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    • 6. 发明申请
    • 感光性樹脂組成物及びドライフィルムレジスト
    • 光敏树脂组合物和干膜电阻
    • WO2013047305A1
    • 2013-04-04
    • PCT/JP2012/073999
    • 2012-09-20
    • 新日鐵住金化学株式会社
    • 片山 久史稲葉 真司川辺 正直
    • G03F7/038C08F291/06G03F7/004G03F7/032H05K3/28
    • G03F7/0388G03F7/027G03F7/038H05K3/287H05K3/4676
    •  アルカリ性水溶液で現像でき、高感度で絶縁性、耐熱性等の諸特性とともに、誘電特性の優れた硬化膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物及びドライフィルムを提供する。 (A)成分:ジビニル化合物(a)20~99モル%及びモノビニル化合物(b)80~1モル%を共重合して得られる共重合体であって、ジビニル化合物(a)に由来するビニル基を側鎖に有する溶剤可溶性多官能ビニル共重合体、(B)成分:ポリオール化合物と多価カルボン酸類とを反応させて得られるカルボキシル基含有共重合体(b)を含むアルカリ可溶性樹脂成分と、(C)成分:光開始剤を含み、(A)成分~(C)成分の合計に対する(A)成分が1~98.9wt%、(B)成分が98.9~1wt%、(C)成分が0.1~10wt%であるアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物。
    • 提供:可以用碱性水溶液显影的感光性树脂组合物,能够容易地形成高灵敏度的固化膜,具有绝缘性和耐热性等各种性质,并且也具有优异的介电性能; 和干膜。 一种碱显影性光敏树脂组合物,其包含通过使20-99mol%的二乙烯基化合物(a)与80-1mol%的单乙烯基化合物(b)共聚制备的溶剂可溶性多官能乙烯基共聚物的组分(A) 并且在侧链具有衍生自二乙烯基化合物(a)的乙烯基的组分(B),作为碱性溶解性树脂成分的成分(B),其含有含羧基的共聚物(b),其通过使多元醇化合物与 多元羧酸和作为光引发剂的成分(C),其中,成分(A),成分(B)和成分(C)的含量为1-98.9重量%,98.9-1重量%,和0.1- 相对于组分(A)至(C)的总量分别为10重量%。