基本信息:
- 专利标题： 合成石英玻璃基板之製造方法
- 专利标题（英）：METHOD FOR PRODUCING SYNTHETIC QUARTZ GLASS SUBSTRATE
- 专利标题（中）：合成石英玻璃基板之制造方法
- 申请号：TW108119343 申请日：2019-06-04
- 公开(公告)号：TW202003159A 公开(公告)日：2020-01-16
- 发明人： 石洋行 , ISHITSUKA, YOKO , 渡部厚 , WATABE, ATSUSHI , 竹內正樹 , TAKEUCHI, MASAKI
- 申请人： 日商信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 专利权人： 日商信越化學工業股份有限公司,SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 当前专利权人： 日商信越化學工業股份有限公司,SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 2018-107892 20180605
- 主分类号： B24C1/00
- IPC分类号： B24C1/00
摘要：
[課題] 提供一種合成石英玻璃基板之製造方法，在將合成石英玻璃基板進行噴砂加工時，防止基板表面與倒角面的棱線部分的加工量變異性、基板側面部分的磨耗，防止倒角形狀及側面形狀的變化。 [解決手段] 一種合成石英玻璃基板之製造方法，在將合成石英玻璃基板表面進行噴砂加工時，以與基板外周側面抵接的方式配置間隔物，進一步以在從基板表面予以突出的狀態下與前述間隔物的外周側面抵接的方式配置板材，將基板表面進行噴砂加工。
摘要（中）：
[课题] 提供一种合成石英玻璃基板之制造方法，在将合成石英玻璃基板进行喷砂加工时，防止基板表面与倒角面的棱线部分的加工量变异性、基板侧面部分的磨耗，防止倒角形状及侧面形状的变化。 [解决手段] 一种合成石英玻璃基板之制造方法，在将合成石英玻璃基板表面进行喷砂加工时，以与基板外周侧面抵接的方式配置间隔物，进一步以在从基板表面予以突出的状态下与前述间隔物的外周侧面抵接的方式配置板材，将基板表面进行喷砂加工。
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B24 | 磨削；抛光 |
| ----B24C | 磨料或微粒材料的喷射 |
| ------B24C1/00 | 为产生特殊效果的喷射磨料的方法；与这些方法有关的所使用的辅助装置 |