基本信息:
- 专利标题： FLEXIBLE TFT BACKPANEL BY GLASS SUBSTRATE REMOVAL
- 专利标题（中）：透明玻璃底板去除柔性TFT背板
- 申请号：PCT/US2015/018807 申请日：2015-03-04
- 公开(公告)号：WO2015142525A1 公开(公告)日：2015-09-24
- 发明人： YU, Gang , SHIEH, Chan-Long , WANG, Guangming , FOONG, Fatt
- 申请人： CBRITE INC.
- 申请人地址： 421 Pine Ave. Goleta, CA 93117-3709 US
- 专利权人： CBRITE INC.
- 当前专利权人： CBRITE INC.
- 当前专利权人地址： 421 Pine Ave. Goleta, CA 93117-3709 US
- 代理机构： PARSONS, Robert, A.
- 优先权： US14/216,920 20140317
- 主分类号： H01L21/70
- IPC分类号： H01L21/70 ; H01L27/32 ; H01L51/52
摘要：
A process of fabricating a flexible TFT back-panel on a glass support includes a step of providing a flat glass support member sufficiently thick to prevent bending during the processing. A layer of etch stop material is positioned on the upper surface of the glass support member and an insulating buffer layer is positioned on the layer of etch stop material. A TFT back-panel is positioned on the insulating buffer layer and a flexible plastic carrier is affixed to the TFT back-panel. The glass support member is etched away, whereby a flexible TFT back-panel is provided. The TFT back-panel can include a matrix of either OLED cells or LCD cells.
摘要（中）：
在玻璃支架上制造柔性TFT背板的工艺包括提供足够厚的平板玻璃支撑件以防止加工过程中弯曲的步骤。 一层蚀刻停止材料定位在玻璃支撑构件的上表面上，并且绝缘缓冲层位于蚀刻停止材料层上。 TFT背板位于绝缘缓冲层上，柔性塑料载体固定在TFT后面板上。 蚀刻玻璃支撑构件，由此提供柔性TFT背面板。 TFT背面板可以包括OLED单元或LCD单元的矩阵。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/70 | .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造 |