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    • 2. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR INTEGRATION FUNKTIONELLER NANOSTRUKTUREN IN MIKRO- UND NANOELEKTRISCHE SCHALTKREISE
    • 方法功能性纳米结构的微型和纳米电路集成
    • WO2007017401A2
    • 2007-02-15
    • PCT/EP2006/064761
    • 2006-07-27
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFTSICKERT, DanielECKSTEIN, GeraldBENKE, AnnegretJOST, OliverMERTIG, MichaelTAEGER, Sebastian
    • SICKERT, DanielECKSTEIN, GeraldBENKE, AnnegretJOST, OliverMERTIG, MichaelTAEGER, Sebastian
    • H01L51/102B82Y10/00B82Y30/00H01L51/0048
    • Verfahren zur Integration funktioneller Nanostrukturen in mikro- und nanoelektrische Schaltkreise. Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung mindestens einer Nanostruktur (9) auf einem Substrat (17). Das Verfahren zeichnet sich aus durch auf dem Substrat (17) erfolgendes Ausbilden mindestens eines Multielektrodenaufbaus (11) , bei dem Elektroden jeweils hervorstehende Elektrodenbereiche mit von der Elektrode abgewandten Enden (5) aufweisen, die derart entlang einer Linie angeordnet sind, dass benachbarte Enden (5) jeweils eine mit einer Frequenz sich zeitlich verändernde Potentialdifferenz erzeugen; erzeugen einer Nanoobjekte (3) , wie beispielsweise Nanoröhren, Nanodrähte und/oder Kohlenstof fnanoröhren, aufweisenden Suspension und Übertragen der Suspension auf das Substrat (17) jeweils zwischen benachbarten Enden (5); jeweils entlang der Linie zwischen den benachbarten Enden (5) erfolgendes dielektrophoretisches Abscheiden separater Nanoobjektansammlungen (7); zur Ausbildung der Nanostruktur (9) erfolgendes Zusammenwachsen der Nanoobjektansammlungen (7) jeweils im Bereich der Enden (5) .
    • 程序在微观和纳米电路功能性纳米结构的整合。 本发明涉及一种用于在衬底(17)上产生至少一个纳米结构(9)。 该方法是通过在基板上区分(17)成功端形成至少一个多电极结构(11),其中,所述电极各自具有从电极的端部(5),其这样沿着相邻端部的线布置背向突出电极部分( 5)每产生一个随时间变化的电位差对应的频率; 产生纳米物体(3)如fnanoröhren例如,纳米管,纳米线和/或碳,包括悬浮液并将该悬浮液转移至相邻端部(5)之间的衬底(17); 在沿相邻端部(5)之间形成的单独的纳米对象集合(7)性能的介电电泳沉积线每种情况下; 用于形成形成纳米对象集合的成功融合的纳米结构体(9)(7)分别在端部的区域(5)。