基本信息:
- 专利标题： 母型の製造方法
- 专利标题（英）：JPWO2017030151A1 - Method of manufacturing a mother die
- 申请号：JP2016074037 申请日：2016-08-17
- 公开(公告)号：JPWO2017030151A1 公开(公告)日：2018-06-14
- 发明人： 高橋 哲 , 鈴木 裕貴 , 鈴木 邦和 , 道畑 正岐 , 高増 潔 , 田中 大直 , 西村 涼
- 申请人： 国立大学法人 東京大学 , JXTGエネルギー株式会社
- 申请人地址： 東京都文京区本郷七丁目3番1号
- 专利权人： 国立大学法人 東京大学,JXTGエネルギー株式会社
- 当前专利权人： 国立大学法人 東京大学,JXTGエネルギー株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都文京区本郷七丁目3番1号
- 代理人： 川北 喜十郎
- 优先权： JP2015161889 2015-08-19
- 主分类号： B29C59/02
- IPC分类号： B29C59/02 ; H01L21/027 ; B29C33/38
Method of manufacturing a mother die having a concavo-convex pattern, and forming a photocurable material layer 210 by supplying a photocurable material on the high refractive index medium 130, of the photocurable material layer 210 and the high refractive index medium 130 in a predetermined area at the interface 230, a plurality of light beams 330,370,390 from the high refractive index medium 130 side, irradiated and at an angle of incidence greater than the critical angle at different incident directions, double beam interference evanescent wave generated by it by including a curing the photocurable material layer 210 of the predetermined area near. Mother die novel production method for forming a mold of the uneven pattern to be used for nano-imprint method is provided.
公开/授权文献:
- JP2017185636A 電子機器、及び制御方法 公开/授权日：2017-10-12
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B29 | 塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工 |
| ----B29C | 塑料的成型或连接；塑性状态物质的一般成型；已成型产品的后处理，如修整 |
| ------B29C59/00 | 表面成型，如压花；所用的设备 |
| --------B29C59/02 | .用机械方法，如压制 |