基本信息:

• 专利标题： 基板搬送装置、および、基板搬送方法
• 申请号：JP2019188732 申请日：2019-10-15
• 公开(公告)号：JP6983206B2 公开(公告)日：2021-12-17
• 发明人： 武者 和博 , 南 展史 , 鈴木 傑之
• 申请人： 株式会社アルバック
• 申请人地址： 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地
• 专利权人： 株式会社アルバック
• 当前专利权人： 株式会社アルバック
• 当前专利权人地址： 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地
• 代理人： 恩田 誠; 恩田 博宣
• 主分类号： B25J9/10
• IPC分类号： B25J9/10 ; H01L21/677

公开/授权文献:

• JP2021064712A  基板搬送装置、および、基板搬送方法 公开/授权日：2021-04-22

信息查询: