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    • 3. 发明申请
    • MODULATEUR OPTIQUE A HAUT DEBIT EN SEMI-CONDUCTEUR SUR ISOLANT.
    • 高数据速率SOI光学调制器
    • WO2010109134A1
    • 2010-09-30
    • PCT/FR2010/050531
    • 2010-03-24
    • UNIVERSITE PARIS-SUDCENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUEMORINI, DelphineRASIGADE, GillesVIVIEN, Laurent
    • MORINI, DelphineRASIGADE, GillesVIVIEN, Laurent
    • G02F1/025
    • G02F1/025
    • L'invention concerne un composant de modulation électro-optique, en particulier sur un substrat (50, 51) de type SOI, amélioré pour de meilleures performances dans les débits supérieurs à 10 Gb/s. Cette amélioration est obtenue en diminuant l'influence des effets capacitifs de la structure et de son environnement, et plus particulièrement dans lequel : L'influence de la capacité de la structure elle-même est limitée par une diminution de la résistance d'accès dans les régions dopées, ou L'influence de l'effet capacitif de l'environnement est diminué par une modification de la structure du substrat (50, 51) à l'aplomb de la région active (520), par exemple en amincissant le substrat (50) en silicirem ou l'isolant 51, ou; une combinaison de ces caractéristiques. L'invention concerne en outre un procédé de fabrication d'un tel composant, ainsi qu'un dispositif ou système incluant un tel composant. Ces améliorations sont applicables aux procédés d'assemblage par intégration 3D et aux circuits hybrides électroniques et optiques.
    • 本发明涉及一种电光调制元件,特别是在绝缘体上半导体(50,51)上,改善了在高于10Gb / s的数据速率下的更佳性能。 这种改进是通过减小结构及其环境的电容效应的影响而获得的,更具体地,其中结构本身的电容的影响通过降低掺杂区域中的访问电阻或其影响而受到限制 通过例如通过使硅衬底(50)或绝缘体51变薄或这些特征的组合来修改垂直于有源区(520)下方的衬底(50,51)的结构来减小环境的电容效应。 本发明还涉及制造这种部件的方法以及包括这种部件的装置或系统。 这些改进适用于3D集成组装过程和电子和光学混合电路。
    • 4. 发明申请
    • MODULATEUR OPTIQUE COMPACT A HAUT DEBIT EN SEMI-CONDUCTEUR SUR ISOLANT
    • INSULANT高速紧凑光学调制器半导体
    • WO2011039478A1
    • 2011-04-07
    • PCT/FR2010/052056
    • 2010-09-29
    • UNIVERSITE PARIS SUD 11RASIGADE, GillesVIVIEN, LaurentMARRIS-MORINI, Delphine
    • RASIGADE, GillesVIVIEN, LaurentMARRIS-MORINI, Delphine
    • G02F1/025G02F1/035
    • G02F1/0356G02F1/025G02F2201/127
    • L'invention concerne un composant, dispositif et système de modulation électro-optique amélioré pour augmenter la compacité, favoriser l'adaptation des ondes optiques et électriques, et un procédé de fabrication. Selon l'invention, un tel composant présente une architecture de guide d'onde (690) agencée pour que la longueur (L611) du trajet suivi par le flux lumineux présente, avec la longueur (L609) du trajet parcouru par le signal électrique de commande, une différence déterminée pour diminuer ou compenser la différence des vitesses (V609, V611) de propagation du flux lumineux et du signal électrique. En particulier, la zone de modulation comprend un trajet du flux lumineux s 'enroulant sur lui-même et traversant successivement au moins deux indentations émanant d'au moins deux de ces éléments de commande. Il présente ainsi une longueur supérieure à celle parcourue par le signal électrique, par exemple entre une première (R1a) et une deuxième (R2a) région d'interaction entre ce signal de commande et ce flux lumineux.
    • 本发明涉及用于增加紧凑性的组件,装置和改进的电光调制系统,有利于光和电波的适应以及制造方法。 根据本发明,这样的部件表现出波导结构(690),其设计为使得光通量之后的路径的长度(L611)表现为通过电控制信号穿过的路径的长度(L609)为 用于减小或补偿光通量和电信号的传播速度差(V609,V611)的差分。 特别地,调制区域包括围绕其自身绕射的光束的路径,并且连续地穿过从这些控制元件中的至少两个发出的至少两个凹陷。 因此,其显示的长度大于由电信号穿过的长度,例如在该控制信号和该光通量之间的第一(RIa)和第二(R2a)相互作用区域之间。