基本信息:
- 专利标题： 기판 합착 장치 및 합착 방법
- 专利标题（英）：Substrate bonding apparatus and bonding method
- 专利标题（中）：基板接合装置和接合方法
- 申请号：KR1020100115511 申请日：2010-11-19
- 公开(公告)号：KR101248917B1 公开(公告)日：2013-03-29
- 发明人： 하윤규 , 유치욱 , 김철환 , 이승헌
- 申请人： 주성엔지니어링(주)
- 申请人地址： ***, Opo-ro, Opo-eup, Gwangju-si, Gyeonggi-do, (***-***), Republic of Korea
- 专利权人： 주성엔지니어링(주)
- 当前专利权人： 주성엔지니어링(주)
- 当前专利权人地址： ***, Opo-ro, Opo-eup, Gwangju-si, Gyeonggi-do, (***-***), Republic of Korea
- 代理人： 남승희
- 主分类号： G02F1/1339
- IPC分类号： G02F1/1339 ; G02F1/13
摘要：
본 발명은 기판 합착 장치에 관한 것으로, 제 1 기판을 지지하는 제 1 챔버와, 제 1 챔버와 대향되는 위치에 마련되어 제 2 기판을 지지하고 상하 방향으로 이동되는 제 2 챔버와, 제 2 챔버를 이동시키는 이동부와, 제 1 챔버 및 제 2 챔버 사이에 마련된 차단부를 포함하며, 제 2 챔버가 상측으로 이동될 때 이동부에 의해 발생되는 파티클이 제 1 기판 상으로 낙하되는 것을 차단부가 방지한다.
摘要（英）：
The present invention relates to a substrate attached to each other device, a second chamber in which the first chamber for supporting a first substrate, provided at a position opposite to the first chamber supporting the second substrate, and moved up and down, the second chamber and a moving unit that moves, comprising: first block provided between the first chamber and second chamber parts, and prevents blocking added that the particles are first generated by the mobile unit when the second chamber is moved to the upper side is dropped onto a first substrate .
公开/授权文献:
- KR1020120054238A 기판 합착 장치 및 합착 방법 公开/授权日：2012-05-30
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G02 | 光学 |
| ----G02F | 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器 |
| ------G02F1/00 | 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学 |
| --------G02F1/01 | .对强度、相位、偏振或颜色的控制 |
| ----------G02F1/09 | ..基于磁—光元件的，例如，呈现法拉第效应的 |
| ------------G02F1/133 | ...构造上的设备；液晶单元的工作；电路装置 |
| --------------G02F1/1333 | ....构造上的设备 |
| ----------------G02F1/1339 | .....垫圈；间隔体；液晶单元的密封 |