基本信息:
- 专利标题： 리소그라피 시스템에서 기판을 전달하기 위한 장치
- 专利标题（英）：Apparatus for transferring a substrate in a lithography system
- 专利标题（中）：用于在地平线系统中传输基板的装置
- 申请号：KR1020137031510 申请日：2012-05-01
- 公开(公告)号：KR1020140041501A 公开(公告)日：2014-04-04
- 发明人： 쿠퍼,빈센트실버스타 , 슬롯,에르윈 , 반커빈크,마르셀니콜라스제이콥스 , 데보어,가이도 , 데종,헨드릭얀
- 申请人： 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
- 申请人地址： Computerlaan **, NL-**** XK Delft, The Netherlands
- 专利权人： 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
- 当前专利权人： 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
- 当前专利权人地址： Computerlaan **, NL-**** XK Delft, The Netherlands
- 代理人： 특허법인 남앤드남
- 优先权： US61/480,163 2011-04-28
- 国际申请： PCT/EP2012/057959 2012-05-01
- 国际公布： WO2012146789 2012-11-01
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; H01L21/67 ; H01L21/677
摘要：
리소그라피 시스템 내에서 기판들을 전달하기 위한 장치로서, 상기 리소그라피 시스템은 클램핑된 기판을 형성하기 위해 기판 지지 구조 상에 기판을 클램핑하기 위한 기판 준비 유닛 및 언클램핑된 기판들을 수용하기 위한 기판 공급 시스템과의 인터페이스를 포함한다. 상기 장치는 언클램핑된 기판을 전달하기 위한 핑거들의 제 1 세트 및 기판 지지 구조를 전달하기 위한 핑거들의 제 2 세트가 제공된 바디를 포함하고, 상기 핑거들의 제 1 세트는 핑거들의 제 2 세트 아래에 위치되고 핑거들의 제 1 세트의 핑거들은 핑거들의 제 2 세트의 핑거들과 상이한 형상을 갖는다.
摘要（英）：
An apparatus for transferring a substrate in the lithography system, the lithography system with a substrate supply system for receiving the substrate preparation unit and unloading clamping the substrate to clamp the substrate on a substrate support structure to form a clamped substrate an interface. The apparatus unloading the second set of fingers for passing a first set and a substrate support structure of fingers for passing the clamped substrate comprises a body provided, and the first set of fingers is below the second set of fingers position is the finger of the first set of fingers has a different shape of the fingers and the second set of fingers.
公开/授权文献:
- KR101614475B1 리소그라피 시스템에서 기판을 전달하기 위한 장치 公开/授权日：2016-04-21