基本信息:

• 专利标题： 검사 장치를 이용한 윤곽 기반 결함 검출
• 专利标题（英）：CONTOUR-BASED DEFECT DETECTION USING AN INSPECTION APPARATUS
• 申请号：KR1020137032756 申请日：2012-04-09
• 公开(公告)号：KR101947843B1 公开(公告)日：2019-02-13
• 发明人： 첸치엔-후에이 , 화이트페터 , 반리에트마이클제이. , 벤카타라만산카르 , 지앙하이 , 양헤동 , 굽타아제이
• 申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
• 申请人地址： One Technology Drive, Milpitas, CA *****, U.S.A.
• 专利权人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
• 当前专利权人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
• 当前专利权人地址： One Technology Drive, Milpitas, CA *****, U.S.A.
• 代理人： 김태홍
• 优先权： US13/410,506 2012-03-02; US61/489,871 2011-05-25
• 国际申请： PCT/US2012/032796 2012-04-09
• 国际公布： WO2012161874 2012-11-29
• 主分类号： H01L21/66
• IPC分类号： H01L21/66 ; H01J37/26

公开/授权文献:

• KR1020140033400A  검사 장치를 이용한 윤곽 기반 결함 검출 公开/授权日：2014-03-18

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