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    • 4. 发明申请
    • 2枚の基板の貼り合わせ方法および2枚の基板の貼り合わせ装置
    • 用于结合两个基板的方法和用于结合两个基板的装置
    • WO2017033545A1
    • 2017-03-02
    • PCT/JP2016/068227
    • 2016-06-20
    • ウシオ電機株式会社
    • 吉原 啓太竹元 史敏和佐本 真鈴木 信二
    • B32B37/10B32B7/04C09J5/00C09J5/02
    • B32B7/04B32B37/10C09J5/00C09J5/02
    • 本発明は、機能性膜を介さず直接接触することのないように、第1の基板と第2の基板とを機能性膜を介して貼り合わせることのできる2枚の基板の貼り合わせ方法および2枚の基板の貼り合わせ装置を提供することを目的とする。 本発明の2枚の基板の貼り合わせ方法は、規定された外形を有する機能性膜が表面上に形成された第1の基板と第2の基板とを、当該機能性膜を介して貼り合わせる、2枚の基板の貼り合わせ方法であって、第1の基板の表面上に形成された機能性膜の表面に真空紫外線を照射する紫外線照射工程、前記紫外線照射工程を経由した第1の基板と第2の基板とを、前記機能性膜の表面と第2の基板の貼り合わせ面とが互いに接触した状態となるように積重する積重工程、および前記積重工程において得られた第1の基板と第2の基板との積重体を、前記機能性膜と当該第2の基板との接触部分に対して選択的に加圧力が作用するよう、厚み方向に加圧する加圧工程を含むことを特徴とする。
    • 本发明的目的是提供一种用于接合两个基板的方法和用于接合两个基板的装置,使得第一基板和第二基板能够通过功能膜结合,从而不直接彼此接触,除了通孔 功能膜。 根据本发明的用于接合两个基板的方法是通过具有指定周边形状的功能膜,第二基板和在其表面上形成有功能膜的第一基板接合,其特征在于包括:紫外线 射线照射步骤,用真空紫外线照射形成在第一基板表面上的功能膜的表面; 堆叠步骤,用于层叠经过紫外线照射步骤的第二基板和第一基板,使得功能膜的表面和第二基板的接合表面彼此接触; 以及压力施加步骤,用于在厚度方向施加在通过层叠步骤获得的第一基板和第二基板的层叠体上的压力,使得在功能膜和第二基板接触的部分上选择性地施加压力 与彼此。