基本信息:
- 专利标题： 基于PECVD的石墨烯薄膜镀膜设备及方法
- 申请号：CN201610514142.9 申请日：2016-06-30
- 公开(公告)号：CN106011798B 公开(公告)日：2018-10-23
- 发明人： 朱建明 , 李金清
- 申请人： 肇庆市科润真空设备有限公司
- 申请人地址： 广东省肇庆市端州大道
- 专利权人： 肇庆市科润真空设备有限公司
- 当前专利权人： 北京沁襄辰科技有限公司
- 当前专利权人地址： 100027 北京市朝阳区工人体育场东路甲2号7层701室06号
- 代理机构： 广州市华学知识产权代理有限公司
- 代理人： 谢静娜; 裘晖
- 主分类号： C23C16/54
- IPC分类号： C23C16/54 ; C23C16/26 ; C23C16/509
摘要：
本发明公开一种基于PECVD的石墨烯镀膜设备及方法，其设备包括直线式排列的多个真空室和柔性基材输送机构，柔性基材输送机构贯穿于多个真空室中；多个真空室包括依次连接的放卷室、多个镀膜室和收卷室，各镀膜室内分别设有射频对靶装置，多个镀膜室内的射频对靶装置组成一个等离子体增强化学气相沉积系统，任意相邻两个镀膜室之间设有隔气室，放卷室、收卷室、各镀膜室和各隔气室分别外接高真空排气系统。其方法是先对各真空室进行抽真空，直至真空度达到预定值；然后放卷室放出柔性基材并送入各镀膜室，采用PECVD法在柔性基材表面沉积石墨烯薄膜；最后送入收卷室进行收卷。本发明镀膜均匀，制得的柔性基材表面膜层纯度较高。
公开/授权文献:
- CN106011798A 基于PECVD的石墨烯薄膜镀膜设备及方法 公开/授权日：2016-10-12