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    • 1. 发明申请
    • TEMPERIERANORDNUNG FÜR EIN MIKROELEKTRISCHES SYSTEM
    • WO2023046629A1
    • 2023-03-30
    • PCT/EP2022/075954
    • 2022-09-19
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • KOCOUREK, VaclavKETTERER, MarkusASTNER, MartinKLEIN, Rico AlfSCHULZ, UdoSTRAUB, Hubert
    • H02K44/04H05B6/62F04B19/00F04B23/04F04B53/08
    • Die Erfindung betrifft eine Temperieranordnung (1) für ein mikroelektrisches System sowie ein mikroelektrisches System mit einer solchen Temperieranordnung (1). Die Temperieranordnung (1) umfasst ein geschlossenes Kanalsystem (3), welches mindestens einen Kanal (4) zur Führung eines elektrisch und thermisch leitfähigen Mediums (5) umfasst und thermisch mit mindestens einem zu temperierenden Objekt des mikroelektrischen Systems gekoppelt ist, und eine magnetohydrodynamischen Pumpe (7) mit mehreren magnetohydrodynamischen Modulen (10), welche jeweils eine Elektrodenvorrichtung mit zwei Elektroden und eine Magnetvorrichtung aufweisen, welche ein magnetisches Feld erzeugt, wobei mindestens zwei magnetohydrodynamische Module (10) als Pumpmodule (10A, 10B) ausgeführt und elektrisch in Reihe geschaltet sind, wobei in den Pumpmodulen (10A, 10B) jeweils eine erste Elektrode der Elektrodenvorrichtung einen elektrischen Stromfluss mit einer vorgegebenen Stromdichte an mindestens einem Kanalabschnitt in das elektrisch und thermisch leitfähige Medium (5) einleitet und eine zweite Elektrode der Elektrodenvorrichtung den elektrischen Stromfluss an dem mindestens einen Kanalabschnitt aus dem elektrisch und thermisch leitfähigen Medium (5) ausleitet, so dass ein Zusammenwirken des in dem geschlossenen Kanalsystem (3) geführten elektrisch und thermisch leitfähigen Mediums (5) mit dem eingeleiteten elektrischen Stromfluss und mit dem erzeugten magnetischen Feld eine Lorenzkraft erzeugt, welche das elektrisch und thermisch leitfähige Medium (5) in dem mindestens einen Kanalabschnitt gezielt beschleunigt, und ein resultierender Druckaufbau einen gewünschten Volumenstrom des elektrisch und thermisch leitfähigen Mediums (5) durch den mindestens einen Kanal (4) des geschlossenen Kanalsystems (3) bewirkt, wobei der Volumenstrom des elektrisch und thermisch leitfähigen Mediums (5) eine Temperierung des mindestens einen zu temperierenden Objekts bewirkt, wobei das elektrisch und thermisch leitfähige Medium (5) während eines Heizvorgangs Wärme an das mindestens eine zu temperierende Objekt überträgt oder während eines Kühlvorgangs Wärme von dem mindestens einen zu temperierenden Objekt (9) aufnimmt.