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热词
    • 11. 发明公开
    • 상변화 기억 소자 및 그 형성방법
    • 相移片存储器件及其形成方法,以减少相移材料图案的尺寸
    • KR1020040093623A
    • 2004-11-06
    • KR1020030027561
    • 2003-04-30
    • 삼성전자주식회사
    • 이수연
    • H01L21/8247
    • PURPOSE: A phase shift memory device and a forming method thereof are provided to reduce the size of a phase shift material pattern by performing isotropic etching on the material pattern using etching selectivity between the material pattern and a diffusion barrier pattern. CONSTITUTION: An interlayer dielectric(107) is formed on a semiconductor substrate(101). A contact plug(109) is connected with the substrate through the interlayer dielectric. A phase shift material pattern(111a) and a diffusion barrier pattern(113a) are sequentially stacked on the contact plug. The phase shift material pattern is formed by performing isotropic etching on a phase shift material layer using the diffusion barrier pattern as a mask. The phase shift material layer has an etching selectivity for the diffusion barrier pattern. As a result, the phase shift material pattern is smaller than the diffusion barrier pattern.
    • 目的:提供一种相移存储器件及其形成方法,以通过在材料图案和扩散阻挡图案之间的蚀刻选择性对材料图案进行各向同性蚀刻来减小相移材料图案的尺寸。 构成:在半导体衬底(101)上形成层间电介质(107)。 接触插头(109)通过层间电介质与衬底连接。 相移材料图案(111a)和扩散阻挡图案(113a)依次堆叠在接触插塞上。 通过使用扩散阻挡图案作为掩模在相移材料层上进行各向同性蚀刻来形成相移材料图案。 相移材料层对扩散阻挡图案具有蚀刻选择性。 结果,相移材料图案比扩散阻挡图案小。
    • 16. 发明公开
    • 표시장치 및 그 제조방법과 표시장치 제조용 잉크 조성물
    • 显示装置及其制造方法及其制造方法
    • KR1020070072296A
    • 2007-07-04
    • KR1020060017831
    • 2006-02-23
    • 삼성전자주식회사
    • 차순욱정진구이주현하재국이정수이수연김성민
    • C09K11/06
    • Provided are a display device, a method for preparing the display device capable of improving the uniformity of the quality of an organic layer, and an ink composition for preparing the display device. The display device comprises: an insulating substrate; a partition wall which is formed on the insulating substrate and surrounds a certain region; and an organic layer which is formed by providing an ink composition into the partition wall and volatilizing the solvents of the ink composition. The ink composition comprises: a first solvent which is in solid phase at a temperature of 10-30 deg.C; a second solvent which is in liquid phase at a temperature of 10-30 deg.C; and an organic material. The second solvent is volatilized before the first solvent, and the first solvent is volatilized after the second solvent is in solid phase.
    • 提供一种显示装置,能够提高有机层质量均匀性的显示装置的制备方法和用于制备显示装置的油墨组合物。 显示装置包括:绝缘基板; 分隔壁,其形成在所述绝缘基板上并围绕某一区域; 以及通过将油墨组合物提供到分隔壁中并使油墨组合物的溶剂挥发而形成的有机层。 油墨组合物包括:在10-30℃的温度下为固相的第一溶剂; 在10-30℃的温度下处于液相的第二溶剂; 和有机材料。 第二溶剂在第一溶剂之前挥发,第二溶剂在固相后挥发。
    • 18. 发明公开
    • 몰딩막 및 형성막 패턴 사이에 개재된 상전이막 패턴을갖는 피이. 램들 및 그 형성방법들.
    • 具有在成型层和成型层之间插入的相变层模式的模型及其形成方法
    • KR1020060021216A
    • 2006-03-07
    • KR1020040070089
    • 2004-09-02
    • 삼성전자주식회사
    • 유경창이수연황영남이세호
    • H01L27/10
    • H01L45/06H01L27/2436H01L45/1226H01L45/1233H01L45/126H01L45/144H01L45/1666
    • 몰딩막 및 형성막 패턴 사이에 개재된 상전이막 패턴을 갖는 피이. 램들 및 그 형성방법들을 제공한다. 상기 피이. 램들 및 그 형성방법들은 축소된 디자인 룰에 대응해서 노드 도전막 패턴 및 하부 전극을 이어줄 수 있는 상전이막 패턴을 제시해준다. 이를 위해서, 반도체 기판의 상부의 평탄화 층간절연막에 노드 도전막 패턴이 배치된다. 상기 평탄화 층간절연막 및 노드 도전막 패턴을 차례로 덮는 몰딩막, 형성막 패턴 및 보호막을 형성한다. 상기 형성막 패턴은 몰딩막으로 둘러싸이도록 배치된다. 그리고, 상기 몰딩막 및 평탄화 층간절연막 사이에 개재되도록 하부 전극을 형성한다. 상기 보호막 상에 상부 전극을 형성한다. 상기 평탄화 층간절연막 상에 위치되어서 몰딩막 및 형성막 패턴 사이에 배치된 상전이막 패턴을 형성한다. 상기 상전이막 패턴 및 몰딩막 사이에 스페이서 패턴이 배치된다. 상기 하부 전극 상에 위치되어서 보호막 및 몰딩막에 배치된 접속 노드막 패턴을 형성한다. 이때에, 상기 접속 노드막 패턴은 상부 및 하부 전극들을 이어준다. 상기 상전이막 패턴은 노드 도전막 패턴 및 하부 전극과 접촉한다. 또한, 상기 하부 전극은 접속 노드막 패턴으로부터 노드 도전막 패턴을 향하여 돌출해서 형성막 패턴 아래에 배치된다.
      상전이막 패턴, 하부 전극. 상부 전극.