本发明公开了用于纯化第1氟化卤间XF <子>名词的方法。 的方法，其中的氟原子的第一数目是变化的含有氟化卤间，第2氟化卤间XF <子> N'plusmn;以及生成的转换步骤中， 且所述杂质除去从除去杂质的步骤的第2氟化间化合物，其中氟原子的数目在第2氟化卤间改变时，第一式（1） 以及生产氟化卤素间化合物的再转化步骤。 从氟化间化合物除去杂质，它可以与高纯度的氟化间化合物来制造。

本发明公开了用于从含有氟化氢和金属成分的氟化合物气体中除去金属成分的纯化方法。 该方法中，氟化合物的气体被带入与实心金属氟化物接触，包括通过吸附氟化氢和金属部件在金属氟化物除去的步骤。 氟化合物气体，的ClF，的ClF <子> 3 ，IF <子> 5 ，IF <子> 7 ，BRF <子> 3 ，BRF <子 > 5 ，NF <子> 3 ，WF <子> 6 ，的SiF <子> 4 ，CF <子> 4 ，SF <子 > 6 ，优选地包括选自由BF <子> 3 ，金属氟化物组成的组中选择的至少一种，它是一种碱金属氟化物或碱土金属氟化物 首选。 通过氟化氢与氟化合物气体的共存，令人惊讶地，金属组分作为杂质，可以通过吸附在金属氟化物除去。