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1. 发明申请

WO2023031521A1 TEMPERATURE-STABLE MEMS RESONATOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2023031521A1
公开(公告)日：2023-03-09
申请号：PCT/FI2022/050576
申请日：2022-09-01
申请人： KYOCERA TIKITIN OY
发明人： SAARELA, Ville , PERTTILÄ, Matias , JAAKKOLA, Antti , OJA, Aarne , KOPPINEN, Panu , RAUTIAINEN, Antti
IPC分类号： H03H3/013 , H03H9/02 , H03H9/24
摘要： A MEMS (microelectromechanical system) resonator (150) comprising a substrate (105), a resonator element (100), and a cavity (110). The resonator element (100) is separated from the substrate (105) by said cavity (110), and the resonator element (100) comprises a layer of single-crystalline silicon (101). The layer of single-crystalline silicon (101) is doped with phosphorus atoms to obtain a specific doping profile.

2. 发明申请

WO2022024438A1 共振子及び共振装置审中-公开
公开(公告)号：WO2022024438A1
公开(公告)日：2022-02-03
申请号：PCT/JP2021/009077
申请日：2021-03-08
申请人：株式会社村田製作所
发明人：中谷　宏
IPC分类号： H03H9/24
摘要：振動部と、振動部の周囲の少なくとも一部に設けられた保持部と、振動部と保持部との間に設けられた保持腕と、を備え、振動部は、固定端と開放端とを有し、面外屈曲する第１振動腕と、固定端と開放端とを有し、第１振動腕と異なる位相で面外屈曲する第２振動腕と、第１振動腕及び第２振動腕が並列して接続される基部と、を含み、保持腕は、一端が基部に接続され、他端が保持部に接続され、第１振動腕は、第１振動腕の重心位置を第１振動腕と基部との境界における第１振動腕の短手方向の第１中心軸よりも第１振動腕及び第２振動腕の並列方向における振動部の内側にオフセットさせる第１オフセット構造を有し、第２振動腕は、第２振動腕の重心位置を第２振動腕と基部との境界における第２振動腕の短手方向の第２中心軸よりも第１振動腕及び第２振動腕の並列方向における振動部の内側にオフセットさせる第２オフセット構造を有する。

3. 发明申请

WO2021229941A1 ＭＥＭＳ共振器を用いた共振型センサおよび共振型センサの検出方法审中-公开
公开(公告)号：WO2021229941A1
公开(公告)日：2021-11-18
申请号：PCT/JP2021/013468
申请日：2021-03-30
申请人：パナソニックＩＰマネジメント株式会社
发明人：中村　邦彦
IPC分类号： B81B3/00 , G01L9/00 , G01P3/42 , G01P15/097 , G01C19/5649 , H01L29/84 , H03H9/24 , G01K7/32
摘要：温度センサ（４００）は、ＭＥＭＳ共振器（５００）を用いた温度センサ（４００）であって、ＭＥＭＳ共振器（５００）と、所定の掃引方向に沿ってＭＥＭＳ共振器（５００）の振動子（５０１）の励振信号の周波数を掃引し、掃引された励振信号をＭＥＭＳ共振器（５００）へ出力する掃引部（４０１）と、ＭＥＭＳ共振器（５００）から励振信号に基づく振動子（５０１）の振動状態を表す特徴量である振動状態情報信号を取得し、取得した振動状態情報信号が不連続に変化するときの励振信号の周波数または周波数に対応する時刻を検出する不連続点検出部（４１２）と、検出した検出値に基づいてＭＥＭＳ共振器（５００）に作用する物理量を決定する変換部（４１５）と、を備える。

4. 发明申请

WO2021220536A1 共振子及び共振装置审中-公开
公开(公告)号：WO2021220536A1
公开(公告)日：2021-11-04
申请号：PCT/JP2020/042004
申请日：2020-11-11
申请人：株式会社村田製作所
发明人：河合　良太 , 井上　義久 , 樋口　敬之
IPC分类号： B81B3/00 , H03H9/24
摘要：ＤＬＤをさらに改善することのできる共振子及び共振装置を提供する。　共振子１０は、それぞれが固定端を有する３本以上の複数の振動腕１２１Ａ～１２１Ｄであって、少なくとも２本が異なる位相で面外屈曲する複数の振動腕１２１Ａ～１２１Ｄと、複数の振動腕１２１Ａ～１２１Ｄのそれぞれの固定端が接続された前端部１３１Ａと前端部１３１Ａに対向する後端部１３１Ｂとを有する基部１３０と、を含む振動部１１０と、振動部１１０を保持するように構成された保持部１４０と、それぞれの一端が保持部１４０に接続された２本の支持腕１５１Ａ，１５１Ｂと、を備え、２本の支持腕１５１Ａ，１５１Ｂのそれぞれの他端は、基部１３０の後端部１３１Ｂにおける１箇所に接続されている。

5. 发明申请

WO2021220535A1 共振子及び共振装置审中-公开
公开(公告)号：WO2021220535A1
公开(公告)日：2021-11-04
申请号：PCT/JP2020/041997
申请日：2020-11-11
申请人：株式会社村田製作所
发明人：カーヤカリ　ヴィレ , 河合　良太 , 樋口　敬之
IPC分类号： B81B3/00 , H03H9/24
摘要：ＤＬＤをさらに改善することのできる共振子及び共振装置を提供する。　共振子１０は、それぞれが固定端を有する３本以上の複数の振動腕１２１Ａ～１２１Ｄであって、少なくとも２本が異なる位相で面外屈曲する複数の振動腕１２１Ａ～１２１Ｄと、複数の振動腕１２１Ａ～１２１Ｄのそれぞれの固定端が接続された前端部１３１Ａと前端部１３１Ａに対向する後端部１３１Ｂとを有する基部１３０と、を含む振動部１１０と、振動部１１０を保持するように構成された保持部１４０と、一端が保持部１４０に接続され、他端が基部１３０の後端部１３１Ｂに接続された支持腕１５１Ａと、を備え、支持腕１５１Ａは、平面視において、振動部１１０における長手方向の中心線ＣＬ１に関して非対称である。

6. 发明申请

WO2021215037A1 共振装置审中-公开
公开(公告)号：WO2021215037A1
公开(公告)日：2021-10-28
申请号：PCT/JP2020/042808
申请日：2020-11-17
申请人：株式会社村田製作所
发明人：福光　政和 , 岸　武彦
IPC分类号： H03H9/205 , H03H9/24
摘要：凹部を有する下蓋と、下蓋に搭載された共振子であって、凹部を含む空間で面外屈曲振動可能である振動腕と、振動腕の周囲に設けられ振動腕の先端部に対向する対向部分を有する保持部と、を有する共振子とを備え、振動腕の先端部から下蓋の凹部に向かって延びる垂線と下蓋の凹部との交点と、振動腕の先端部側の凹部の開口縁とを結ぶ直線よりも、保持部における対向部分が、共振子の外側に位置する。

7. 发明申请

WO2021205685A1 集合基板の製造方法及び集合基板审中-公开
公开(公告)号：WO2021205685A1
公开(公告)日：2021-10-14
申请号：PCT/JP2020/042115
申请日：2020-11-11
申请人：株式会社村田製作所
发明人：福光　政和 , 加本　拓
IPC分类号： H03H3/02 , H05K3/00 , H03H9/24
摘要：デバイス部のアライメント精度を高めることのできる集合基板の製造方法及び集合基板を提供する。　集合基板１００の製造方法は、第１基板３３０の上に第１マークＡ１を形成する工程Ｓ３０２と、第１基板３３０の上面と第２基板３５０の下面とを接合する工程Ｓ３０４と、第１マークＡ１が露出するように、第２基板３５０に開口ＯＰを形成する工程Ｓ３０５と、第１マークＡ１を基準として第２基板３５０の上面にデバイス部ＤＰを形成する工程Ｓ３０６と、を含む。

8. 发明申请

WO2021125953A1 NOVEL ATOMIC FORCE MICROSCOPY PROBES WITH PHONONIC CRYSTALS 审中-公开
公开(公告)号：WO2021125953A1
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：PCT/NL2020/050797
申请日：2020-12-16
申请人： TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT , UNIVERSITEIT LEIDEN
发明人： GROEBLACHER, Simon , ALLAN, Milan P , NORTE, Richard Alexander , LEEUWENHOEK, Maarten
IPC分类号： G01Q70/14 , G01Q10/04 , G01Q70/04 , H03H9/24 , G10K11/162 , G01Q10/045 , G01Q20/02 , G01Q20/04 , G10K11/165 , G10K11/172
摘要： The present invention is in the field of an atomic force microscopy probe, which probes generally consist of four cooperating elements, namely a sharp tip to sense the surface, an optical resonator usually being a cavity, a drive usually being a piezoelectric, and a read out usually being a laser beam and a photodiode to measure deflection, a sensor comprising said probe, and a method of fabricating said probe.

9. 发明申请

WO2020261630A1 共振装置审中-公开
公开(公告)号：WO2020261630A1
公开(公告)日：2020-12-30
申请号：PCT/JP2020/003845
申请日：2020-02-03
申请人：株式会社村田製作所
发明人：井上　義久 , カーヤカリ　ヴィレ , 河合　良太
IPC分类号： H03H9/24
摘要：支持腕と保持部との接続部分に加わる応力を低減する。共振装置は、基部と、該基部の一端から第１方向に沿って延在する振動腕と、振動腕の周囲の少なくとも一部に配置され、振動腕を振動可能に保持する保持部と、基部と保持部とを接続する支持腕と、を含む共振子と、共振子の振動空間の少なくとも一部を形成する第１凹部と、厚さ方向において支持腕から第１距離を空けて設けられる第１制限部と、を含む第１基板と、を備え、第１距離は、第１基板の厚さ方向における第１凹部の底面と振動腕との間の距離より小さい。

10. 发明申请

WO2020213213A1 共振装置及び共振装置製造方法审中-公开
公开(公告)号：WO2020213213A1
公开(公告)日：2020-10-22
申请号：PCT/JP2019/049978
申请日：2019-12-20
申请人：株式会社村田製作所
发明人：後藤　雄一
IPC分类号： B81B3/00 , H03H9/24 , H01L41/053 , H01L41/09 , H01L41/187
摘要：寸法の増大を抑制しつつ、共振子特性を向上させることができる共振子及び装置を提供する。共振子１３は、輪郭振動する振動部１５と、振動部１５の少なくとも一部を囲むように形成される保持部１４と、Ｙ軸方向に沿って延在し、振動部１５と保持部１４とを接続する支持部１６ａ、１６ｂと、を備え、振動部１５は、支持部１６ａ、１６ｂとの間に連結部２８が形成されるように、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に沿って延在する貫通孔２７を含み、貫通孔２７におけるＸ軸方向の長さＳＬは、連結部２８におけるＹ軸方向の長さＳｄより大きい。

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