基本信息:
- 专利标题： Afm cantilevers and methods for making and using same
- 专利标题（中）：Afm悬臂和制造和使用相同的方法
- 申请号：US10478394 申请日：2002-03-29
- 公开(公告)号：US20050011256A1 公开(公告)日：2005-01-20
- 发明人： Jan Hoh
- 申请人： Jan Hoh
- 国际申请： PCT/US02/10137 WO 20020329
- 主分类号： G01Q60/40
- IPC分类号： G01Q60/40 ; G01Q70/12 ; G01Q70/14 ; G01Q70/16 ; G12B21/00 ; B82B3/00 ; G01N13/10
摘要：
The invention provides high performance cantilevers with optimal combinations of high resonant frequency and low force constant. In one aspect, AFM cantilevers with spring constants in the range 1-10−6 N/m with (fundamental) resonant frequencies in aqueous solutions of 0.1-100 MHz are provided. A high performance cantilever may be made by focused ion beam milling or electron deposition. The high performance cantilevers allow faster scanning, increase the temporal resolution of force measurement, improve measurement sensitivity by reducing cantilever noise, and improve sensitivity by reducing cantilever spring constant.
摘要（中）：
本发明提供了具有高谐振频率和低力常数的最佳组合的高性能悬臂。 在一个方面，提供弹簧常数在1-10 -6 N / m范围内的AFM悬臂，其中0.1-100MHz的水溶液中的（基本）共振频率。 可以通过聚焦离子束研磨或电子沉积来制造高性能悬臂。 高性能悬臂允许更快的扫描，增加力测量的时间分辨率，通过减小悬臂噪声来提高测量灵敏度，并通过减小悬臂弹簧常数来提高灵敏度。
公开/授权文献:
- US07441444B2 AFM cantilevers and methods for making and using same 公开/授权日：2008-10-28
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01Q | 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术 |
| ------G01Q60/00 | 特殊类型的SPM |
| --------G01Q60/02 | .多个类型SPM，即包括两种或更多种SPM技术 |
| ----------G01Q60/38 | ..探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物 |
| ------------G01Q60/40 | ...导电探针 |