基本信息:
- 专利标题： 기화 장치 및 이를 이용한 기화 방법
- 专利标题（英）：Vaporizing device and method of vaporizing using the same
- 专利标题（中）：汽化装置及使用其的汽化方法
- 申请号：KR1020100030833 申请日：2010-04-05
- 公开(公告)号：KR1020110111656A 公开(公告)日：2011-10-12
- 发明人： 김대현 , 송현우 , 이희준 , 박준석
- 申请人： (주)지오엘리먼트
- 申请人地址： 경기도 안성시 금석*길 ** (금석동)
- 专利权人： (주)지오엘리먼트
- 当前专利权人： (주)지오엘리먼트
- 当前专利权人地址： 경기도 안성시 금석*길 ** (금석동)
- 代理人： 김동진
- 主分类号： C23C16/448
- IPC分类号： C23C16/448 ; H01L21/205
摘要：
기화 장치 및 이를 이용하는 기화 방법을 제공한다. 기화 장치는, 화합물을 수용할 수 있는 내부 공간을 가지는 통 형상으로서 주입구와 배출구를 포함하는 본체, 주입구를 통해서 내부 공간과 연결되는 주입 라인, 배출구를 통해서 내부 공간과 연결되는 배출 라인, 주입 라인과 연결되는 내부 공간을 제1 온도 범위로 유지시키는 제1 정온 유지 수단, 및 배출 라인과 연결되는 내부 공간을 제2 온도 범위로 유지시키는 제2 정온 유지 수단을 포함하며, 제1 온도 범위는 제2 온도 범위보다 낮을 수 있다.
摘要（英）：
It provides a vaporizer and vaporized using this method. Vaporizing apparatus, the main body including the inlet and outlet a tubular having an interior space to accommodate the compound, the injection line is through an injection port connected to the internal space, the discharge line is through an outlet connected with the interior space, the injection line and and a second constant-temperature maintaining means for maintaining the interior space is connected to the first constant-temperature maintaining means for maintaining the interior space communicating at a first temperature range, and a discharge line to a second temperature, the first temperature range is the second It may be lower than the temperature range.