基本信息:
- 专利标题： ELECTRIC DISCHARGE EXCITATION EXCIMER LASER
- 专利标题（中）：通过放电激发的准分子激光
- 申请号：EP99973186.2 申请日：1999-11-26
- 公开(公告)号：EP1137126B1 公开(公告)日：2010-01-13
- 发明人： Shinozaki, Hiroyuki , Sekiguchi, Shinichi , Barada, Toshimitsu , Nakazawa, Toshiharu
- 申请人： EBARA CORPORATION , KOMATSU LTD.
- 申请人地址： 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku, Tokyo 144-8510 JP
- 专利权人： EBARA CORPORATION,KOMATSU LTD.
- 当前专利权人： EBARA CORPORATION,KOMATSU LTD.
- 当前专利权人地址： 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku, Tokyo 144-8510 JP
- 代理机构： Wagner, Karl H.
- 优先权： JP34057798 19981130
- 国际公布： WO2000033431 20000608
- 主分类号： H01S3/036
- IPC分类号： H01S3/036 ; F16C32/04
公开/授权文献:
- EP1137126A1 ELECTRIC DISCHARGE EXCITATION EXCIMER LASER 公开/授权日：2001-09-26
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01S | 利用受激发射的器件 |
| ------H01S3/00 | 激光器，即利用受激发射对红外光、可见光或紫外线进行产生、放大、调制、解调或变频的器件 |
| --------H01S3/02 | .结构零部件 |
| ----------H01S3/03 | ..气体激光器放电管的 |
| ------------H01S3/036 | ...气体激光放射管内取得或保持所需气体压力的方法，例如利用吸气剂、充气；气体循环装置，例如为了平衡管内的压力。 |