基本信息:
- 专利标题： Method of manufacturing a micro-mechanical structure of the surface
- 申请号：JP52469694 申请日：1994-05-11
- 公开(公告)号：JP3691056B2 公开(公告)日：2005-08-31
- 发明人： オッフェンベルク，ミヒャエル
- 申请人： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
- 专利权人： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
- 当前专利权人： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
- 优先权： DE4317274 1993-05-25
- 主分类号： C23F1/00
- IPC分类号： C23F1/00 ; B81B3/00 ; C23F1/12 ; C23F1/24 ; C23F4/00 ; G01P15/08 ; H01L21/302 ; H01L21/3065
公开/授权文献:
- JPH08510598A 公开/授权日：1996-11-05