发明申请
US20110286656A1 METHODS AND SYSTEMS FOR UTILIZING DESIGN DATA IN COMBINATION WITH INSPECTION DATA
有权
基本信息:
- 专利标题： METHODS AND SYSTEMS FOR UTILIZING DESIGN DATA IN COMBINATION WITH INSPECTION DATA
- 专利标题（中）：与检验数据组合使用设计数据的方法和系统
- 申请号：US13115957 申请日：2011-05-25
- 公开(公告)号：US20110286656A1 公开(公告)日：2011-11-24
- 发明人： Ashok Kulkarni , Brian Duffy , Kais Maayah , Gordon Rouse
- 申请人： Ashok Kulkarni , Brian Duffy , Kais Maayah , Gordon Rouse
- 申请人地址： US CA Milpitas
- 专利权人： KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION
- 当前专利权人： KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION
- 当前专利权人地址： US CA Milpitas
- 主分类号： G06K9/00
- IPC分类号： G06K9/00
摘要：
Various methods and systems for utilizing design data in combination with inspection data are provided. One computer-implemented method for binning defects detected on a wafer includes comparing portions of design data proximate positions of the defects in design data space. The method also includes determining if the design data in the portions is at least similar based on results of the comparing step. In addition, the method includes binning the defects in groups such that the portions of the design data proximate the positions of the defects in each of the groups are at least to similar. The method further includes storing results of the binning step in a storage medium.
摘要（中）：
提供了与检测数据结合使用设计数据的各种方法和系统。 用于对在晶片上检测到的缺陷进行合并的计算机实现的方法包括将设计数据的部分靠近设计数据空间中的缺陷的位置进行比较。 该方法还包括基于比较步骤的结果确定部分中的设计数据是否至少相似。 此外，该方法包括将组中的缺陷合并，使得接近每个组中的缺陷的位置的设计数据的部分至少相似。 该方法还包括将合并步骤的结果存储在存储介质中。
公开/授权文献:
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G06 | 计算；推算；计数 |
| ----G06K | 数据识别；数据表示；记录载体；记录载体的处理 |
| ------G06K9/00 | 用于阅读或识别印刷或书写字符或者用于识别图形，例如，指纹的方法或装置 |