基本信息:
- 专利标题： 반도체 공정 관리 시스템, 이를 포함하는 반도체 제조 시스템 및 반도체 제조 방법
- 专利标题（英）：KR102238648B1 - Semiconductor process management system, semiconductor manufacturing system including the same and method for manufacturing semiconductor including the same
- 申请号：KR1020140067789 申请日：2014-06-03
- 公开(公告)号：KR102238648B1 公开(公告)日：2021-04-09
- 发明人： 한동훈 , 원제형 , 김도형 , 김성협 , 김호준
- 申请人： 삼성전자주식회사
- 申请人地址： , Samsung-ro, Yeongtong-gu...
- 专利权人： 삼성전자주식회사
- 当前专利权人： 삼성전자주식회사
- 当前专利权人地址： , Samsung-ro, Yeongtong-gu...
- 代理人： 리앤목특허법인
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00 ; H01L21/66
摘要：
반도체공정관리시스템은하나이상의공정설비로부터공정레시피를수신하고, 하나이상의계측설비로부터샘플링포인트별 계측값을수신하는통신부와, 상기공정레시피및 상기샘플링포인트별 계측값에기반하여상기공정레시피및 상기샘플링포인트별 계측값간의상호영향모델을수립하는제1 판단부를포함한다.
摘要（英）：
The semiconductor process management system includes a communication unit for receiving a process recipe from one or more process facilities, and a measurement value for each sampling point from one or more measurement facilities, and the process recipe and the process recipe based on the process recipe and the measured value for each sampling point. And a first determination unit for establishing a mutual influence model between measured values for each sampling point.
公开/授权文献:
- KR1020150139334A 반도체 공정 관리 시스템, 이를 포함하는 반도체 제조 시스템 및 반도체 제조 방법 公开/授权日：2015-12-11
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |