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1. 发明申请

WO2008003302A1 VERFAHREN ZUR ABTASTUNG OPTISCHER INTERFERENZMUSTER MIT ZEILENSENSOREN 审中-公开
标题翻译：方法的用线传感器扫描光学干涉图案
公开(公告)号：WO2008003302A1
公开(公告)日：2008-01-10
申请号：PCT/DE2007/001179
申请日：2007-07-04
申请人： UNIVERSITAET ZU LUEBECK , HUETTMANN, Gereon , KOCH, Peter
发明人： HUETTMANN, Gereon , KOCH, Peter
IPC分类号： G01J9/02
CPC分类号： G01J9/02 , G01N21/4795
摘要： Verfahren zur elektronischen Abtastung der Intensitätsverteilung eines optischen Interferenzmusters mit einem linearen Bildsensor (26), der eine feste Abtastfrequenz durch seine Pixelbreite vorgibt, wobei das Interferenzmuster durch Überlagerung zweier unter einem beliebigen vorgegebenen Winkel α zueinander einfallender, zeitlich teilkohärenter Strahlen (20, 22) entsteht und Interferenzstreifen mit einer Trägerfrequenz größer als die Abtastfrequenz sowie eine gegenüber der Pixelbreite langsam veränderliche Amplitudenmodulation aufweist, wobei entweder ein optisches Gitter (24) im Strahlengang des ersten der beiden einfallenden Strahlen und der Bildsensor (26) im Beugungsbild des Gitters so angeordnet wird, dass am Ort des Bildsensors (26) wenigstens ein vom Gitter (24) in Richtung einer Nebenbeugungsordnung ausgehender Strahl und der zweite vom Gitter nicht beeinflusste Einfallsstrahl (22; 20) interferieren, und die Strahlen (20, 22) einen Winkel β am Ort des Bildsensors (26) einschließen, der kleiner als α ist. oder wenigstens ein optisches Gitter (24) im Strahlengang beider einfallender Strahlen angeordnet wird und der Bildsensor (26) im Beugungsbild des Gitters bzw. der Gitter so angeordnet wird, dass am Ort des Bildsensors (26) wenigstens zwei von dem wenigstens einen Gitter ausgehende Strahlen verschiedener Beugungsordnungen der einfallenden Strahlen interferieren, wobei die von dem wenigstens einen Gitter ausgehenden Strahlen einen Winkel β am Ort des Bildsensors (26) einschließen, der kleiner als α ist.
摘要翻译：一种用于电子扫描的光学干涉图案的强度分布与线性图像传感器（26），其通过它的像素宽度设置一个固定的采样频率，其中，通过以任意预定的角度重叠两个彼此入射到干涉图案，时间部分相干光被形成（20，22）的方法和具有具有载波频率比的采样频率和一个相对于该像素的宽度更大的干涉条纹缓慢变化的幅度调制，其特征在于，无论是在第一的两束入射光并在光栅的衍射图案的图像传感器（26）的光束路径中的衍射光栅（24）被布置成使得干涉，并且光线（20，22）形成在图像传感器的位置的角度β;在所述图像传感器（26）在出射光束和所述第二的较小衍射级的方向上的网格（24）中的至少一个的位置不被所述光栅的入射光束（20 22）的影响（26）包括比一个更小的。或至少一个在两个入射光束的光路中的光栅（24）设置，与该光栅或光栅的衍射图像中的图像传感器（26）被设置为使得在所述图像传感器的位置（26）的至少两个从所述至少一个网格光束延伸入射光束的衍射的各种顺序干扰，其中，所述从所述至少一个角度ß一个光栅射光束包括在所述图像传感器（26），其是比小的位置。

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