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1. 发明申请

WO2020193794A1 METALLKOMPLEXE FÜR GASPHASEN-DÜNNSCHICHTABSCHEIDUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2020193794A1
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：PCT/EP2020/058865
申请日：2020-03-27
申请人： UMICORE AG & CO. KG
发明人： SUNDERMEYER, Joerg , SCHUMANN, Henrik , SCHORN, Wolf , RAU, Nicholas , FREY, Annika , KARCH, Ralf , WOERNER, Eileen , DOPPIU, Angelino
IPC分类号： C07F17/02 , C07F5/00 , C23C16/18 , C23C16/455
摘要： Es werden Metallkomplexeder Formel (I) beschrieben: [M(L 1 )x(L 2 ) y (hydra)z] n Formel (I) wobei: M=Metallatom mit einer Ordnungszahl ausgewählt aus den Bereichen a) bis c): a)12, 21 bis 34, mit Ausnahme von 30, b)39 bis 52, mit Ausnahme von 48, c)71 bis 83, mit Ausnahme von 80, L 1 =neutraler oder anionischer Ligand, mit x = 0 oder 1,1 L 2 =neutraler oder anionischer Ligand, mit y = 0 oder 1, (hydra) =Acetondimethylhydrazon-Monoanion, mit z = 1, 2 oder 3, n = 1 oder 2 ist, und die Gesamtladung des Komplexes 0 ist.

2. 发明申请

WO2015136049A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TRIALKYLGALLIUM-VERBINDUNGEN UND DEREN VERWENDUNG 审中-公开
标题翻译：用于生产三烷基化合物及其用途
公开(公告)号：WO2015136049A1
公开(公告)日：2015-09-17
申请号：PCT/EP2015/055211
申请日：2015-03-12
申请人： UMICORE AG & CO. KG
发明人： SCHORN, Wolf , SUNDERMEYER, Joerg , FREY, Annika , KARCH, Ralf , RIVAS-NASS, Andreas , WOERNER, Eileen , DOPPIU, Angelino
IPC分类号： C07F5/00 , H01L21/02
CPC分类号： C07F5/00 , C23C16/18 , H01L21/0262
摘要： Die Erfindung betrifft ein verbessertes Verfahren zur kostengünstigen und umweltschonenden Herstellung von Trialkylgallium-Verbindungen der allgemeinen Formel : R 3 Ga mit hoher Ausbeute und Selektivität, wobei R ein Alkylrest mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen ist. Die Herstellung von Trialkylgallium erfolgt erfindungsgemäß über die Zwischenstufe Alkylgalliumdichlorid (RGaCI 2 ) bzw. Dialkylgalliumchlorid/Alkylgalliumdichlorid-Mischung (R 2 GaCI/RGaCl 2 ). Erfindungsgemäß ist auch das hergestellte RGaCI 2 bzw. die R 2 GaCI/RGaCl 2 -Mischung. Das erfindungsgemäße neue Verfahren zeichnet sich durch die verbesserte Verfahrensführung aus. Durch gezielte und weitgehende Verwendung kostengünstiger und gering umweltschädlicher Ausgangsstoffe und Reagenzien ist das Verfahren auch für den industriellen Maßstab geeignet. Die hergestellten Trialkylgallium-Verbindungen sind aufgrund der hohen Reinheit besonders geeignet als metallorganischer Präkursor für die metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) oder die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE) in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik.
摘要翻译：本发明涉及一种廉价且环境友好的生产通式的三烷基镓化合物的改进的方法：用R3Ga高产率和选择性，其中R是具有1至4个碳原子的烷基。根据本发明的三烷基镓的生产经由中间Alkylgalliumdichlorid（RGaCI2）或Dialkylgalliumchlorid / Alkylgalliumdichlorid混合物（R2GaCI / RGaCl2）进行。根据本发明，也是RGaCI2或制造的R2GaCI / RGaCl2混合物。根据本发明的新方法的特征在于改进的工艺控制。通过具体的和广泛使用的廉价且低污染的原料和试剂的，该方法也适用于工业规模。制备三烷基化合物作为在半导体和微系统技术金属有机化学气相沉积（MOCVD）或金属有机气相外延（MOVPE）有机金属前体是特别有用的，由于高纯度。

3. 发明申请

WO2020021083A1 ORGANOMETALLIC COMPOUNDS FOR THE MANUFACTURE OF A SEMICONDUCTOR ELEMENT OR ELECTRONIC MEMORY 审中-公开
公开(公告)号：WO2020021083A1
公开(公告)日：2020-01-30
申请号：PCT/EP2019/070212
申请日：2019-07-26
申请人： UMICORE AG & CO. KG
发明人： RAU, Nicholas , SUNDERMEYER, Jörg , SCHUMANN, Henrik , RIVAS NASS, Andreas , FREY, Annika , SCHORN, Wolf , WÖRNER, Eileen , KARCH, Ralf , DOPPIU, Angelino
IPC分类号： C07F15/00 , H01L33/00 , H01L21/00
摘要： The invention relates to compounds in accordance with the general formula [Ru(arene)(R a -N=CR 1 -CR 3 =N-R b )] or [Ru(arene)((R c ,R d )N-N=CR H1 -CR H3 =N-N(R e ,R f ))]. In this case, arene is selected from the group consisting of mononuclear and polynuclear arenes and heteroarenes. R 1 , R 3 , RH 1 , R H3 and R a - R f are independently selected from the group consisting of H, an alkyl radical (C1 - C10) and an aryl radical. It further relates to methods for the production of these compounds, compounds obtainable according to these methods, their use and a substrate having on a surface thereof a ruthenium layer or a layer containing ruthenium. In addition, the invention relates to a method for producing compounds [Ru(arene)X 2 ]2, wherein arene is selected from the group consisting of mononuclear and polynuclear arenes and X = halogen, compounds of this type obtainable according to this method, and their use. The aforementioned ruthenium(O) compounds can be produced in a simple, cost- effective and reproducible manner with a high degree of purity and good yield. Due to their high degree of purity, they are suitable for use as ruthenium(O) precursors.

4. 发明申请

WO2020021080A1 ORGANOMETALLIC COMPOUNDS 审中-公开
公开(公告)号：WO2020021080A1
公开(公告)日：2020-01-30
申请号：PCT/EP2019/070208
申请日：2019-07-26
申请人： UMICORE AG & CO. KG
发明人： SCHORN, Wolf , FREY, Annika , WÖRNER, Eileen , DOPPIU, Angelino , KARCH, Ralf
IPC分类号： C07F15/06 , H01L21/205 , C23C16/18
摘要： The present patent application relates to novel allyl cobalt complexes, to a process for their preparation and to their use for vapor deposition.

5. 发明申请

WO2015024893A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ALKYLINDIUM-VERBINDUNGEN UND DEREN VERWENDUNG 审中-公开
标题翻译：用于生产ALKYLINDIUM化合物及其用途
公开(公告)号：WO2015024893A1
公开(公告)日：2015-02-26
申请号：PCT/EP2014/067546
申请日：2014-08-18
申请人： UMICORE AG & CO. KG
发明人： SUNDERMEYER, Joerg , FREY, Annika , SCHORN, Wolf , GROSSE-HAGENBROCK, David , KARCH, Ralf , RIVAS-NASS, Andreas , WOERNER, Eileen , DOPPIU, Angelino
IPC分类号： C07F5/00 , B01J19/12
CPC分类号： C07F5/00
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur kostengünstigen und umweltschonenden Herstellung von Dialkylindiumchlorid in hoher Ausbeute sowie mit hoher Selektivität und Reinheit. Das erfindungsgemäß hergestellte Dialkylindiumchlorid eignet sich, auch aufgrund der hohen Reinheit und Ausbeute, besonders zur bedarfsgerechten Herstellung Indium-haltiger Präkursoren mit hoher Ausbeute und Selektivität und in hoher Reinheit. Die erhältlichen Indium-haltigen Präkursoren sind aufgrund der hohen Reinheit besonders geeignet für die metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD; metal organic chemical vapour deposition) oder die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE; metal organic chemical vapor phase epitaxy). Das erfindungsgemäße neue Verfahren zeichnet sich durch die verbesserte Verfahrensführung aus, insbesondere eine schnelle Prozessführung. Durch gezielte und weitgehende Verwendung kostengünstiger und gering umweltschädlicher Ausgangsstoffe ist das Verfahren auch für den industriellen Maßstab geeignet.
摘要翻译：本发明涉及用于在高产量成本有效和环境友好的生产Dialkylindiumchlorid的和具有高选择性和纯度的方法。由本发明生产的Dialkylindiumchlorid也适合于高纯度和产率，特别是对于具有高产率和选择性按需生产含铟前体和高纯度。可用的含铟的前体特别适合于金属有机化学气相沉积（MOCVD;有机金属化学气相沉积）由于高纯度或有机金属气相外延（MOVPE，金属有机化学气相外延）。根据本发明的新方法的特征在于改进的过程管理，特别是一个快速的过程控制。通过具体的和广泛使用的廉价且低污染的起始原料的，该方法也适用于工业规模。

6. 发明申请

WO2021197597A1 METAL ORGANIC COMPOUNDS 审中-公开
公开(公告)号：WO2021197597A1
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：PCT/EP2020/059261
申请日：2020-04-01
申请人： UMICORE AG & CO. KG
发明人： RAU, Nicholas , SCHORN, Wolf , FREY, Annika , DOPPIU, Angelino , WOERNER, Eileen , KARCH, Ralf
IPC分类号： C07F11/00 , C07F11/005
摘要： The invention concerns a process for preparing an essentially silicon (Si) free compounds of the general formula [M(O)(OR)y], wherein M = Mo, y = 3 or M = W, y = 3 or 4. Furthermore, it is directed towards compounds obtained by the aforementioned process and towards the use of such an obtained compound. Another objective of the herein described invention are essentially silicon free compounds of the general formula MOXy or [MOXy(solv)p], prepared using the aforementioned process, wherein M = Mo, y = 3 or M = W, y = 3 or 4, X = Cl or Br, solv = an oxidizing agent Z binding or coordinating to M via at least one donor atom, p = 1 or 2. The invention is also directed towards the use of essentially silicon free compounds prepared using the aforementioned process of the general formula MOXy or [MOXy(solv)p].

7. 发明申请

WO2018219823A1 HERSTELLUNG VON TRIALKYLINDIUMVERBINDUNGEN IN GEGENWART VON CARBOXYLATEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2018219823A1
公开(公告)日：2018-12-06
申请号：PCT/EP2018/063820
申请日：2018-05-25
申请人： UMICORE AG & CO. KG
发明人： SCHORN, Wolf , KARCH, Ralf , FREY, Annika , DOPPIU, Angelino , RIVAS NASS, Andreas , WOERNER, Eileen
IPC分类号： C07F5/00
摘要： Die Erfindung betrifft Verfahren zur Herstellung von Trialkylindium (InR 3 ), wobei die Herstellung in einem Reaktionsgemisch erfolgt, das mindestens ein Alkylindiumhalogenid, ein Trialkylaluminium (AIR 3 ), ein Carboxylat und ein Lösungsmittel enthält, wobei R unabhängig voneinander ausgewählt ist aus C1-C4 Alkyl und X unabhängig voneinander ausgewählt ist aus Cl, Br und I.

8. 发明申请

WO2012113761A1 METAL COMPLEXES WITH N-AMINOAMIDINATE LIGANDS 审中-公开
标题翻译：金属配合物与N-氨基酰胺配位体
公开(公告)号：WO2012113761A1
公开(公告)日：2012-08-30
申请号：PCT/EP2012/052878
申请日：2012-02-20
申请人： UMICORE AG & CO. KG , SUNDERMEYER, Joerg , SCHORN, Wolf , KARCH, Ralf
发明人： SUNDERMEYER, Joerg , SCHORN, Wolf , KARCH, Ralf
IPC分类号： C07F19/00 , C23C16/00
CPC分类号： C07F15/04 , B01J31/1805 , B01J2231/321 , B01J2531/0238 , B01J2531/10 , B01J2531/30 , B01J2531/40 , B01J2531/50 , C07C257/12 , C07C257/14 , C07F5/00 , C07F5/063 , C07F5/066 , C07F5/069 , C07F7/00 , C07F7/10 , C07F7/12 , C07F7/28 , C07F15/006 , C23C16/303 , C23C16/345
摘要： The invention relates to new metal complexes having N -aminoamidinate ligands, more particularly metal complexes having Ν,Ν' -bis(dimethylamino)acetamidinate, N,N' -bis(dimethylamino)formamidinate, N -dimethylaminoacetamidinate or N -dimethylamino-N'-isopropyl-acetamidinate ligands as well as to their preparation and use. The metal complexes are characterized by a five-membered chelate ring. The metal complexes are formed with the metals from the main groups of the PTE, but also with transition-group elements such as tantalum (Ta), iron (Fe), cobalt (Co), nickel (Ni), copper (Cu) or zinc (Zn), and also with precious metals such as palladium (Pd). The complexes of the invention find use as precursors for the preparation of functional layers by means of gas-phase thin-film processes such as CVD, MO-CVD and ALD. Additionally they may be used as catalysts for olefin hydroamination and for olefin polymerization.
摘要翻译：本发明涉及具有N-氨基脒基配体的新的金属配合物，更具体地说，具有α，α'-双（二甲基氨基）乙酰胺化脒，N，N'-双（二甲基氨基）甲脒，N-二甲氨基乙酰脒基或N-二甲基氨基-N' - 异丙基 - 乙酰胺化物配体，以及它们的制备和用途。金属络合物的特征在于五元螯合环。金属络合物由PTE的主要金属形成，也可以与过渡族元素如钽（Ta），铁（Fe），钴（Co），镍（Ni），铜（Cu）或锌（Zn），以及贵金属如钯（Pd）。本发明的络合物通过气相薄膜工艺如CVD，MO-CVD和ALD，用作制备功能层的前体。另外它们可以用作烯烃聚合和烯烃聚合的催化剂。

9. 发明申请

WO2023021064A1 METHOD FOR MAKING METAL TRIMETHYLENEMETHANE-CARBONYL COMPLEXES 审中-公开
公开(公告)号：WO2023021064A1
公开(公告)日：2023-02-23
申请号：PCT/EP2022/072912
申请日：2022-08-17
申请人： UMICORE AG & CO. KG
发明人： SCHORN, Wolf , FREY, Annika , GLÜER, Arne , KARCH, Ralf , RAU, Nicholas , ZYULKOV, Ivan
IPC分类号： C23C16/16 , H01L21/285 , C07F11/00 , C07F15/00 , C23C16/455
摘要： The Invention relates to a simple two-step method of making highly pure compounds of formula 1a with n being 1 or 2 and M being ruthenium or molybdenum and R being a linear or branched alkyl with 1 to 8 carbon atoms or a cyclic alkyl group with 3 to 9 carbon atoms from starting materials readily available.

10. 发明申请

WO2022135866A1 HERSTELLUNG VON MOO2CL 2 审中-公开
公开(公告)号：WO2022135866A1
公开(公告)日：2022-06-30
申请号：PCT/EP2021/083966
申请日：2021-12-02
申请人： UMICORE AG & CO. KG
发明人： EBERT, Timo , FREY, Annika , RAU, Nicholas , SCHORN, Wolf , KARCH, Ralf , WOERNER, Eileen , DOPPIU, Angelino
IPC分类号： C01G39/04
摘要： Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von MoO2Cl2 unter inerten Bedingungen, umfassend die Schritte: (i) Vorlegen von MoO2 in einem Reaktionsgefäß, (ii) Umsetzen des MoO2 in dem Reaktionsgefäß bei einer ersten Temperatur T1 mit zugeführtem Cl2 zu gasförmigem MoO2Cl2, (iii) Überführen des gasförmigen MoO2Cl2 in ein Auffanggefäß, (iv) Resublimieren des gasförmigen MoO2Cl2 in dem Auffanggefäß zu festem MoO2Cl2 bei einer zweiten Temperatur T2, die niedriger als T1 liegt, und (v) Rückgewinnen von festem MoO2Cl2 mit einer Reinheit bestimmt durch ICP-OES/MS von 99,9996 Gew.-% oder mehr. Weitere Gegenstände der Erfindung sind hochreines MoO2Cl2, dessen Verwendung und Elektronikkomponenten.

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