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1. 发明申请

US20070010898A1 Scalable motion control system 有权
标题翻译：可扩展运动控制系统
公开(公告)号：US20070010898A1
公开(公告)日：2007-01-11
申请号：US11178615
申请日：2005-07-11
申请人： Martin Hosek , Stuart Beale , Roumen Botev , Matthew Coady , Christopher Hofmeister , Mark Ives , Jairo Moura , Robert Caveney
发明人： Martin Hosek , Stuart Beale , Roumen Botev , Matthew Coady , Christopher Hofmeister , Mark Ives , Jairo Moura , Robert Caveney
IPC分类号： G05B19/18
CPC分类号： G05B19/4185 , G05B19/4148 , G05B2219/31207 , G05B2219/33277 , Y02P90/18
摘要： A control system includes a clustered architecture having a master controller, a central control section including one or more first remote controllers under direct control of the master controller, and a distributed control section including a cluster controller controlled by the master controller. The cluster controller controls the activities of one or more second remote controllers. Each of the first and second remote controllers are utilized to drive one or more axes.
摘要翻译：控制系统包括具有主控制器的集群架构，包括主控制器的直接控制下的一个或多个第一遥控器的中央控制部分，以及包括由主控制器控制的集群控制器的分布式控制部分。集群控制器控制一个或多个第二个遥控器的活动。第一和第二遥控器中的每一个被用于驱动一个或多个轴。

2. 发明申请

US20110118855A1 SCALABLE MOTION CONTROL SYSTEM 有权
标题翻译：可调节运动控制系统
公开(公告)号：US20110118855A1
公开(公告)日：2011-05-19
申请号：US13011970
申请日：2011-01-24
申请人： Martin Hosek , Stuart Beale , Roumen Botev , Matthew Coady , Christopher Hofmeister , Mark Ives , Jairo Moura , Robert Caveney
发明人： Martin Hosek , Stuart Beale , Roumen Botev , Matthew Coady , Christopher Hofmeister , Mark Ives , Jairo Moura , Robert Caveney
IPC分类号： G05B13/04
CPC分类号： G05B19/4185 , G05B19/4148 , G05B2219/31207 , G05B2219/33277 , Y02P90/18
摘要： A control system includes a clustered architecture having a master controller, a central control section including one or more first remote controllers under direct control of the master controller, and a distributed control section including a cluster controller controlled by the master controller. The cluster controller controls the activities of one or more second remote controllers. Each of the first and second remote controllers are utilized to drive one or more axes.
摘要翻译：控制系统包括具有主控制器的集群架构，包括主控制器的直接控制下的一个或多个第一遥控器的中央控制部分，以及包括由主控制器控制的集群控制器的分布式控制部分。集群控制器控制一个或多个第二个遥控器的活动。第一和第二遥控器中的每一个被用于驱动一个或多个轴。

3. 发明授权

US09020617B2 Scalable motion control system 有权
标题翻译：可扩展运动控制系统
公开(公告)号：US09020617B2
公开(公告)日：2015-04-28
申请号：US13011970
申请日：2011-01-24
申请人： Martin Hosek , Stuart Beale , Roumen Botev , Matthew Coady , Christopher Hofmeister , Mark Ives , Jairo Moura , Robert Caveney
发明人： Martin Hosek , Stuart Beale , Roumen Botev , Matthew Coady , Christopher Hofmeister , Mark Ives , Jairo Moura , Robert Caveney
IPC分类号： G05B15/00 , G05B13/02 , G05B19/18 , G05B19/418 , G05B19/414
CPC分类号： G05B19/4185 , G05B19/4148 , G05B2219/31207 , G05B2219/33277 , Y02P90/18
摘要： A control system includes a clustered architecture having a master controller, a central control section including one or more first remote controllers under direct control of the master controller, and a distributed control section including a cluster controller controlled by the master controller. The cluster controller controls the activities of one or more second remote controllers. Each of the first and second remote controllers are utilized to drive one or more axes.
摘要翻译：控制系统包括具有主控制器的集群架构，包括主控制器的直接控制下的一个或多个第一遥控器的中央控制部分，以及包括由主控制器控制的集群控制器的分布式控制部分。集群控制器控制一个或多个第二个遥控器的活动。第一和第二遥控器中的每一个被用于驱动一个或多个轴。

4. 发明授权

US07904182B2 Scalable motion control system 有权
标题翻译：可扩展运动控制系统
公开(公告)号：US07904182B2
公开(公告)日：2011-03-08
申请号：US11178615
申请日：2005-07-11
申请人： Martin Hosek , Stuart Beale , Roumen Botev , Matthew Coady , Christopher Hofmeister , Mark Ives , Jairo Moura , Robert Caveney
发明人： Martin Hosek , Stuart Beale , Roumen Botev , Matthew Coady , Christopher Hofmeister , Mark Ives , Jairo Moura , Robert Caveney
IPC分类号： G05B15/00 , G05B19/418 , G05B19/18 , G06F19/00 , G06K9/00 , B05C11/00
CPC分类号： G05B19/4185 , G05B19/4148 , G05B2219/31207 , G05B2219/33277 , Y02P90/18
摘要： A control system includes a clustered architecture having a master controller, a central control section including one or more first remote controllers under direct control of the master controller, and a distributed control section including a cluster controller controlled by the master controller. The cluster controller controls the activities of one or more second remote controllers. Each of the first and second remote controllers are utilized to drive one or more axes.
摘要翻译：控制系统包括具有主控制器的集群架构，包括主控制器的直接控制下的一个或多个第一遥控器的中央控制部分，以及包括由主控制器控制的集群控制器的分布式控制部分。集群控制器控制一个或多个第二个遥控器的活动。第一和第二遥控器中的每一个被用于驱动一个或多个轴。

5. 发明授权

US07522267B2 Substrate transport apparatus with automated alignment 有权
标题翻译：带自动对准的基板输送装置
公开(公告)号：US07522267B2
公开(公告)日：2009-04-21
申请号：US11485146
申请日：2006-07-11
申请人： Christopher Hofmeister , Martin Hosek , Stuart Beale
发明人： Christopher Hofmeister , Martin Hosek , Stuart Beale
IPC分类号： G03B27/58 , G03B27/62
CPC分类号： H01L21/681 , H01L21/67259 , H01L21/68 , H01L21/68707
摘要： A substrate processing apparatus is provided with a substrate transport apparatus. The transport apparatus is used for automating alignment of the processing apparatus. In one aspect, a through-beam sensor on the transport apparatus is used to level parts of the processing apparatus. In another aspect, a through-beam sensor on the transport apparatus is used to determine the locations and angular orientations of substrate stations within a plane. In another aspect, the transport apparatus teaches itself the accurate location of a substrate aligner by repeatedly placing the substrate on the aligner, recording positional data, constructing a cost function, and determining the location of the aligner by minimizing the cost function using a numerical technique.
摘要翻译：基板处理装置具有基板输送装置。运送装置用于使处理装置的对准自动化。在一个方面，传送装置上的通过光束传感器用于对处理装置的部分进行平坦化。在另一方面，传送装置上的通过束传感器用于确定在平面内的衬底台的位置和角取向。另一方面，运输设备通过将衬底重新放置在对准器上来记录衬底对准器的准确位置，记录位置数据，构建成本函数，以及通过使用数字技术最小化成本函数来确定对准器的位置。

6. 发明申请

US20070065144A1 Substrate transport apparatus with automated alignment 有权
标题翻译：带自动对准的基板输送装置
公开(公告)号：US20070065144A1
公开(公告)日：2007-03-22
申请号：US11485146
申请日：2006-07-11
申请人： Christopher Hofmeister , Martin Hosek , Stuart Beale
发明人： Christopher Hofmeister , Martin Hosek , Stuart Beale
IPC分类号： G03D5/00
CPC分类号： H01L21/681 , H01L21/67259 , H01L21/68 , H01L21/68707
摘要： A substrate processing apparatus is provided with a substrate transport apparatus. The transport apparatus is used for automating alignment of the processing apparatus. In one aspect, a through-beam sensor on the transport apparatus is used to level parts of the processing apparatus. In another aspect, a through-beam sensor on the transport apparatus is used to determine the locations and angular orientations of substrate stations within a plane. In another aspect, the transport apparatus teaches itself the accurate location of a substrate aligner by repeatedly placing the substrate on the aligner, recording positional data, constructing a cost function, and determining the location of the aligner by minimizing the cost function using a numerical technique.
摘要翻译：基板处理装置具有基板输送装置。运送装置用于使处理装置的对准自动化。在一个方面，传送装置上的通过光束传感器用于对处理装置的部分进行平坦化。在另一方面，传送装置上的通过束传感器用于确定在平面内的衬底台的位置和角取向。另一方面，运输设备通过将衬底重新放置在对准器上来记录衬底对准器的准确位置，记录位置数据，构建成本函数，以及通过使用数字技术最小化成本函数来确定对准器的位置。

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