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    • 3. 发明申请
    • 塗工装置および塗工方法
    • 涂布装置和涂布方法
    • WO2018037670A1
    • 2018-03-01
    • PCT/JP2017/021296
    • 2017-06-08
    • 株式会社SCREENホールディングス
    • 川上 拓人高木 善則岡田 広司
    • B05C5/02B05C9/14B05C11/00B05D1/26B05D3/02B05D7/00H01M4/88H01M8/02H01M8/10
    • B05C5/02B05C9/14B05C11/00B05D1/26B05D3/02B05D7/00H01M4/88H01M8/02H01M8/10
    • この塗工装置は、基材を保持するバックアップローラ(10)と、バックアップローラ(10)を回転させる駆動部と、バックアップローラ(10)に保持された基材の表面に向けて塗工液を吐出するノズル(41)と、基材の表面に塗布された塗工液を加熱する加熱部と、を備える。また、この塗工装置は、ノズル(41)の吐出口(411)の近傍に気体を吹き付ける気体吹付部(42)をさらに備える。このため、吐出口(411)の近傍において塗工液から溶媒が気化しても、当該溶媒の蒸気を含む気体は、気体吹付部(42)から吐出される気体に置換される。したがって、塗工液から気化した溶媒が、ノズル(41)の吐出口(411)付近に凝集することを抑制できる。その結果、溶媒の凝集に起因する塗工液の吐出不良を抑制できる。
    • 该涂层设备包括用于保持所述衬底支撑辊(10),支承辊(10)和用于支撑辊旋转的驱动单元一直是基板保持(10) 朝向设置有喷嘴(41)用于排出的涂布液,对所施加的涂布液加热到所述衬底的所述表面的加热部,该表面上。 此外,涂布装置还包括气体喷射部喷射气体至喷嘴(41)(411)(42)的排出口的附近。 因此,即使从涂布液的溶剂中的排出口(411)的附近被蒸发,将含有溶剂的蒸汽的气体被替换为从所述气体喷射部(42)排出的气体。 因此,可以从聚集到排出口(411)的喷嘴(41)附近被防止从涂敷液蒸发的溶剂。 结果,可以抑制由于溶剂聚集而造成的涂布液的排出不良。