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    • 4. 发明申请
    • バルブ装置
    • 阀门设备
    • WO2015146871A1
    • 2015-10-01
    • PCT/JP2015/058655
    • 2015-03-23
    • 日本電産サンキョー株式会社
    • 横江 悟
    • F16K3/06F16K31/53F16K51/00
    • F16K3/085F16K3/08F16K11/074F16K11/0743F16K31/041F16K31/535F25B41/04F25B41/062F25B2341/0653Y02B30/72
    • 流体の微小流量の設定を可能としつつ、異物により流路が妨げられることを防止することができるバルブ装置を提供する。具体的には、駆動源と、前記駆動源の駆動力を受けて回動する回動部材と、前記回動部材と軸方向の端面同士が接触した状態で前記回動部材に固定され、前記回動部材と一体に回動する弁体と、前記弁体の前記回動部材と接触する端面の反対側の端面が摺接する弁座と、を備えるバルブ装置であって、前記弁座は、前記バルブ装置を通過する流体の流出孔を少なくとも一つ有し、前記弁体はその回動角度の一部において前記流出孔と連通される微小穴である絞り部を有し、前記回動部材と前記弁体との対向面には、前記絞り部と前記流体の流入孔とを連通させ、前記絞り部を通過不能な大きさの個体の流入を遮る開口部を有する流路が設けられるバルブ装置により解決する。
    • 提供一种阀装置,通过该阀装置可以防止异物堵塞流路,同时允许为流体设定微小的流量。 具体来说,该阀装置配备有:驱动源; 旋转构件,其被驱动源的驱动力接收并旋转驱动; 固定在旋转体上的阀体,其轴向端面与旋转体的端面接触,与旋转体一体旋转; 以及阀座,阀体的另一端面,即与旋转构件接触的端面相反一侧的端面与滑动接触。 阀座具有至少一个用于通过阀装置的流体的排出孔,并且阀体具有节流部,该节流部是在阀体的旋转角度的一部分与排出孔连通的微小孔。 在旋转构件和阀体的相对表面上设置有流体路径,其连接节流部和用于流体的流体入口孔,并且具有防止实体的流入的孔部,该固体物体过大而不能通过 通过节流部分。
    • 5. 发明申请
    • 冷媒バルブ装置
    • 制冷阀装置
    • WO2014081037A1
    • 2014-05-30
    • PCT/JP2013/081772
    • 2013-11-26
    • 日本電産サンキョー株式会社
    • 横江 悟原 哲彦
    • F16K3/06F16K31/53F25B41/06
    • F16K3/085F16K3/08F16K31/041F16K31/535F25B41/04
    •  冷媒バルブ装置(1)において、1つの冷媒出口(22)での冷媒の流量を切り換えるにあたって、弁体駆動機構(52)は、弁体(27)を回転させて、冷媒入口(12)からバルブ室(36)を経由して冷媒出口(22)に至る冷媒流通経路を切り換える。その際、冷媒入口(12)は、全開状態にあり、弁体(27)は、バルブ室(36)と冷媒出口(22)との間の冷媒流通経路を、小流量の第1冷媒流通経路と大流容量の第2冷媒流通経路とに切り換える。従って、弁体(27)は、冷媒入口(12)および冷媒出口(22)のうちの冷媒出口(22)に偏った位置を中心に回転するように配置することができるので、弁体(27)の小型化を図ることができる。
    • 当在一个制冷剂出口(22)处的制冷剂的流量在制冷剂阀装置(1)中切换时,阀元件驱动机构(52)使阀元件(27)旋转以切换从制冷剂 通过阀室(36)到达制冷剂出口(22)的入口(12)。 此时,制冷剂入口(12)处于完全打开状态,阀元件(27)将阀室(36)和制冷剂出口(22)之间的制冷剂流路切换到第一制冷剂流动路径与第 小流量的小流量和流量大的第二制冷剂流路。 因此,阀元件(27)可以被布置成围绕从制冷剂入口(12)和制冷剂出口(22)偏离到制冷剂出口(22)的位置旋转,从而能够使阀元件( 27)。
    • 6. 发明申请
    • SEAL RING FOR PENDULUM VALVE ASSEMBLY
    • 密封圈用于阀瓣组件
    • WO2004074720A3
    • 2005-03-10
    • PCT/US0341268
    • 2003-12-24
    • MKS INSTR INC
    • LUCAS PAUL D
    • F16K3/06F16K3/10F16K51/02F16K25/00
    • F16K3/06F16K3/10F16K51/02
    • A valve assembly including a housing having a flow channel, a slide plate movable between a closed position and an opened position, and a seal ring surrounding the flow channel and engaging the slide plate in the closed position and disengaging the slide plate in the opened position. The seal ring has a plurality of bores aligned, respectively, with holes formed in an adjacent surface of the housing. Each bore includes an undercut defining a lip. A plurality of fasteners are arranged in the holes of the annular surface of the housing and extend into the corresponding bores of the seal ring. Side walls of the fasteners include slots, which catch on the lips of the bores of the seal ring when the fasteners are inserted into the bores of the seal ring, and the seal ring is rotated.
    • 一种阀组件,包括具有流动通道的壳体,在关闭位置和打开位置之间可移动的滑动板,以及环绕流动通道并且将滑动板接合在关闭位置的密封环,并将滑板与打开位置分离 。 密封环具有分别与形成在壳体的相邻表面中的孔对准的多个孔。 每个孔包括限定唇缘的底切。 多个紧固件布置在壳体的环形表面的孔中并延伸到密封环的相应的孔中。 紧固件的侧壁包括槽,当紧固件插入到密封环的孔中时,其卡紧在密封环的孔的唇缘上,并且密封环被旋转。
    • 7. 发明申请
    • DUAL PENDULUM VALVE ASSEMBLY
    • 双阀门总成
    • WO02001035A2
    • 2002-01-03
    • PCT/US2001/019765
    • 2001-06-21
    • F04B39/10F16K3/04F16K3/06F16K3/10F16K31/04F16K31/524F16K31/53E21B
    • F16K3/06F16K3/10Y10T137/0318Y10T137/86083Y10T137/87917Y10T137/87981
    • A dual pendulum valve assembly (100) including a housing (112) having an interior space (14) and first and second openings (22, 24) through which fluid can enter and exit the interior space; valve seats disposed in the interior space around the edges of the openings; and first and second pendulum valves (16, 116) for opening and closing, respectively, the first and second openings. Each pendulum valve is independently movable and includes a valve body (26, 126) mounted relative to the housing so that the valve body is movable between a completely opened position wherein fluid is allowed to pass through its respective opening and a completely closed position wherein the valve body seals the opening so that fluid can not pass therethrough. Each pendulum valve also includes a shaft fixedly (28, 128) coupled to the valve body through at least one pivot arm (30, 130) and at least partially mounted within the housing so that the valve body can rotate about a longitudinal axis (32) of the shaft between a first angular position where the first valve body is in the completely opened position and a second angular position where the valve body is substantially axially aligned with its respective opening, and move substantially parallel to the longitudinal axis of the shaft, so that the valve body can move between the second angular position and the completely closed position as the pendulum valve continues to rotate. The present disclosure also provides a method of precisely controlling vacuum pressure within a process chamber of a semi-conductor wafer fabricator.
    • 一种双摆阀组件(100),包括具有内部空间(14)和第一和第二开口(22,24)的壳体(112),流体可通过该第一和第二开口进入和离开内部空间; 围绕开口边缘设置在内部空间中的阀座; 以及分别用于打开和关闭第一和第二开口的第一和第二摆动阀(16,116)。 每个摆阀是可独立移动的,并且包括相对于壳体安装的阀体(26,126),使得阀体可以在允许流体通过其相应开口的完全打开位置和完全关闭位置之间移动,其中, 阀体密封开口,使得流体不能通过。 每个摆阀还包括通过至少一个枢转臂(30,130)联接到阀体并且至少部分地安装在壳体内的固定的轴(28,128),使得阀体可绕纵向轴线(32 )在第一阀体处于完全打开位置的第一角位置和阀体与其相应开口基本上轴向对准的第二角位置之间并且基本上平行于轴的纵向轴线移动, 使得当摆阀继续旋转时,阀体可以在第二角位置和完全关闭位置之间移动。 本公开还提供了精确控制半导体晶片制造器的处理室内的真空压力的方法。
    • 8. 发明申请
    • VERTICAL-SHAFT ROTARY VALVE
    • 垂直轴旋转阀
    • WO99007629A1
    • 1999-02-18
    • PCT/US1998/016545
    • 1998-08-10
    • F16K3/06B65G53/46
    • B65G53/4616
    • A rotary valve (5) comprises a rotor assembly (14) rotable by a driver to cause material to be transferred from an inlet side (8) to an outlet side (9) of the rotary valve. The rotor assembly includes an inner (37) and outer (40) tube and a number of radial blades (39). The outer and inner tubes and the radial blades are of the same height. A hub (33) is connected to the inner tube and coupled to a shaft (16) with a casing assembly (13) for supporting the rotor assembly. The casing assembly has an upper cap (24) disposed at the top, a sleeve (26) coupled to the upper cap, a lower cap (30) disposed at the bottom and a plurality of springs (57) to compress the rotor between the caps. A thrust load bearing assembly (209, 210) for rotatably supporting the rotor inside the casing assembly comprises an upper thrust load bearing which separates the upper cap from the top of the rotor by a minimum gap, a lower thrust load bearing which separates the lower cap from the bottom of the rotor by a minimum gap, and bearing grooves in which the bearings are disposed.
    • 旋转阀(5)包括由驾驶员转动的转子组件(14),以使材料从旋转阀的入口侧(8)转移到出口侧(9)。 转子组件包括内部(37)和外部(40)管和多个径向叶片(39)。 外管和内管和径向叶片具有相同的高度。 轮毂(33)连接到内管并且与轴(16)连接,其具有用于支撑转子组件的壳体组件(13)。 壳体组件具有设置在顶部的上盖(24),联接到上盖的套筒(26),设置在底部的下盖(30)和多个弹簧(57),用于将转子 帽。 用于将转子可旋转地支撑在壳体组件内的推力承载组件(209,210)包括上部推力负载轴承,其将上盖与转子顶部隔开最小的间隙,下推力承载将下部 从转子的底部以最小的间隙和其中设置有轴承的轴承槽。