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    • 10. 发明申请
    • 진공 열처리를 이용한 그래핀 전사방법 및 그래핀 전사 장치
    • 使用真空热处理的石墨转印方法和石墨转印装置
    • WO2015102459A1
    • 2015-07-09
    • PCT/KR2015/000085
    • 2015-01-06
    • 광주과학기술원
    • 이병훈이상경이상철
    • C01B31/02C23C16/26B41M5/10
    • B82B3/0076C01B32/194
    • 그래핀의 전사 방법 및 그래핀 전사 장치가 제공된다. 상세하게는, 지지기판과 그래핀이 결합된 그래핀 적층체를 제조하는 단계, 및 상기 그래핀 적층체와 전사 대상 기판을 진공 열처리하여 상기 그래핀 적층체의 그래핀을 상기 전사 대상 기판으로 전사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 전사방법 및 이를 수행할 수 있는 그래핀 전사장치를 제공한다. 이에, 진공 분위기하에 그래핀의 전사 공정을 수행함으로써 그래핀과 전사 대상 기판 사이의 도핑(doping)을 일으키는 요소들을 제거함으로써 그래핀의 특성을 유지하며 전사될 수 있다. 또한, 그래핀 전사 시 열처리를 수행하여 그래핀과 전사 대상 기판과의 접합력을 증가시켜 그래핀 전사 상태를 향상시킬 수 있다.
    • 提供了石墨烯转移方法和石墨烯转移装置。 具体地说,本发明提供一种能够进行石墨烯转移方法和石墨烯转移装置,该方法包括以下步骤:制造具有支撑基板和彼此耦合的石墨烯的石墨烯堆叠; 以及真空热处理石墨烯叠层和转印目标基板,以将石墨烯叠层的石墨烯转印到转印目标基板上。 因此,在真空气氛下进行石墨烯转移处理,从而去除在石墨烯和转印对象基板之间引起掺杂的元素,从而在保持石墨烯的特性的同时转移石墨烯。 此外,当石墨烯转移时,通过热处理来增加石墨烯和转印目标衬底之间的结合力,从而增强石墨烯转印状态。