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    • 3. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SOLARZELLEN MIT SELEKTIVEM EMITTER
    • 用于生产太阳能电池的选择性发射极
    • WO2010115730A1
    • 2010-10-14
    • PCT/EP2010/053985
    • 2010-03-26
    • BOSCH SOLAR ENERGY AGWUETHERICH, TobiasLOSSEN, JanWEISS, MathiasMEYER, Karsten
    • WUETHERICH, TobiasLOSSEN, JanWEISS, MathiasMEYER, Karsten
    • H01L21/225H01L31/18H01L31/068
    • H01L31/068H01L21/2255H01L31/1804Y02E10/547Y02P70/521
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von. Solarzellen mit selektivem Emitter. Zunächst werden sägeschadenfreie Wafer (1) bereitgestellt. Es erfolgt dann ein vollflächiges Aufbringen einer Dotierquelle (2) auf den Wafer sowie ein leichtes, erstes Eindiffundieren des Dotanden bis zum Erreichen eines ersten Schichtwiderstandsbereichs. Hieran schließt sich eine Strukturierung der aufgebrachten Dotierquelle an, wobei im Ergebnis der Strukturierung nur solche Bereiche (4) verbleiben, die im Wesentlichen den später zu kontaktierenden Abschnitten auf dem Wafer entsprechen. Es erfolgt ein Ausführen einer weiteren, zweiten Diffusion aus den verbliebenen Bereichen der Dotierquelle in das Wafervolumen hinein bis zum Erzielen eines zweiten Schichtwiderstandsbereichs für den selektiven Emitter (4) sowie ein gleichzeitiges Umverteilen des bei der ersten Diffusion eingebrachten Dotanden (5) mit dem Ziel des Absenkens der Dotierkonzentration in dem oberflächennahen Bereich, welcher nicht mehr mit der Dotierquelle bedeckt ist, unter der Maßgabe, dass die Schichtwiderstandswerte des ersten Schichtwiderstandsbereichs größer sind als diejenigen des zweiten Schichtwiderstandsbereichs.
    • 本发明涉及一种用于生产的方法。 太阳能电池的选择性发射极。 设置有第一sägeschadenfreie晶片(1)。 然后有一个掺杂剂源(2),以在晶片和扩散所述第一掺杂剂以达到第一薄层电阻范围内的光的全面积应用。 这之后是由所施加的掺杂剂源的结构连接到,并且保持在图案化的结果,只有那些(4)对应于所述后部分的区域要在晶片上大致接触。 有正在执行从掺杂剂源的剩余区域的另一第二扩散进入晶片体积内,以获得所述的选择性发射极的第二薄层电阻范围(4)和在所述第一扩散掺杂剂(5)的目的所导入的同时再分配 降低在未覆盖有掺杂剂源,前提条件是所述第一薄层电阻范围的薄层电阻值比所述第二薄层电阻范围的较大的表面附近区域中的掺杂浓度。