基本信息:
- 专利标题： 물체의 각변위를 간섭계에 의해 측정하기 위한 장치 및 방법
- 专利标题（英）：Rotary interferometer
- 专利标题（中）：旋转干涉仪
- 申请号：KR1020100138019 申请日：2010-12-29
- 公开(公告)号：KR1020110079542A 公开(公告)日：2011-07-07
- 发明人： 예라즈니스윌리엄에스 , 워터스리차드씨
- 申请人： 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
- 申请人地址： *-*, Marunouchi *-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo ***-**** Japan
- 专利权人： 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
- 当前专利权人： 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
- 当前专利权人地址： *-*, Marunouchi *-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo ***-**** Japan
- 代理人： 제일특허법인; 장성구
- 优先权： US12/650,322 2009-12-30
- 主分类号： G01B9/02
- IPC分类号： G01B9/02 ; G01B11/26
摘要：
PURPOSE: Device and method for measuring the angular displacement of an object with an interferometer are provided to reduce weight of a rotary interferometer and increase a range of angle. CONSTITUTION: A device for measuring the angular displacement of an object with an interferometer comprises a laser beam generator(100) and a splitter. The splitter splits the laser beam to a reference beam and a measuring beam. The reference beam directs to a fixed reference retro-reflector and subsequently, a phase shift detector(200). The measuring beam directs to the rotatable reflecting surface of the object and a fixed measuring retro-reflector, returns to the rotatable reflecting surface and directs to the phase shift detector. As a result, the phase shift detector measures the angular displacement of the rotatable reflecting surface when the path length of the measuring beam changes, when the rotatable reflecting surface makes displacement.
摘要（中）：
目的：提供用于通过干涉仪测量物体的角位移的装置和方法，以减少旋转干涉仪的重量并增加角度范围。 构成：用于用干涉仪测量物体的角位移的装置包括激光束发生器（100）和分离器。 分束器将激光束分成参考光束和测量光束。 参考光束指向固定的参考反射器，随后指向相移检测器（200）。 测量光束指向物体的可旋转反射表面和固定的测量后向反射器，返回到可旋转反射表面并引导到相移检测器。 结果，当可旋转反射表面发生位移时，相移检测器测量当测量光束的路径长度改变时可旋转反射表面的角位移。
公开/授权文献:
- KR101227763B1 물체의 각변위를 간섭계에 의해 측정하기 위한 장치 및 방법 公开/授权日：2013-01-29
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B9/00 | 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器 |
| --------G01B9/02 | .干涉仪 |