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1. 发明专利

TWI693199B 合成石英玻璃基板之製造方法有权
简体标题：合成石英玻璃基板之制造方法
公开(公告)号：TWI693199B
公开(公告)日：2020-05-11
申请号：TW106107596
申请日：2017-03-08
申请人：日商信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：石洋行 , ISHITSUKA, YOKO , 渡部厚 , WATABE, ATSUSHI , 原田大実 , HARADA, DAIJITSU , 竹內正樹 , TAKEUCHI, MASAKI
IPC分类号： C03B33/02 , C03C15/00 , C03C17/28 , C03C3/06

2. 发明专利

TW202003159A 合成石英玻璃基板之製造方法审中-公开
简体标题：合成石英玻璃基板之制造方法
公开(公告)号：TW202003159A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108119343
申请日：2019-06-04
申请人：日商信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：石洋行 , ISHITSUKA, YOKO , 渡部厚 , WATABE, ATSUSHI , 竹內正樹 , TAKEUCHI, MASAKI
IPC分类号： B24C1/00
摘要： [課題] 提供一種合成石英玻璃基板之製造方法，在將合成石英玻璃基板進行噴砂加工時，防止基板表面與倒角面的棱線部分的加工量變異性、基板側面部分的磨耗，防止倒角形狀及側面形狀的變化。 [解決手段] 一種合成石英玻璃基板之製造方法，在將合成石英玻璃基板表面進行噴砂加工時，以與基板外周側面抵接的方式配置間隔物，進一步以在從基板表面予以突出的狀態下與前述間隔物的外周側面抵接的方式配置板材，將基板表面進行噴砂加工。
简体摘要： [课题] 提供一种合成石英玻璃基板之制造方法，在将合成石英玻璃基板进行喷砂加工时，防止基板表面与倒角面的棱线部分的加工量变异性、基板侧面部分的磨耗，防止倒角形状及侧面形状的变化。 [解决手段] 一种合成石英玻璃基板之制造方法，在将合成石英玻璃基板表面进行喷砂加工时，以与基板外周侧面抵接的方式配置间隔物，进一步以在从基板表面予以突出的状态下与前述间隔物的外周侧面抵接的方式配置板材，将基板表面进行喷砂加工。

3. 发明专利

TW201820445A 基板之製造方法审中-公开
简体标题：基板之制造方法
公开(公告)号：TW201820445A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106128383
申请日：2017-08-22
申请人：日商信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：石洋行 , ISHITSUKA, YOKO , 渡部厚 , WATABE, ATSUSHI , 竹內正樹 , TAKEUCHI, MASAKI
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/04 , C03C19/00 , C03B20/00
摘要：一種基板之製造方法，其係於設為可旋轉之研磨板的下表面安裝可伸縮之彈性體薄片，於該彈性體薄片之下表面安裝研磨布，並且設置於複數部位以個別所用之壓力按壓上述彈性體薄片之手段，使用對應於彈性體薄片之複數部位之按壓力變化而使研磨布面變形為期望之反凸形狀之加工工具，將變形為前述反凸形狀之研磨布面壓抵於基板，使上述加工工具旋轉移動而研磨基板之所用部位。　　依據本發明，於基板表面之平坦度修正及厚度調整時，由於不須更換加工工具，而可藉由一個加工工具，同時進行基板凸部分之選擇性研磨去除及基板全體之厚度調整，故不需要工具更換之手續，可以短時間研磨，提高基板之生產性，而可經濟地製造基板。
简体摘要：一种基板之制造方法，其系于设为可旋转之研磨板的下表面安装可伸缩之弹性体薄片，于该弹性体薄片之下表面安装研磨布，并且设置于复数部位以个别所用之压力按压上述弹性体薄片之手段，使用对应于弹性体薄片之复数部位之按压力变化而使研磨布面变形为期望之反凸形状之加工工具，将变形为前述反凸形状之研磨布面压抵于基板，使上述加工工具旋转移动而研磨基板之所用部位。　　依据本发明，于基板表面之平坦度修正及厚度调整时，由于不须更换加工工具，而可借由一个加工工具，同时进行基板凸部分之选择性研磨去除及基板全体之厚度调整，故不需要工具更换之手续，可以短时间研磨，提高基板之生产性，而可经济地制造基板。

4. 发明专利

TW201808839A 合成石英玻璃基板之製造方法审中-公开
简体标题：合成石英玻璃基板之制造方法
公开(公告)号：TW201808839A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106107596
申请日：2017-03-08
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：石洋行 , ISHITSUKA, YOKO , 渡部厚 , WATABE, ATSUSHI , 原田大実 , HARADA, DAIJITSU , 竹內正樹 , TAKEUCHI, MASAKI
IPC分类号： C03B33/02 , C03C15/00 , C03C17/28 , C03C3/06
CPC分类号： C03B33/02 , B28D5/00 , C03C3/06 , C03C15/00 , C03C17/28 , C03C2201/02 , C03C2203/50 , C03C2218/114 , C03C2218/32 , G01B11/06 , G01N21/23
摘要：本發明之解決手段為，一種合成石英玻璃基板之製造方法，其係包含以下步驟：準備合成石英玻璃塊體的步驟、針對前述合成石英玻璃塊體中與進行切斷加工時之切斷面平行的面和與其相對向的面之2面，塗佈測定雙折射率的波長之透過率為99.0%/mm以上之液體的步驟、藉由從其中一方之塗佈面射入，並從另一方之塗佈面射出的光，測定合成石英玻璃塊體之雙折射率的步驟、根據所得到的雙折射率，因應於所得之合成石英玻璃基板的尺寸來決定將合成石英玻璃塊體切斷之厚度的步驟、以及依據所決定之切斷厚度進行切斷的步驟。本發明之效果為，依據本發明，可在製造步驟之較早的階段之切片步驟前，預先預測在之後的研磨步驟中所需要的加工餘量來決定切片時之厚度，而減低原料之合成石英玻璃塊體的損耗量，提高合成石英玻璃基板的生產性，而可經濟地製造合成石英玻璃基板。
简体摘要：本发明之解决手段为，一种合成石英玻璃基板之制造方法，其系包含以下步骤：准备合成石英玻璃块体的步骤、针对前述合成石英玻璃块体中与进行切断加工时之切断面平行的面和与其相对向的面之2面，涂布测定双折射率的波长之透过率为99.0%/mm以上之液体的步骤、借由从其中一方之涂布面射入，并从另一方之涂布面射出的光，测定合成石英玻璃块体之双折射率的步骤、根据所得到的双折射率，因应于所得之合成石英玻璃基板的尺寸来决定将合成石英玻璃块体切断之厚度的步骤、以及依据所决定之切断厚度进行切断的步骤。本发明之效果为，依据本发明，可在制造步骤之较早的阶段之切片步骤前，预先预测在之后的研磨步骤中所需要的加工余量来决定切片时之厚度，而减低原料之合成石英玻璃块体的损耗量，提高合成石英玻璃基板的生产性，而可经济地制造合成石英玻璃基板。

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