基本信息:
- 专利标题： EXTENDABLE ELECTRODE FOR GAS DISCHARGE LASER
- 专利标题（中）：用于气体放电激光器的可扩展电极
- 申请号：PCT/US2008/003890 申请日：2008-03-25
- 公开(公告)号：WO2008130474A1 公开(公告)日：2008-10-30
- 发明人： SANDSTROM, Richard, L. , CHUNG, Tae, H. , UJAZDOWSKI, Richard, C.
- 申请人： CYMER, INC. (a Nevada Corporation) , SANDSTROM, Richard, L. , CHUNG, Tae, H. , UJAZDOWSKI, Richard, C.
- 申请人地址： 17075 Thormint Court San Diego, CA 92127-2413 US
- 专利权人： CYMER, INC. (a Nevada Corporation),SANDSTROM, Richard, L.,CHUNG, Tae, H.,UJAZDOWSKI, Richard, C.
- 当前专利权人： CYMER, INC. (a Nevada Corporation),SANDSTROM, Richard, L.,CHUNG, Tae, H.,UJAZDOWSKI, Richard, C.
- 当前专利权人地址： 17075 Thormint Court San Diego, CA 92127-2413 US
- 代理机构： HILLMAN, Matthew, K.
- 优先权： US11/787,463 20070416
- 主分类号： H01S3/097
- IPC分类号： H01S3/097
摘要：
Disclosed herein are systems and methods for extending one or both of the discharge electrodes in a transverse discharge gas laser chamber in which one or both the electrodes are subject to a dimensional change due to erosion. Electrode extension can be performed to increase the chamber life, increase laser performance over the life of the chamber, or both. Operationally, the inter-electrode spacing may be adjusted to maintain a specific target gap distance between the electrodes or to optimize a specific parameter of the laser output beam such as bandwidth, pulse-to-pulse energy stability, beam size, etc.
摘要（中）：
本文公开了用于在横向放电气体激光室中延伸一个或两个放电电极的系统和方法，其中一个或两个电极由于侵蚀而经受尺寸变化。 可以执行电极延伸以增加室的寿命，在室的寿命或两者都增加激光器性能。 可操作地，可以调整电极间间隔以维持电极之间的特定目标间隙距离或者优化激光输出光束的特定参数，例如带宽，脉冲到脉冲能量稳定性，光束尺寸等。