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    • 10. 发明申请
    • 蛍光X線分析装置
    • WO2018101133A1
    • 2018-06-07
    • PCT/JP2017/041896
    • 2017-11-21
    • 株式会社リガク
    • 迫 幸雄
    • G01N23/223G01N23/207
    • 本発明は、簡素な構造を有し、高精度な分析を迅速に行うことが可能な蛍光X線分析装置を提供することを目的とする。 本発明の蛍光X線分析装置は、試料(103)に1次X線を照射するX線源(100)と、試料(103)から発生した2次X線を分光する分光素子(120)と、2次X線の強度を測定するエネルギー分散型の検出器(110)と、分光素子(120)を2次X線の経路から退避する退避機構(108)と、分光素子(120)が退避された状態で2次X線を測定する副測定領域(124)と、分光された2次X線を測定する主測定領域(122)との間で検出器(110)を連続的に移動する走査機構(114)と、副測定領域(124)で測定されたバックグラウンド強度と主測定領域(122)で測定されたバックグラウンド強度との比率を予め記憶する記憶装置(116)と、主測定領域(122)での測定強度から副測定領域(124)でのバックグラウンド強度に前記比率を乗じた値を差し引く補正をし、定量分析を行う演算装置(118)とを有する。