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1. 发明申请

WO2013002571A3 VACUUM HEAT TREATMENT APPARATUS 审中-公开
标题翻译：真空热处理装置
公开(公告)号：WO2013002571A3
公开(公告)日：2013-04-04
申请号：PCT/KR2012005117
申请日：2012-06-28
申请人： LG INNOTEK CO LTD , KIM BYUNG SOOK , HAN JUNG EUN
发明人： KIM BYUNG SOOK , HAN JUNG EUN
IPC分类号： C21D1/773 , F27B5/05 , F27D7/06
CPC分类号： G01K1/12 , C21D1/74 , C21D1/773 , F27B5/04 , F27B5/06 , F27B17/0016 , F27B2005/143 , F27D7/06 , F27D21/0014 , F27D2019/0025
摘要： A vacuum heat treatment apparatus according to the embodiment comprises a chamber; a thermal insulator in the chamber; a reaction container in the thermal insulator; a heating member between the reaction container and the thermal insulator for heating the reaction container; and a temperature measuring member in or on a surface of the reaction container, wherein the temperature measuring member comprises a thermocouple and a protective tube surrounding the thermocouple, and the protective tube comprises tungsten (W), tantalum (Ta), or silicon carbide (SiC).
摘要翻译：根据该实施例的真空热处理装置包括腔室; 室内的绝热体; 在绝热体中的反应容器; 在反应容器和绝热体之间的用于加热反应容器的加热构件; 和温度测量构件，其中温度测量构件包括热电偶和围绕热电偶的保护管，保护管包括钨（W），钽（Ta）或碳化硅（ SiC）等。

2. 发明申请

WO2013139288A1 控制化学气相沉积腔室内的基底加热的装置及方法审中-公开
公开(公告)号：WO2013139288A1
公开(公告)日：2013-09-26
申请号：PCT/CN2013/073002
申请日：2013-03-21
申请人：中微半导体设备(上海)有限公司
发明人：田保峡 , 李天笑 , 刘英斌 , 郭泉泳
IPC分类号： C23C16/46 , C23C16/52
CPC分类号： F27D19/00 , C23C16/46 , C23C16/52 , F27D21/0014 , F27D21/04 , F27D2019/0025
摘要：提供了一种控制化学气相沉积腔室内的基底加热的装置及方法，适用于MOCVD反应室。装置包括：位于腔室内的加热器；位于腔室内加热器附近且与加热器相间隔开的托盘，用于承载基底；第一温度控制单元，与承载基底的托盘表面耦接，用于测量该托盘表面温度，基于设定温度和托盘表面温度输出第一控制信号；第二温度控制单元，与第一温度控制单元相连，用于测量托盘和加热器之间区域的中间温度，还用于根据第一控制信号和中间温度输出第二控制信号；加热器，与第二温度控制单元耦接，用于根据第二控制信号进行加热。还提供一种控制化学气相沉积腔室内的基底加热的方法。上述装置可以获得稳定的基底温度。

3. 发明申请

WO2016057892A1 INTEGRATED SENSOR SYSTEM AND METHODS FOR COMBUSTION PROCESSES 审中-公开
标题翻译：集成传感器系统和燃烧过程的方法
公开(公告)号：WO2016057892A1
公开(公告)日：2016-04-14
申请号：PCT/US2015/054880
申请日：2015-10-09
申请人： AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
发明人： GALLAGHER, Michael, J. , GANGOLI, Shailesh, Pradeep , SLAVEJKOV, Aleksandar, Georgi , SANE, Anup, Vasant , HENDERSHOT, Reed, Jacob
IPC分类号： F27D21/00 , F27D99/00 , F27D19/00
CPC分类号： F27D19/00 , F27D21/0014 , F27D99/0033 , F27D2019/0006 , F27D2019/0015 , F27D2019/0018 , F27D2019/0021 , F27D2019/0025 , F27D2019/0028 , F27D2019/004
摘要： An integrated sensor system for use in a furnace system including a furnace having at least one burner and two or more zones each differently affected by at least one furnace parameter regulating energy input into the furnace, including a first temperature sensor positioned to measure a first temperature in the furnace system, a second temperature sensor positioned to measure a second temperature in the furnace system; and a controller programmed to receive the first and second measured temperatures, and to adjust operation of a furnace system parameter based on a relationship between the first and second temperatures, thereby differentially regulating energy input into at least two of the zones of the furnace; wherein the relationship between the first and second temperatures is a function of one or more of a difference between the two temperatures, a ratio of the two temperatures, and a weighted average of the two temperatures.
摘要翻译：一种用于炉系统的集成传感器系统，包括具有至少一个燃烧器和两个或更多个区域的炉，所述炉具有不同程度的影响，所述至少一个炉参数调节输入到炉中的能量，包括第一温度传感器，其定位成测量第一温度在所述炉系统中，定位成测量所述炉系统中的第二温度的第二温度传感器; 以及控制器，被编程为接收第一和第二测量温度，并且基于第一和第二温度之间的关系来调整炉系统参数的操作，从而差异地调节进入炉的至少两个区域的能量输入; 其中第一和第二温度之间的关系是两个温度之间的差值，两个温度的比率和两个温度的加权平均值之中的一个或多个的函数。

4. 发明申请

WO2003062727A1 WIDERSTANDSOFEN 审中-公开
标题翻译：电阻炉
公开(公告)号：WO2003062727A1
公开(公告)日：2003-07-31
申请号：PCT/EP2002/000663
申请日：2002-01-24
申请人： HERAEUS TENEVO AG , BOGDAHN, Thomas , GANZ, Oliver
发明人： BOGDAHN, Thomas , GANZ, Oliver
IPC分类号： F27B17/00
CPC分类号： H01L21/67109 , C03B23/043 , C03B37/01257 , F27B9/28 , F27B17/00 , F27D7/02 , F27D7/06 , F27D11/02 , F27D21/0014 , F27D99/0073 , F27D2009/0045 , F27D2019/0025 , F27D2099/001 , H05B3/62
摘要： Ein bekannter Widerstandsofen umfasst ein rohrförmiges Heizelement (2) mit vertikal orientierter Längsachse (3), das eine von einer Oberseite und einer Unterseite begrenzte Mantelfläche aufweist, die einen Ofenraum umgibt, und das mit mindestens zwei Stromanschlüssen verbunden ist, mittels denen an Strom-Einspeisungsstellen Heizstrom in das Heizelement eingeleitet wird. Um hiervon ausgehend einen elektrischen Widerstandsofen anzugeben, insbesondere einen Widerstandsofen mit hoher Leistung, der sich durch geringen Fertigungs- und Wartungsaufwand sowie hohe Betriebssicherheit auszeichnet, und der die reproduzierbare Einstellung eines axial und radial homogenen Temperaturprofils innerhalb des Ofens ermöglicht, wird erfindungsgemäss vorgeschlagen, dass die Stromanschlüsse eine im Bereich der Oberseite (11) umlaufende, obere Ringmanschette (7) und eine im Bereich der Unterseite (12) umlaufende, untere Ringmanschette (8) aufweisen.
摘要翻译：包括具有竖直取向的纵向轴线的管状加热元件（2）一种已知的电阻炉（3），其具有由顶部和周围的炉腔的底侧表面限定，以及连接到至少两个电流连接，借助于该在电源点加热电流被引入到加热元件。指定此基础电阻炉，特别是具有高的性能，它的特点是低的生产和维护成本和高安全性，并且一个电阻炉允许的熔炉内的轴向和径向均匀的温度分布图的可再现的设定根据本发明，提出了电源连接有在顶部的区域（11）周，上环形套圈（7）和一个在所述底面的区域（12）圆周，下环形套圈（8）。

5. 发明申请

WO2016010919A1 FURNACE COOLING PANEL MONITORING SYSTEM 审中-公开
标题翻译：火炉冷却面板监控系统
公开(公告)号：WO2016010919A1
公开(公告)日：2016-01-21
申请号：PCT/US2015/040198
申请日：2015-07-13
申请人： TRAPP, Mark, Edward
发明人： TRAPP, Mark, Edward
IPC分类号： F27B3/28 , F27B3/08 , F27B3/10
CPC分类号： F27D21/0014 , C21C5/4673 , C21C2005/5288 , F27B3/24 , F27B3/28 , F27B14/20 , F27B2014/0837 , F27D11/08 , F27D21/04 , F27D2009/0013 , F27D2019/0025 , Y02P10/216
摘要： A furnace cooling panel monitoring system utilizes individual cooling panel data to produce critical monitoring data. An exemplary cooling panel monitoring system utilizes the input from a plurality of temperature sensors configured to accurately measure the temperature change of cooling fluid flowing through each individual panel. The change in temperature from the inlet to the outlet of a cooling panel along with the flow rate of the cooling fluid through the panel can be used to calculate the a heat energy dissipation rate of the cooling panel, or heat flux. The flow rate through individual panels is determined by K-values or resistance to flow constants for a given cooling panel. The heat energy dissipation rate for individual panels can be provided to a user through a computer implemented monitoring program in real time. Alerts may be initiated by the computer implemented monitoring program when a threshold value has been exceeded.
摘要翻译：炉冷却面板监控系统利用单独的冷却面板数据来产生关键监测数据。示例性的冷却面板监控系统利用来自多个温度传感器的输入，所述多个温度传感器被配置为精确地测量流过各个面板的冷却流体的温度变化。可以使用从冷却板的入口到出口的温度随冷却液通过面板的流量的变化来计算冷却板的热能耗散率或热通量。通过单个面板的流量由给定冷却面板的K值或对流量常数的阻力确定。可以通过计算机实现的监控程序实时地向用户提供各个面板的热能耗散率。当超过阈值时，可由计算机实现的监视程序启动警报。

6. 发明申请

WO2013002571A2 VACUUM HEAT TREATMENT APPARATUS 审中-公开
标题翻译：真空热处理设备
公开(公告)号：WO2013002571A2
公开(公告)日：2013-01-03
申请号：PCT/KR2012/005117
申请日：2012-06-28
申请人： LG INNOTEK CO., LTD. , KIM, Byung Sook , HAN, Jung Eun
发明人： KIM, Byung Sook , HAN, Jung Eun
CPC分类号： G01K1/12 , C21D1/74 , C21D1/773 , F27B5/04 , F27B5/06 , F27B17/0016 , F27B2005/143 , F27D7/06 , F27D21/0014 , F27D2019/0025
摘要： A vacuum heat treatment apparatus according to the embodiment comprises a chamber; a thermal insulator in the chamber; a reaction container in the thermal insulator; a heating member between the reaction container and the thermal insulator for heating the reaction container; and a temperature measuring member in or on a surface of the reaction container, wherein the temperature measuring member comprises a thermocouple and a protective tube surrounding the thermocouple, and the protective tube comprises tungsten (W), tantalum (Ta), or silicon carbide (SiC).
摘要翻译：根据实施例的真空热处理装置包括：腔室; 腔室中的绝热体; 热绝缘体中的反应容器; 反应容器和用于加热反应容器的绝热体之间的加热构件; 和温度测量部件，其中所述温度测量部件包括热电偶和围绕所述热电偶的保护管，所述保护管包括钨（W），钽（Ta）或碳化硅（ SiC）等。

7. 发明申请

WO1995012104A1 LOW-GAS TEMPERATURE STABILIZATION SYSTEM 审中-公开
标题翻译：低气温稳定系统
公开(公告)号：WO1995012104A1
公开(公告)日：1995-05-04
申请号：PCT/US1994012248
申请日：1994-10-21
申请人： BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人： BROOKS AUTOMATION, INC. , MUKA, Richard, S.
IPC分类号： F27B09/00
CPC分类号： F27D7/06 , F27B17/0016 , F27D19/00 , F27D2007/066 , F27D2019/0025
摘要： The temperature of articles (1) in an "environmental" chamber (2) is stabilized by evacuation of the "environmental" chamber, after having stabilized the temperature of such an article (1) to approximate that of a controlled-temperature member (3) spaced from the article (1) by a small gap (5), to a pressure just sufficient to provide viscous gas behavior, adjusting the temperature of the article to closely match that of the member by gas conduction heat transfer across the gap (5), and evacuating (4) the chamber to high vacuum.
摘要翻译：在“环境”室（2）中的制品（1）的温度通过将“制品”（1）的温度稳定到接近受控温度的构件（3））通过小间隙（5）与制品（1）间隔开至刚好足以提供粘性气体行为的压力，通过跨过间隙的气体传导热传递调节制品的温度以紧密地与构件的温度匹配（5 ），并将室（4）排空到高真空。

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