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    • 4. 发明公开
    • 케미컬 회수 시스템
    • 化学回收系统
    • KR1020180002954A
    • 2018-01-09
    • KR1020160081895
    • 2016-06-29
    • (주)지오엘리먼트
    • 김대현이영종이희준정근태윤성한
    • H01L21/02H01L21/67H01L21/66H01L21/60
    • H01L21/02H01L21/67005H01L21/67098H01L21/67207H01L22/30H01L2021/60187
    • 본발명의일 실시예에따르면, 반도체제조공정의반응챔버에공급하는케미컬을회수하는시스템으로서, 케미컬을반응챔버로공급하는공급경로에서분기된회수경로의상류측에배치되어케미컬의적어도일부를액화시키는제1 냉각모듈; 상기회수경로의하류측에배치되어케미컬을저장하는회수용기; 및상기회수경로상에서상기제1 냉각모듈과상기회수용기사이에개재되고, 상기회수경로의일부를형성하는회수용배관및 상기회수용배관에서분기된배출용배관을구비한세퍼레이터;를포함하고, 상기제1 냉각모듈을통과한액체케미컬이상기회수용기로공급되고상기제1냉각모듈을통과한기체케미컬은상기배출용배관에연결된배출경로를따라배출됨으로써, 상기회수용기에저장된액체케미컬의기화를방지하는것을특징으로하는케미컬회수시스템이제공된다.
    • 在根据本发明的一个实施例,用于回收被供给到半导体制造过程的反应室的化学物质提供了一种系统,它被设置在从供给路径分支供给化学到反应室中的至少化学的一部分的恢复路径的上游侧 液化的第一冷却模块; 回收容器,设置在回收路径的下游以存储化学品; 以及介于所述回收路径上的所述第一冷却模块和所述回收容器之间的分离器,所述分离器具有形成所述回收路径的一部分的回收管和从所述回收管分支出的排出管, 由此第一穿过所述制冷模块与在沿排放路径的连接到管道用于气态化学排出机会受体液体化学品供给是排气穿过第一冷却模块,存储在回收容器中的液体化学品的蒸发 提供化学回收系统。
    • 8. 发明授权
    • 분말 계량방법 및 그 장치
    • 测量粉末的方法和装置
    • KR101170010B1
    • 2012-07-31
    • KR1020090114552
    • 2009-11-25
    • (주)지오엘리먼트
    • 이승준이희준전미선
    • G01G13/285G01G13/00
    • 분말 계량방법 및 그 장치가 개시된다. 본 발명의 분말 계량방법은, 분말을 토출하는 복수의 분말 토출유닛(A
      0 ~ A
      n ) 각각에 대응된 토출량들(a
      0 ~ a
      n ) 중에서 가장 큰 회당 토출량(a
      0 )과 목표 계량값(T)을 비교하고, 비교 결과 목표 계량값(T)이 더 크면, 가장 큰 회당 토출량에 대응된 분말 토출 유닛이 분말을 1회 토출하며, 및 토출한 이후, 다음의 수식 목표 계량값(T) - 저울에 의해 측정된 값≤ a
      0
      을 만족하는지 여부를 판단하고, 만족하지 못하면 상기 수식을 만족할 때까지 제1분말 토출 유닛이 분말을 토출한다. 이에 의해, 분말에 대한 목표 계량값(T)을 허용 편차(d) 내에서 계량함에 있어 계량 횟수나 시간을 종래보다 감소시킬 수 있음은 물론 정밀도 또는 계량 총량을 동시에 만족시킬 수 있을 뿐만 아니라 결과값의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
      분말, 계량, 장치