发明申请
WO2003052928A1 PIEZOELEKTRISCHER SCHWINGKREIS, VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG UND FILTERANORDNUNG
审中-公开
基本信息:
- 专利标题: PIEZOELEKTRISCHER SCHWINGKREIS, VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG UND FILTERANORDNUNG
- 专利标题(英):Piezoelectrical oscillator circuit method for production thereof and filter arrangement
- 专利标题(中):压电谐振电路,方法的排列和过滤器
- 申请号:PCT/EP2002/013137 申请日:2002-11-22
- 公开(公告)号:WO2003052928A1 公开(公告)日:2003-06-26
- 发明人: AIGNER, Robert , ELBRECHT, Lueder , HANDTMANN, Martin , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried , TIMME, Hans-Joerg
- 申请人: INFINEON TECHNOLOGIES AG , AIGNER, Robert , ELBRECHT, Lueder , HANDTMANN, Martin , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried , TIMME, Hans-Joerg
- 申请人地址: St.-Martin-Str. 53, 81669 München DE
- 专利权人: INFINEON TECHNOLOGIES AG,AIGNER, Robert,ELBRECHT, Lueder,HANDTMANN, Martin,MARKSTEINER, Stephan,NESSLER, Winfried,TIMME, Hans-Joerg
- 当前专利权人: INFINEON TECHNOLOGIES AG,AIGNER, Robert,ELBRECHT, Lueder,HANDTMANN, Martin,MARKSTEINER, Stephan,NESSLER, Winfried,TIMME, Hans-Joerg
- 当前专利权人地址: St.-Martin-Str. 53, 81669 München DE
- 代理机构: SCHOPPE, Fritz
- 优先权: DE101 20011219
- 主分类号: H03H3/04
- IPC分类号: H03H3/04
摘要:
Bei einem Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Schwingkreises in Dünnfilmtechnologie, bei dem der Schwingkreis eine vorbestimmte Eigenfrequenz und eine Mehrzahl von Schichten (112a, 112b, 114, 116a, 116b) umfasst, wird zunächst zumindest eine erste Schicht (116a) des piezoelektrischen Schwingkreises erzeugt. Anschließend wird durch Bearbeiten der ersten Schicht (116a) eine Frequenzkorrektur durchgeführt. Anschließend wird zumindest eine zweite Schicht (116b) des piezoelektrischen Schwingkreises erzeugt, und zum Durchführen einer zweiten Frequenzkorrektur bearbeitet.
摘要(中):
在用于制造薄膜技术的压电振荡电路,其中,所述振荡电路包括一个预定的自然频率和多个层(112A,112B,114,116A,116B)的方法包括,首先,生成至少压电振荡电路的一个第一层(116A)。 然后(116A)通过处理所述第一层的频率校正进行。 随后,至少在压电振荡电路的一个第二层(116B)被产生以及用于执行第二频率校正处理。
IPC结构图谱:
H | 电学 |
--H03 | 基本电子电路 |
----H03H | 阻抗网络,例如谐振电路;谐振器 |
------H03H3/00 | 专用于制造阻抗网络、谐振电路、谐振器的设备或方法 |
--------H03H3/007 | .用于制造机电谐振器或网络 |
----------H03H3/02 | ..用于制造压电或电致伸缩谐振器或网络 |
------------H03H3/04 | ...用于取得所需要的频率或温度系数 |