元（126）和多个纳米隙（124）。在基板上形成过渡金属的薄膜（110）或由氢膨胀的合金。（附图标记）（AA）基板材料S

12. 发明公开

KR1020110037251A 나노와이어의 오믹 컨택트 형성방법, 및 그 나노와이어의 제백상수 측정방법 失效
标题翻译：用于形成纳米级的纳米材料的纳米材料的接触方法及其纳米材料的纳米材料及其SEEBECK系数测量方法
公开(公告)号：KR1020110037251A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：KR1020090094613
申请日：2009-10-06
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 이우영 , 이승현 , 함진희 , 노종욱
IPC分类号： H01L21/336 , B82B3/00
摘要： PURPOSE: A method for forming ohmic contact of nanowire, a nanowire thereof, and a seebeck coefficient measuring method for the nanowire thereof are provided to completely remove the surface oxidation layer of the nano wire by using the plasma etching inside the chamber. CONSTITUTION: A nanowire(30) is formed on the top of the substrate. A copolymer layer and an electron-beam resist(70) are successively formed on the top of the substrate in order to include nanowire. Portions of the electron beam resist layer and the copolymer layer are etched so that at least a part of nano wire is exposed.
摘要翻译：目的：提供一种用于形成纳米线的欧姆接触，其纳米线和用于其纳米线的Seebeck系数测量方法的方法，以通过使用室内的等离子体蚀刻来完全去除纳米线的表面氧化层。构成：在衬底的顶部形成纳米线（30）。为了包括纳米线，在基板的顶部依次形成共聚物层和电子束抗蚀剂（70）。蚀刻电子束抗蚀剂层和共聚物层的一部分，使得至少一部分纳米线被暴露。

13. 发明公开

KR1020100091650A 나노와이어 밀도를 증대시킬 수 있는 나노와이어 제조 방법 有权
标题翻译：制备能够改善纳米密度的纳米粒子的方法
公开(公告)号：KR1020100091650A
公开(公告)日：2010-08-19
申请号：KR1020090010947
申请日：2009-02-11
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 이우영 , 함진희 , 김현수 , 이승현
IPC分类号： B82B3/00
CPC分类号： H01L21/02603 , H01L21/02554 , H01L21/28 , H01L21/3065
摘要： PURPOSE: A manufacturing method of a nanowire is provided to simply manufacture the nanowire without the phase transition of a raw material or an insertion of an initial material. CONSTITUTION: A manufacturing method of a nanowire comprises the following steps: supplying a substrate including an oxide layer on the upper side; forming a thin film on the upper side of the oxide layer, with the thermal expansion coefficient bigger than the oxide layer; and thermal-processing the substrate including the thin film to grow the nanowire.
摘要翻译：目的：提供纳米线的制造方法，以简单地制造纳米线，而不会导致原料的相变或初始材料的插入。构成：纳米线的制造方法包括以下步骤：在上侧供给包括氧化物层的基板; 在氧化层的上侧形成薄膜，其热膨胀系数大于氧化物层; 并对包括薄膜的基板进行热处理以生长纳米线。

14. 发明授权

KR101144744B1 나노와이어 밀도를 증대시킬 수 있는 나노와이어 제조 방법 有权
标题翻译：制备能够改善纳米密度的纳米粒子的方法
公开(公告)号：KR101144744B1
公开(公告)日：2012-05-24
申请号：KR1020090010947
申请日：2009-02-11
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 이우영 , 함진희 , 김현수 , 이승현
IPC分类号： B82B3/00
摘要： 본 발명에 따라서 나노와이어 제조 방법이 제공되는데, 상기 방법은 (a) 상부에 산화물층이 형성되어 있는 기판을 제공하는 단계와; (b) 상기 산화층층 상에 상기 산화물층의 열팽창 계수보다 큰 열팽창 계수를 갖는 박막을 형성하는 단계와; (c) 상기 박막이 형성된 기판을 반응로 내부에서 열처리를 수행하여 상기 박막을 구성하는 물질의 나노와이어를 성장시키는 단계로서, 상기 반응로 내부를 진공 환경이 아닌 수소 분위기로 만들어, 상기 반응로 내부를 비산소 분위기로 만들거나 상기 박막에 자연적으로 형성되는 자연 산화막을 환원시켜, 상기 박막에 자연 산화막이 형성되지 않도록 하는 수소 열처리를 수행함으로써, 상기 박막을 구성하는 물질의 나노와이어를 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

15. 发明公开

KR1020120016444A 전도성 고분자와 탄소나노튜브 복합재를 감지물질로 이용한 가스센서 제조방법 无效
标题翻译：导电聚合物和碳纳米管复合材料的气体传感器制造方法
公开(公告)号：KR1020120016444A
公开(公告)日：2012-02-24
申请号：KR1020100078808
申请日：2010-08-16
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 이우영 , 최향희 , 노종욱 , 이승현 , 김연주
IPC分类号： G01N27/407 , B82B3/00
CPC分类号： G01N27/127 , C01B32/162 , G01N27/414 , G01N27/4146 , H01L51/0048
摘要： PURPOSE: A method of manufacturing a gas sensor using conductive polymer and carbon nano tube composite as a sensing material is provided to ensure high sensitivity and reproducibility on low concentration of gas and enable an operation at room temperature. CONSTITUTION: A method of manufacturing a gas sensor using conductive polymer and carbon nano tube composite as a sensing material is as follows. An insulating film(120) is formed on a substrate(110). A source electrode(140) and a drain electrode(150) are formed on a given position of the insulating film. Sensing solution containing doped conductive polymer and single carbon nano tube is added to between the source and drain electrodes on the insulating film to form a gas sensing layer. The sensing solution is made in a manner that single carbon nano tube and doped conductive polymer are mixed in organic solvent.
摘要翻译：目的：提供使用导电聚合物和碳纳米管复合材料作为传感材料制造气体传感器的方法，以确保低浓度气体的高灵敏度和再现性，并使其能够在室温下运行。构成：使用导电聚合物和碳纳米管复合材料作为传感材料制造气体传感器的方法如下。绝缘膜（120）形成在基板（110）上。在绝缘膜的给定位置上形成源电极（140）和漏电极（150）。将包含掺杂导电聚合物和单碳纳米管的感应溶液加入到绝缘膜上的源极和漏极之间以形成气体感测层。传感溶液的制备方式是将单碳纳米管和掺杂的导电聚合物混合在有机溶剂中。

16. 发明公开

KR1020100087426A 실리콘 나노 와이어를 이용한 바이오 센서, 실리콘 나노 와이어를 이용한 바이오 센서의 제조방법 및 상기 바이오 센서를 이용한 특정 세포 검지 방법 有权
标题翻译：使用SI NANOWIRE的生物传感器，生物传感器的制造方法和使用生物传感器的细胞的检测方法
公开(公告)号：KR1020100087426A
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：KR1020090006410
申请日：2009-01-28
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 이우영 , 이승현 , 함진희 , 정효일 , 최아미 , 조문호 , 김철주
IPC分类号： G01N33/48 , G01N27/30 , G01N33/68 , G01N33/574
摘要： PURPOSE: A biosensor comprising single Si nano wire is provided to ensure high sensitivity and stability and to us in biotechnology for genetic analysis and disease diagnosis. CONSTITUTION: A biosensor comprises: a substrate(10); at least one outer electrode(21,22) formed at a part of the substrate; Si nano wire(30) formed at the other part of the substrate; a source electrode(41) formed at one end of Si nano wire and the other part of the substrate; a drain electrode(42) formed at the other end of Si nano wire and the other part of the substrate; and a gate electrode. The thickness of Si nano wire formed on the substrate is 50nm. The substrate is mounted with Si AND SiO_2.
摘要翻译：目的：提供包含单一Si纳米线的生物传感器，以确保高灵敏度和稳定性，并为生物技术提供遗传分析和疾病诊断。构成：生物传感器包括：基底（10）; 形成在所述基板的一部分处的至少一个外电极（21,22） Si纳米线（30），形成在基板的另一部分; 源极电极（41），其形成在所述Si纳米线的一端和所述基板的另一部分; 形成在所述Si纳米线的另一端和所述基板的另一部分的漏电极（42）和栅电极。在衬底上形成的Si纳米线的厚度为50nm。衬底安装有Si和SiO_2。

17. 发明公开

KR1020130125183A 수소 센서 및 수소 센서 제조방법 有权
标题翻译：氢传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020130125183A
公开(公告)日：2013-11-18
申请号：KR1020120048727
申请日：2012-05-08
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 이우영 , 장병진 , 이준민 , 이승현
IPC分类号： G01N27/12
摘要： A hydrogen sensor and a hydrogen sensor manufacturing method are disclosed. According to the embodiment of the present invention, a hydrogen sensor manufacturing method comprises as follows: a step of forming a transition metal thin film or an alloy thin film of the transition metal on the surface of an elastic substrate; a step of forming multiple nanogaps on the thin film formed on the surface of the substrate; and a step of forming a barrier capable of selectively penetrating hydrogen molecules on the thin film.
摘要翻译：公开了氢传感器和氢传感器制造方法。根据本发明的实施例，氢传感器制造方法包括如下步骤：在弹性基板的表面上形成过渡金属薄膜或过渡金属的合金薄膜; 在形成在基板表面上的薄膜上形成多个纳米点的步骤; 以及形成能够选择性地穿透薄膜上的氢分子的势垒的步骤。

18. 发明授权

KR101085879B1 실리콘 나노 와이어를 이용한 바이오 센서, 실리콘 나노 와이어를 이용한 바이오 센서의 제조방법 및 상기 바이오 센서를 이용한 특정 세포 검지 방법 有权
标题翻译：使用Si纳米线的生物传感器，生物传感器的制造方法以及使用生物传感器的细胞的检测方法
公开(公告)号：KR101085879B1
公开(公告)日：2011-11-22
申请号：KR1020090006410
申请日：2009-01-28
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 이우영 , 이승현 , 함진희 , 정효일 , 최아미 , 조문호 , 김철주
IPC分类号： G01N33/48 , G01N27/30 , G01N33/68 , G01N33/574
摘要： 종래의 탄소 나노튜브와 같은 나노튜브를 이용한 바이오 센서가 갖는 문제점을 해결하여, 화학적으로 안정하고, 감도가 우수한 나노 소자를 이용한 바이오 센서가 제공된다. 본 발명에 따른 바이오 센서는 기판, 상기 기판의 일부에 형성된 적어도 하나의 외부 전극, 상기 기판의 다른 일부에 형성된 Si 나노 와이어, 상기 Si 나노 와이어의 일 단부와 상기 기판의 또 다른 일부에 형성된 소스 전극, 상기 Si 나노 와이어의 나노 와이어가 형성된 면의 반대면의 일부에 형성된 드레인 전극, 및 상기 기판의 또 다른 일부에 형성된 게이트 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 바이오 센서는 MMP-9과 펩타이드의 결합을 확인하여 암의 진단에 활용할 수 있고, 항원-항체 반응, DNA-DNA 교잡(hybridization), DNA-단백질 결합 감지 등에 적용하여 유전질환, 암의 조기 진단 등에도 이용할 수 있다.
센서, 나노 소자, Si 나노 와이어, 펩타이드, 바이오틴, 게이트 전극

19. 发明授权

KR100996675B1 열전 나노와이어 및 그의 제조방법 有权
标题翻译：热电纳米及其制造方法
公开(公告)号：KR100996675B1
公开(公告)日：2010-11-25
申请号：KR1020090002995
申请日：2009-01-14
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 이우영 , 함진희 , 이승현 , 노종욱 , 김현수 , 김우철
IPC分类号： H01L35/16 , B82B3/00 , H01L35/18 , B82Y30/00
CPC分类号： H01L35/16 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C30B1/12 , C30B29/02 , C30B29/52 , C30B29/60 , H01L35/34 , Y10T428/12097
摘要： 본 발명은 기판상에 열팽창계수가 서로 다른 산화물층과 열전물질을 적층한 후 열팽창계수의 차이에 따른 압축응력을 이용하여 열전물질로부터 단결정 열전 나노와이어를 성장시켜 제조된 열전 나노와이어 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은,
상면에 산화물층이 형성된 기판을 마련하는 공정; 상기 산화물층 상에 Al, Ag, Fe 또는 이들의 산화물로 이루어진 다수의 나노입자를 형성하는 공정; 상기 산화물층 상에 형성된 상기 다수의 나노입자를 포함하도록 그 산화물층 상에 열전특성을 갖는 열전물질 박막을 형성하는 공정; 상기 열전물질 박막이 형성된 기판을 열처리하여 상기 다수의 나노입자가 함유된 열전 나노와이어를 성장시키는 공정; 및 상기 열처리 공정 이후에 상기 기판을 상온에서 냉각시키는 공정; 을 포함하는 열전 나노와이어 제조방법을 제공한다.
열전 나노와이어, 열전물질, 산화물층, 열전특성, 나노입자, 열팽창계수, 열전도도, 성능지수(ZT)

20. 发明公开

KR1020100083551A 열전 나노와이어 및 그의 제조방법 有权
标题翻译：热电纳米及其制造方法
公开(公告)号：KR1020100083551A
公开(公告)日：2010-07-22
申请号：KR1020090002995
申请日：2009-01-14
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 이우영 , 함진희 , 이승현 , 노종욱 , 김현수 , 김우철
IPC分类号： H01L35/16 , B82B3/00 , H01L35/18 , B82Y30/00
CPC分类号： H01L35/16 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C30B1/12 , C30B29/02 , C30B29/52 , C30B29/60 , H01L35/34 , Y10T428/12097
摘要： PURPOSE: A thermoelectric nanowire and a manufacturing method thereof are provided to manufacture the thermoelectric nano wire with high thermoelectric efficiency by inputting a plurality of nano particles to reduce the thermal conductivity inside the thermoelectric nano wire. CONSTITUTION: An oxide layer(30) is formed on the upper side of a substrate(10). A plurality of nano particles(50) is formed on the oxide layer. A thermoelectric material thin film(70) with the thermoelectric property is formed on the oxide layer. A thermoelectric nanowire(90) containing a plurality of nano particles is formed by thermally processing the substrate with the thermoelectric material thin film. The substrate is cooled at the room temperature.
摘要翻译：目的：提供一种热电纳米线及其制造方法，通过输入多个纳米粒子来降低热电纳米线内的导热率，制造具有高热电效率的热电纳米线。构成：在基板（10）的上侧形成氧化物层（30）。在氧化物层上形成多个纳米颗粒（50）。在氧化物层上形成具有热电性质的热电材料薄膜（70）。通过用热电材料薄膜热处理衬底来形成含有多个纳米颗粒的热电纳米线（90）。将基板在室温下冷却。

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