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91. 发明授权

KR101372395B1 나노제너레이터 분리 방법 및 이를 이용한 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 有权
标题翻译：分离纳米机的方法和使用其制造纳米机的方法
公开(公告)号：KR101372395B1
公开(公告)日：2014-03-10
申请号：KR1020130002661
申请日：2013-01-09
申请人： 한국과학기술원
发明人： 이건재 , 박귀일 , 황건태 , 정창규
IPC分类号： H01L21/20 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/7806 , H01L21/30604 , H01L21/31056 , H01L29/0665 , H01L41/0471
摘要： The present invention relates to a method for separating a nanogenerator characterized in including the step of manufacturing the nanogenerator on a sacrificial substrate; the step of laminating a metal layer on the nanogenerator; and the step of separating a part of the sacrificial substrate by mounting mechanical or thermal energy to the metal layer. According to one embodiment, the nanogenerator is separated by using the difference of stress between the sacrificial substrate and the metal layer, not by separating the nanogenerator from the sacrificial substrate through an existing wet etching. As such, the method is safer and more economically feasible than a chemical separation method using an etching solution since the nanogenerator can be separated from the sacrificial substrate in a mechanical way. Moreover, the method can prevent the damage to the nanogenerator due to the etching solution in advance.
摘要翻译：本发明涉及一种分离纳米发生器的方法，其特征在于包括在牺牲基板上制造纳米发生器的步骤; 在纳米发生器上层压金属层的步骤; 以及通过将机械或热能安装到金属层来分离牺牲基板的一部分的步骤。根据一个实施例，通过使用牺牲衬底和金属层之间的应力差来分离纳米发生器，而不是通过现有的湿蚀刻将纳米发生器与牺牲衬底分离。因此，与使用蚀刻溶液的化学分离方法相比，该方法更安全并且更经济可行，因为纳米发生器可以以机械方式与牺牲基板分离。此外，该方法可以预防由于蚀刻溶液对纳米发生器的损坏。

92. 发明授权

KR101336259B1 플라스틱 전지소자 제조방법, 이에 따라 제조된 플라스틱 전지소자 有权
标题翻译：一种塑料电池装置的制造方法，由其制造的塑料电池装置
公开(公告)号：KR101336259B1
公开(公告)日：2013-12-06
申请号：KR1020120105120
申请日：2012-09-21
申请人： 한국과학기술원
发明人： 이건재 , 구민 , 황건태
IPC分类号： H01M10/0585 , H01M10/0562 , H01M10/04
摘要： 플라스틱 전지소자 제조방법, 이에 따라 제조된 플라스틱 전지소자가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플라스틱 전지소자 제조방법은 희생기판 상에 전지층을제조하는 단계; 상기 희생기판을 제거하는 단계; 및 전사층을 이용, 상기 전지층을 플라스틱 기판으로 전사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

93. 发明授权

KR101330713B1 레이저 리프트오프를 이용한 플렉서블 박막 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 박막 나노제너레이터 有权
标题翻译：制造柔性膜纳米发生器的柔性纳米发生器的制造方法
公开(公告)号：KR101330713B1
公开(公告)日：2013-11-19
申请号：KR1020110100185
申请日：2011-09-30
申请人： 한국과학기술원
发明人： 이건재 , 황건태
IPC分类号： H01L41/02 , H02N2/02
摘要： 레이저 리프트오프를 이용한 플렉서블 박막 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 박막 나노제너레이터가 제공된다.

94. 发明授权

KR101328006B1 유연성 질화갈륨 발광다이오드 소자 제조방법 및 이에 따라 제조된 유연성 질화갈륨 발광다이오드 소자 有权
标题翻译：用于制造由其制造的GaN LED器件和GaN LED器件的方法
公开(公告)号：KR101328006B1
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：KR1020130071321
申请日：2013-06-21
申请人： 한국과학기술원
发明人： 이건재 , 박소영 , 이승현 , 구민
IPC分类号： H01L33/48 , A61B5/04
摘要： 유연성 질화갈륨 발광다이오드 소자 제조방법 및 이에 따라 제조된 유연성 질화갈륨 발광다이오드 소자가 제공된다.
본 발명에 따른 유연성 질화갈륨 발광다이오드 소자 제조방법은 희생기판 상에 질화갈륨 발광다이오드 소자를 제조하는 단계; 상기 희생기판으로부터 상기 질화갈륨 발광다이오드 소자를 화학적으로 분리하는 단계를 포함하며, 여기에서 상기 화학적 분리는 상기 희생기판과 질화갈륨 발광다이오드 소자 사이의 희생층을 화학적으로 제거하는 방식으로 진행되는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 유연성의 GaN LED 소자는 구 형태의 두개골이나 두개골 뼈 바로 아래에 위치하는 주름진 대뇌피질(인지, 사고, 언어, 기억 등의 역할, 특히 파킨슨 병은 표면에 위치하는 신경세포에 의한 증상) 등과 같이 구불구불한 표면의 인체 내에 이식가능하다. 또한 복수 개로 구성되며, 각각이 독립적으로 온/오프되는 LED 어레이를 통해 여러 부위에 신경세포의 빛 온-오프 자극이 가능하므로 신경 회로의 규명이 용이해진다.

95. 发明授权

KR101290003B1 플렉서블 메모리 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 메모리 소자 有权
标题翻译：柔性存储器件的制造方法和由其制造的柔性存储器件
公开(公告)号：KR101290003B1
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：KR1020110088045
申请日：2011-08-31
申请人： 한국과학기술원
发明人： 이건재 , 김승준
IPC分类号： H01L21/8247 , H01L27/115 , H01L21/8242
摘要： 플렉서블 메모리 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 메모리 소자가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 방법은 플렉서블 기판에 고성능 다결정 또는 단결정 실리콘 스위칭 소자를 제조하는 단계; 및 상기 제조된 스위칭 소자를 포함하는 메모리 소자를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따르면, 고성능 실리콘 소자를 스위칭으로 활용하여, 플렉서블한 형태의 다양한 메모리 소자를 제조할 수 있다. 특히 본 발명에 따르면 하나의 스위칭 소자와 하나의 메모리 구조를 통하여 메모리 어레이를 플렉서블 기판 상에 구현시킬 수 있으며, 더 나아가 RRAM, PRAM, DRAM,의 경우, 고성능 플렉서블 실리콘 트랜지스터가 비정형 TiO
2 (α-TiO
2 ) 기반 쌍극자 저항 메모리, GST 상변화 메모리, ZrO
2 캐패시터 메모리 요소등과 집적되어, 메모리의 논리 상태를 제어할 수 있다.

96. 发明授权

KR101262476B1 플라스틱 바이오 센서 및 그 제조방법 有权
标题翻译：灵活的生物传感器及其制造方法相同
公开(公告)号：KR101262476B1
公开(公告)日：2013-05-09
申请号：KR1020100131806
申请日：2010-12-21
申请人： 한국과학기술원
发明人： 이건재 , 이상용 , 유현균 , 박태정 , 이상엽 , 이석재 , 이병주 , 오재섭
IPC分类号： G01N27/327 , G01N27/403
摘要： 플라스틱바이오센서및 그제조방법이제공된다. 본발명에따른플라스틱바이오센서는소정깊이의홈이구비되며, 상기홈의양 측면에각각금속라인이연결된플라스틱기판; 상기홈 내부로안착되며, 소스, 드레인전극및 상기소스및 드레인전극사이에노출된실리콘기판을포함하는바이오센서단위소자; 및상기바이오센서의상부에구비되며, 상기단위소자의실리콘기판및 플라스틱기판을지나며, 하부의실리콘기판및 플라스틱기판과수직으로유체연통하는미세채널이구비된상부기판을포함하는것을특징으로하며, 본발명에따른바이오센서는플렉서블한플라스틱기판상에구현되므로, 종래의실리콘기판상에구현된바이오센서가가지는기판의한계를효과적으로극복할수 있다. 또한, 본발명에따른바이오센서소자는고성능마이크로구조반도체를이용하여플라스틱기판에서바이오물질을검출하기때문에, 기존바이오센서보다우수한감응도를갖는다.

97. 发明授权

KR101260606B1 플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조장치, 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 그래핀 반도체 소자 有权
标题翻译：使用闪光斜坡的石墨烯的制造装置和方法，以及由其制造的图形半导体
公开(公告)号：KR101260606B1
公开(公告)日：2013-05-03
申请号：KR1020110062484
申请日：2011-06-27
申请人： 한국과학기술원
发明人： 이건재 , 최인성
IPC分类号： C01B31/02 , B01J19/08 , C23C16/26 , H01L21/331
摘要： 플래쉬램프를이용한그래핀제조방법, 제조장치및 이를이용하여제조된그래핀이제공된다. 본발명에따른그래핀그래핀이성장되어야하는기판이내부에구비되는챔버; 상기기판의일 측면으로반응가스가유입되는유입부; 상기챔버에진공을인가하는위한진공부; 및상기챔버상단에구비되어, 상기기판에빛을조사하기위한플래쉬램프를포함하며여기에서상기기판은롤투롤(roll to roll) 이송수단에의하여이동되는것을특징으로하며, 본발명에따른그래핀제조방법및 장치는대면적으로조사되는플래쉬램프의열을이용, 그래핀성장가스를반응시켜기판상에그래핀을성장시킨다. 또한롤투롤방식으로플렉서블기판을이송시켜, 그래핀을성장시키고, 또한반응가스만을달리구성하여, 그래핀의변형없이도그래핀반도체소자를대량으로제조할수 있다.

98. 发明公开

KR1020130008224A 유연성 질화갈륨 발광다이오드 소자 제조방법 및 이에 따라 제조된 유연성 질화갈륨 발광다이오드 소자 无效
标题翻译：制造GAN LED器件的方法及其制造的GAN LED器件
公开(公告)号：KR1020130008224A
公开(公告)日：2013-01-22
申请号：KR1020110068830
申请日：2011-07-12
申请人： 한국과학기술원
发明人： 이건재 , 박소영 , 이승현 , 구민
IPC分类号： H01L33/12
CPC分类号： H01L33/0079 , A61N5/0622 , G01N33/4836 , H01L33/32 , H01L33/36
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a GaN LED device and a GaN LED device manufactured by the same are provided to easily verify a nerve circuit by using an LED array. CONSTITUTION: A gallium nitride light emitting diode element is formed on a sacrificial substrate(100). A gallium nitride light emitting diode element is chemically separated from the sacrificial substrate. A silicon oxide layer(200) is laminated on the sacrificial substrate. A patterning process is performed on the silicon oxide layer. A first gallium nitride film(201a) is grown up in a space between silicon oxide layers.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造由其制造的GaN LED器件和GaN LED器件的方法，以通过使用LED阵列容易地验证神经电路。构成：在牺牲基板（100）上形成氮化镓发光二极管元件。氮化镓发光二极管元件与牺牲衬底化学分离。在牺牲基板上层叠氧化硅层（200）。在氧化硅层上进行构图处理。第一氮化镓膜（201a）在氧化硅层之间的空间中长大。

99. 发明公开

KR1020130006944A 플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조장치, 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 그래핀 반도체 소자 有权
标题翻译：使用闪光镭射的石墨制造装置和方法及其制造的图形半导体
公开(公告)号：KR1020130006944A
公开(公告)日：2013-01-18
申请号：KR1020110062484
申请日：2011-06-27
申请人： 한국과학기술원
发明人： 이건재 , 최인성
IPC分类号： C01B31/02 , B01J19/08 , C23C16/26 , H01L21/331
CPC分类号： C01B32/184 , B01J19/08 , C23C16/26
摘要： PURPOSE: A manufacturing apparatus and method for graphene using a flash lamp, and a graphene semiconductor device manufactured by using the same are provided to grow graphene by transferring a flexible substrate through a roll-to-roll method without metal catalyst. CONSTITUTION: A manufacturing apparatus of graphene comprises a chamber, an inlet(20), a vacuum part(30), and a flash lamp(40). The substrate for growing graphene is mounted in the chamber. A reaction gas flows into an inlet on the one side of the substrate. The vacuum part makes the chamber into a vacuum state. The flash lamp for irradiating the substrate with light is placed in the uppar part of the chamber. The substrate is transferred by a roll to roll unit. The graphene manufacturing apparatus additionally comprises a reflection unit. The light from the flash lamp is reflected from the front side of the reflection unit, which is placed in the upper part of the flash lamp.
摘要翻译：目的：提供使用闪光灯的石墨烯的制造装置和方法，以及使用其制造的石墨烯半导体装置，通过不用金属催化剂的卷对卷方法转移柔性基板来生长石墨烯。构成：石墨烯的制造装置包括腔室，入口（20），真空部件（30）和闪光灯（40）。用于生长石墨烯的基底安装在腔室中。反应气体流入基板一侧的入口。真空部分使腔室成为真空状态。将用于用光照射基板的闪光灯放置在室的最上部。基板通过辊到辊单元传送。石墨烯制造装置还包括反射单元。来自闪光灯的光从反射单元的前侧反射，反射单元被放置在闪光灯的上部。

100. 发明授权

KR101198447B1 플라스틱 기반 바이오 센서 및 그 제조방법 失效
标题翻译：基于塑料的生物传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR101198447B1
公开(公告)日：2012-11-06
申请号：KR1020100099844
申请日：2010-10-13
申请人： 한국과학기술원
发明人： 이건재 , 이상용 , 유현균
IPC分类号： G01N33/48 , G01N33/50 , G01N27/26
摘要： 플라스틱 기반 바이오 센서 및 그 제조방법이 제공된다.
본 발명에 따른 플라스틱 기반 바이오 센서는 플라스틱 기판에 구비된 홈; 및 상기 홈 내부에 안착되며, 바이오 검출 물질이 단결정 실리콘 게이트 채널에 고정된 단위 바이오 센서를 포함하며, 여기에서 상기 홈 외부 및 바이오 센서에는 소스 및 드레인 전극이 와이어 형태로 연결된 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 바이오센서는 플라스틱 기판상에 구현되므로, 종래의 실리콘 기판상에 구현된 바이오센서가 가지는 기판의 한계 효과적으로 극복할 수 있다.

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