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    • 2. 发明申请
    • ÜBERWACHUNG DER TEMPERATUR EINES OPTISCHEN ELEMENTS
    • 监测的光学元件的温度
    • WO2009003449A1
    • 2009-01-08
    • PCT/DE2008/001053
    • 2008-06-27
    • TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBHSCHULZ, Joachim
    • SCHULZ, Joachim
    • G01K11/12G02B7/18
    • G01K11/125G02B7/008
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (26) zum Überwachen der Temperatur und/oder einer temperaturabhängigen Kenngröße, insbesondere des Brechungsindex oder der Wärmeleitfähigkeit, eines im Strahlengang eines Laserstrahls angeordneten, für Strahlung bei einer Laserwellenlänge λ L bevorzugt im Infrarot-Bereich transmissiven oder teiltransmissiven optischen Elements (9), umfassend: mindestens eine Messlichtquelle (28, 34) zum Erzeugen und Aussenden von Messstrahlung (29) auf das optische Element (9), mindestens einen Detektor (31, 36) zum Detektieren zumindest eines Teils der durch das optische Element (9, 20) hindurch getretenen Messstrahlung (29), sowie eine mit dem Detektor (31, 36) in Verbindung stehende Auswerteeinrichtung (33), welche die der Intensität der detektierten Messstrahlung (29) zugeordnete Temperatur und/oder temperaturabhängige Kenngröße in einem Durchtrittsbereich (37) der Messstrahlung (29) anhand einer vorgegebenen Beziehung zwischen der Intensität der detektierten Messstrahlung (29) und der Temperatur und/oder der temperaturabhängigen Kenngröße in dem Durchtrittsbereich (37) überwacht.
    • 本发明涉及一种装置(26),用于折射率或热导率中的一个激光波长λL优选透射式的或在红外范围内部分透射光学元件被布置在辐射的激光束的光束路径监测温度和/或温度相关的参数,特别是 (9),包括:至少一个测量光源(28,34),用于检测至少的一部分(由光学元件产生和发射所述光学元件(9)上测量辐射(29),至少一个检测器(31,36) 9,其已通过所述测量辐射(29),以及与检测器(31 20),与(所检测到的测量辐射29)的强度相关联的36)相关的评估装置(33)的温度和/或温度相关的特性变量(在通道区域 基于37)所述测量辐射(29)上的强度之间的预定关系 (37)监视的检测到的测量的辐射(29)和所述温度和/或在通道区域中的依赖于温度的特性。
    • 4. 发明申请
    • VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR LASERBEARBEITUNG
    • 装置和方法的激光加工
    • WO2009040103A1
    • 2009-04-02
    • PCT/EP2008/008076
    • 2008-09-24
    • TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBHBEA, MartinSCHULZ, JoachimZEFFERER, Hartmut
    • BEA, MartinSCHULZ, JoachimZEFFERER, Hartmut
    • B23K26/06
    • B23K26/0734
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Laserbearbeitung umfassend einen Laser (10) mit einem Resonator (11), der eingerichtet ist, einen Laserstrahl (100) mit einer vorbestimmten Kaustik zu erzeugen, ein optisches Element (30) zur Transformation des Laserstrahls (100) in einen Strahl (100') mit ringförmiger Intensitätsverteilung entlang eines Bereichs der Kaustik des Laserstrahls (100'), wobei die ringförmige Intensitätsverteilung im Bereich des kleinsten Durchmessers der Kaustik entlang der Propagationsrichtung des Strahls (100') in einer Ebene senkrecht zur Propagationsrichtung des Strahls (100') einen nach der 2.-Momente-Methode bestimmten Strahlradius (SR) und eine bei einer Intensität von 50% der Maximalintensität in radialer Richtung bestimmte Ringbreite (RB) aufweist, wobei der Quotient (Q) aus der Ringbreite (RB) und dem Strahlradius (SR) kleiner als 0,6, bevorzugt kleiner als 0,5 ist.
    • 本发明涉及一种设备,用于具有谐振器(11),其适于产生一个激光束(100)具有预定的苛性碱,光在变换的激光束(100)元件(30)的激光加工包括激光(10) 的梁(100“)沿着激光束(100的苛性碱的区域的环形强度分布”)表示,在沿垂直于一个平面上的光束(100“)的传播方向上的苛性碱的最小直径的区域中的环形强度分布(于光束的传播方向 100“)的特定的第二矩方法光束半径(具有SR)和在在环宽度(RB)的径向方向上的最大强度的50%的强度,给定的,其中,从环的宽度的商(Q)(RB)和后 光束半径(SR)小于0.6,优选小于0.5。
    • 5. 发明申请
    • EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG MIT EINER STRAHLBEEINFLUSSUNGSOPTIK
    • 与梁干涉光学型EUV辐射产生设备
    • WO2014206935A1
    • 2014-12-31
    • PCT/EP2014/063153
    • 2014-06-23
    • TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH
    • SCHULZ, JoachimLAMBERT, Martin
    • H05G2/00
    • H05G2/008H01S3/005H01S3/0071
    • Die Erfindung betrifft eine EUV-Strahlungserzeugungsvorrichtung (30), umfassend: mindestens eine Strahlungsquelle (31) zur Erzeugung eines ersten und zweiten Eintrittsstrahls (3a, 3b), sowie eine Strahlbeeinflussungsoptik (1) zur Beeinflussung des ersten und des zweiten, dem ersten zumindest teilweise überlagerten Eintrittsstrahls (3a, 3b) hinsichtlich Strahlrichtung und/oder Strahldivergenz, die Strahlbeeinflussungsoptik (1) umfassend: einen Strahlteiler (2), der ausgebildet ist, den ersten Eintrittsstrahl (3a) als ersten Austrittsstrahl (4a) zu reflektieren und den zweiten Eintrittsstrahl (3b) zu transmittieren, sowie ein im Strahlengang des transmittierten zweiten Eintrittsstrahls (3b) angeordnetes Spiegelelement (6), welches den zweiten Eintrittsstrahl (3b) zum Strahlteiler (2) zurück reflektiert, um einen vom Strahlteiler (2) transmittierten, dem ersten Austrittsstrahl (4a) zumindest teilweise überlagerten zweiten Austrittsstrahl (4b) zu bilden. Die Strahlbeeinflussungsoptik (1) ist zur Beeinflussung eines Winkels zwischen dem ersten und dem zweiten Austrittsstrahl (4a, 4b) und/oder zur Beeinflussung der Strahldivergenz des ersten und/oder des zweiten Austrittsstrahls (4a, 4b) ausgebildet.
    • 本发明涉及一种EUV辐射产生装置(30),包括:至少一个辐射,用于产生第一和第二输入束源(31)(3A,3B),和(1)用于影响所述第一和第二,第一至少部分地影响光学系统的光束 叠加输入光束(3A,3B)相对于所述光束的方向和/或光束发散度,光束影响光学系统(1),包括:反射光束分离器(2),其形成时,第一输入光束(3a)中作为第一输出光束(4a)和第二输入光束( 图3b来发送),以及(在发送的第二入射光束3b的光路),布置反射镜元件(6),其(分束器2)反射回第二输入光束(3B)到(由分束器2)发送(第一输出光束 图4a)在所述第二输出光束(4b)的至少部分地重叠形成。 束用于影响所述第一和第二输出光束之间的角度影响光学系统(1)(图4a,4b)和/或用于影响所述第一和/或第二输出光束的光束发散(4A,4B)形成。
    • 6. 发明申请
    • EUV-ANREGUNGSLICHTQUELLE MIT EINER LASERSTRAHLQUELLE UND EINER STRAHLFÜHRUNGSVORRICHTUNG ZUM MANIPULIEREN DES LASERSTRAHLS
    • 用激光束源和光束导向装置,以操控激光束EUV光刺激SOURCE
    • WO2013186052A1
    • 2013-12-19
    • PCT/EP2013/061056
    • 2013-05-29
    • TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH
    • LAMBERT, MartinSCHULZ, Joachim
    • H05G2/00
    • G21K5/04B23K26/0676H01S3/005H01S3/2391H05G2/005H05G2/008
    • Eine EUV-Anregungslichtquelle (1) mit einer Strahlführungsvorrichtung (22) zum Manipulieren mindestens eines Laserstrahls (10, 12) wird bereitgestellt. Die Strahlführungsvorrichtung (22) weist mindestens einen Strahlteiler (2) zum Erzeugen von mindestens zwei getrennten Strahlen (10', 11, 12', 13) aus dem mindestens einen Laserstrahl (10, 12), mindestens einen Spiegel (4, 5, 15, 16, 17, 18) oder eine Linse zum Manipulieren von mindestens einem der getrennten Strahlen (10', 11, 12', 13), einen Überlagerungsspiegel (3) zum Überlagern der mindestens zwei getrennten Strahlen (10'', 11''', 12'', 13'''), und eine fokussierende Einrichtung (6) zum Erzeugen eines jeweiligen Fokus (7, 8) der mindestens zwei getrennten Strahlen (10'', 11''', 12'', 13''') auf. Durch die Strahlführungsvorrichtung (22) können mindestens zwei Fokusse (7, 8) an einem gleichen Ort oder an zwei verschiedenen Orten gebildet werden.
    • 的EUV-激励光源(1)与光束引导装置(22)用于操纵至少一个激光束(10,12)设置。 束引导装置(22)包括至少一个分束器(2),用于产生至少一个激光束(10,12)的至少两个分离的光束(10”,11,12' ,13),至少一个反射镜(4,5,15 ,16,17,18)或用于操纵分离的光束中的至少一个(10”,11,12' ,13),叠加反射镜(3),用于叠加所述一个透镜的至少两个分离的光束(10 '',11 '' '12' ',13' ''),以及用于生成相应的焦点(7一个聚焦装置(6),8)的至少两个分离的光束(10 '',11 '' '12' ',13' '')上。 通过光束导向装置(22),至少两个焦点在同一个地方或在两个不同的位置形成(7,8)。
    • 10. 发明申请
    • MEHRTEILIGER KOLBEN FÜR EINEN VERBRENNUNGSMOTOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
    • 多部件活塞用于生产内燃机AND METHOD
    • WO2011006469A1
    • 2011-01-20
    • PCT/DE2010/000753
    • 2010-06-29
    • MAHLE INTERNATIONAL GMBHSCHULZ, JoachimKORTAS, Jochen
    • SCHULZ, JoachimKORTAS, Jochen
    • F02F3/00B23K1/00
    • F02F3/003F02B23/0672F02B23/0693Y02T10/125Y10T29/49252Y10T29/49256Y10T29/49263
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines mehrteiligen Kolbens (10, 110) für einen Verbrennungsmotor mit den folgenden Verfahrensschritten: Herstellen eines Kolbenoberteils (11) und eines Kolbenunterteils (12) mit jeweils einem inneren Stützelement (22, 26; 122, 126) mit Fügeflächen (24, 28; 124, 128) und einem äußeren Stützelement (23, 27; 123, 127) mit Fügeflächen (25, 29; 125, 129), Aufbringen eines Hochtemperatur-Lotwerkstoffs im Bereich mindestens einer Fügefläche (24, 28 bzw. 25, 29; 124, 128 bzw. 125, 129), Zusammensetzen von Kolbenoberteil (11) und Kolbenunterteil (12) zu einem Kolbenkörper durch Herstellen eines Kontakts zwischen den Fügeflächen (24, 28 bzw. 25, 29; 124, 128 bzw. 125, 129), Verbringen des Kolbenkörpers in einen Vakuumofen und Evakuieren des Vakuumofens; Erwärmen des Kolbenkörpers bei einem Druck von höchstens 10 -2 mbar auf eine Löttemperatur von höchstens 1300°C; Abkühlen des gelöteten Kolbens (10, 110) bei einem Druck von höchstens 10 -2 mbar bis zur vollständigen Erstarrung des Hochtemperatur-Lotwerkstoffs. Die vorliegende Erfindung betrifft ferner einen mit diesem Verfahren herstellbaren Kolben (10, 110).
    • 本发明涉及一种方法,用于执行下列步骤的内燃机产生的多部件活塞(10,110):准备活塞上部件(11)和一个下部活塞部分(12)各自具有内支撑构件(22,26; 122,126) 与接合表面(24,28; 124,128);具有连接表面和外支撑构件(123,127 23,27)(25,29; 125,129),在至少一个的区域中施加高温焊料材料接合表面(24,28 或25,29; 124,128,125,129),所述活塞上部件(11)和活塞底座(12)到活塞体的通过使接合表面(24,28和25,29之间的接触组件; 124,128 或125,129),使所述活塞体在真空炉中,并抽空真空炉; 加热所述活塞体在超过10-2毫巴到至多1300℃的钎焊温度下的压力; 冷却超过10-2毫巴的压力下钎焊活塞(10,110),直到高温焊料材料的完全固化。 本发明进一步通过该方法活塞(10,110)涉及一种生产。