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    • 2. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN VON METALLISCHEN WERKSTOFFEN
    • WO2022018133A1
    • 2022-01-27
    • PCT/EP2021/070378
    • 2021-07-21
    • VOESTALPINE STAHL GMBH
    • HAGLER, JosefSTELLNBERGER, Karl-Heinz
    • C23C14/24C23C14/56C23C14/54
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum kontinuierlichem Abscheiden von metallischen Schichten aus einer Dampfphase auf metallischen Substraten, bevorzugt Metallbändern, insbesondere Stahlbändern, wobei die Abscheidung in einer Beschichtungskammer (2) einer Beschichtungsvorrichtung (1) unter Vakuum durchgeführt wird, indem ein Substrat (9) im Wesentlichen vertikal, mit einer Abweichung des Substrats vom Lot von 0 bis 10 °, durch die Beschichtungskammer (2) in eine Bandlaufrichtung durchgeführt wird, wobei zumindest eine Trageeinrichtung (3) in der Beschichtungskammer (2) vorhanden ist, welche benachbart zu einer Oberfläche des Substrates (9) angeordnet ist, wobei ein zu verdampfendes Metall in einem Aufschmelzbecken (14) eingeschmolzen wird und ein flüssiger Metallstrom in die Beschichtungskammer (2) aus einer Umlaufanordnung (8) eingeführt und über die Trageeinrichtung (3) geführt wird, wobei die Trageeinrichtung (3) temperiert wird, so dass das flüssige Metall im Vakuum verdampft und auf dem metallischem Substrat (9) durch Kondensation und/oder Sublimation abgeschieden wird, wobei das Aufschmelzbecken (14) in der Umlaufanordnung (8) außerhalb der Beschichtungskammer (2) angeordnet wird, wobei zwischen dem Substrat (9) und der Trageeinrichtung (3) eine Plasmaeinkopplung (12) zur Einkopplung von Plasma angeordnet wird.