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1. 发明申请

WO2011138318A2 SCHRAUBEN-VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：螺杆真空泵
公开(公告)号：WO2011138318A2
公开(公告)日：2011-11-10
申请号：PCT/EP2011/057042
申请日：2011-05-03
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , DREIFERT, Thomas , JANICKI, Magnus , BIRCH, Peter , MÜLLER, Roland
发明人： DREIFERT, Thomas , JANICKI, Magnus , BIRCH, Peter , MÜLLER, Roland
IPC分类号： F04C18/16
CPC分类号： F04C25/02 , F04C18/084 , F04C18/16 , F04C29/04 , F04C2240/20
摘要： Eine Schraubenvakuumpurnpe weist in einem Schöpfraum (10) angeordnete Schraubenrotoren (12, 14) auf. Die Schraubenrotoren (12, 14) sind jeweils über zwei Lageelemente (20) in dem Pumpengehäuse gelagert und weisen ein Verhältnis von Rotorlänge (I) zum Abstand der Rotorachsen (d) auf, das größer als 3,0 ist. Ferner weisen die Schraubenrotoren (12, 14) eine variable Steigung, mindestens 7 Windungen und ein eingebautes Verdichtungsverhältnis von mindestens 4,5 auf. Die Steigung ist nach der Hälfte der Windungen kleiner als die zweifache Steigung am druckseitigen Rotorauslass (24).
摘要翻译：甲Schraubenvakuumpurnpe具有吸气室（10）布置的螺杆转子（12，14）。螺杆转子（12，14）每个都具有（20）安装在所述泵壳和具有转子（I）的长度的比率对于转子轴线（D），它是大于3.0的距离的两个层的元件。此外，螺杆转子（12，14）具有可变的间距，至少7匝和至少4.5内置的压缩比。斜率比两次压力侧Rotorauslass（24）的匝数的一半之后的斜率小。

2. 发明申请

WO2010076245A1 VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2010076245A1
公开(公告)日：2010-07-08
申请号：PCT/EP2009/067543
申请日：2009-12-18
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , BIRCH, Peter , JENKINS, Robert , TUNNA, Clive , DREIFERT, Thomas
发明人： BIRCH, Peter , JENKINS, Robert , TUNNA, Clive , DREIFERT, Thomas
IPC分类号： F01C21/10 , F04C18/16 , F04C25/02
CPC分类号： F04C18/16 , F01C21/104 , F04C25/02
摘要： Eine Vakuumpumpe, wie eine Schrauben-Vakuumpumpe, weist in einem Schopfraum angeordnete Pumpelemente (12) auf. Die schraubenlinienformig ausgebildeten Pumpelemente (12) sind jeweils von einer Rotorwelle (14) getragen. Die Rotorwelle (14) ist beidseitig gelagert. Um ein Reinigen der Rotorwellen (14) auf einfache Weise ohne erforderliche Demontage zu ermöglichen, weist das Gehäuse (10) erfindungsgemaß mindestens einen sich im Wesentlichen parallel zur Langsachse (30) der Rotorwellen (14) erstreckenden Seitendeckel (26, 28) auf.
摘要翻译：真空泵例如螺杆真空泵，具有，在毛束的空间布置的泵元件（12）。所形成的schraubenlinienformig泵送元件（12）分别通过转子轴（14）承载。所述转子轴（14）被支撑在两侧。转子轴的清洁，以使以简单的方式，而不需要拆除（14），所述壳体（10）根据本发明的至少一个基本上平行于所述转子轴（14）延伸的侧盖（26，28）的纵向轴线（30）。

3. 发明申请

WO2013023954A2 WÄLZKOLBENPUMPE 审中-公开
标题翻译：根
公开(公告)号：WO2013023954A2
公开(公告)日：2013-02-21
申请号：PCT/EP2012/065406
申请日：2012-08-07
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , BIRCH, Peter , DREIFERT, Thomas , JENTKINS, Robert , TUNNA, Clive
发明人： BIRCH, Peter , DREIFERT, Thomas , JENTKINS, Robert , TUNNA, Clive
CPC分类号： F04C18/126 , F04C18/086 , F04C23/001 , F04C23/003 , F04C25/02
摘要： Eine Wälzkolbenpumpe weist mehrere, jeweils eine Pumpstufe (50, 52, 54, 56, 58, 60) ausbildende mehrzähnige Drehkolbenpaare (10, 48, 49) auf. Benachbarte Pumpstufen (50, 52, 54, 56, 58, 60) sind über Verbindungskanäle (30, 34, 77, 84, 86, 88, 90) miteinander verbunden. Zur Verringerung der Herstellungskosten ist es erfindungsgemäß vorgesehen, die Verbindungskanäle (30, 34, 77, 84, 86, 88, 90) in benachbarte Pumpstufen (50, 52, 54, 56, 58, 60) voneinander trennenden Zwischenwänden (74, 76, 78, 80, 82) anzuordnen.
摘要翻译：罗茨泵具有多个，在每种情况下一个泵级（50，52，54，56，58，60）形成多齿对旋转活塞（10，48，49）的。经由连接通道相邻的泵级（50，52，54，56，58，60）（30，34，77，84，86，88，90）彼此连接。为了降低生产成本，这是本发明规定，彼此相邻的泵级的连接通道（30，34，77，84，86，88，90）（50,52，54，56，58，60），分隔隔板（74，76， 78，80安排82）。

4. 发明申请

WO2010072526A2 VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2010072526A2
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：PCT/EP2009/066252
申请日：2009-12-02
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , DREIFERT, Thomas , BIRCH, Peter , JENKINS, Robert
发明人： DREIFERT, Thomas , BIRCH, Peter , JENKINS, Robert
IPC分类号： F04C18/16 , F04C27/00
CPC分类号： F04C18/16 , F04C18/086 , F04C27/02 , F04C2220/10
摘要： Eine Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Schrauben-Vakuumpumpe handelt, weist ein Pumpengehäuse (14) auf, in dem Pumpelemente (10) angeordnet sind. Das Pumpengehäuse (14) weist einen ersten Flansch (48) auf, der mit einem zweiten Flansch (50) eines Pumpelements (10), wie eines Getriebegehäuses, verbunden ist. In einer der beiden Flanschfiächen (52) der Flanschverbindung (44) ist eine Dichtnut (54) vorgesehen, in der ein Dichtelement, wie ein O-Ring, angeordnet ist. Innerhalb der Dichtnut (54) ist ein umlaufender Schutzkanal (60) vorgesehen. Der Schutzkanal (60) ist über einen Gaskanal (62) und einen Verbindungskanal (64), beispielsweise mit einer Gasquelle oder eine Unterdruckwelle, verbunden. Durch das Vorsehen des Schutzkanals (60) erfolgt ein Schutz des in der Dichtnut (54) angeordneten Dichteiements.
摘要翻译：所述的真空泵，其中，特别地，螺旋真空泵具有在所述泵元件（10）被布置在泵壳体（14）。所述泵壳体（14）具有第一凸缘（48）设置有一泵送元件（10），第二凸缘（50），诸如传动装置壳体，分别。在凸缘（44）的两个Flanschfiächen（52）中的一个设置，其中将诸如O形环的密封构件，被布置在密封槽（54）。内的密封槽（54），周向保护信道（60）被提供。保护通道（60）经由气体流路（62）和连接通道（64），例如，连接到气体源或负压力波相连接。通过提供在密封槽的一个保护所述保护信道（60）（54）被布置Dichteiements。

5. 发明申请

WO2010142631A3 VAKUUMPUMPE 审中-公开
公开(公告)号：WO2010142631A3
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：PCT/EP2010/057899
申请日：2010-06-07
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , DREIFERT, Thomas , GIEBMANNS, Wolfgang , JENKINS, Robert , MÜLLER, Roland
发明人： DREIFERT, Thomas , GIEBMANNS, Wolfgang , JENKINS, Robert , MÜLLER, Roland
IPC分类号： H05K7/20
摘要： Eine Vakuumpumpe weist in einem Schöpfraum (12) Pumpelemente (14) auf. Eines der Pumpelemente (14) wird von einem Elektromotor (24) angetrieben. Zur Veränderung der Drehzahl des Elektromotors (24) ist ein Frequenzumrichter (30) vorgesehen. Der Frequenzumrichter (30) ist in einem unmittelbar mit dem Pumpengehäuse (10) verbundenen Frequenzumrichter- Gehäuse (32) angeordnet. Zur Kühlung des Frequenzumrichters (30) ist innerhalb des Frequenzumrichter-Gehäuses (32) ein Luftkühler (34) sowie ein Flüssigkeitskühler (36) angeordnet.

6. 发明申请

WO2010122021A3 VAKUUMPUMPENGEHÄUSE SOWIE KÜHLELEMENTE-SET FÜR EIN VAKUUMPUMPENGEHÄUSE 审中-公开
公开(公告)号：WO2010122021A3
公开(公告)日：2010-10-28
申请号：PCT/EP2010/055196
申请日：2010-04-20
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , DREIFERT, Thomas , GIEBMANNS, Wolfgang
发明人： DREIFERT, Thomas , GIEBMANNS, Wolfgang
IPC分类号： F01C21/00 , F01C21/10 , F04C25/02 , F04C29/04
摘要： Ein Vakuumpumpengehäuse weist ein einen Schöpfraum ausbildendes Pumpengehäuse (26) auf. In dem Schöpfraum sind Pumpelemente angeordnet. An einer ebenen Außenseite (30) des Pumpengehäuses (26) ist ein Kühlelement (10) angeordnet. Das Kühlelement (10) weist mindestens einen in Richtung der Außenseite (30) des Pumpengehäuses (26) offenen Kühlkanal (12) auf. Ferner betrifft die Erfindung ein Kühlelemente-Set mit mehreren Kühlelementen (10, 42, 44, 46) mit unterschiedlichen Außenabmessungen.

7. 发明申请

WO2010122020A2 VAKUUMPUMPENGEHÄUSE 审中-公开
标题翻译：真空罩
公开(公告)号：WO2010122020A2
公开(公告)日：2010-10-28
申请号：PCT/EP2010/055195
申请日：2010-04-20
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , GIEBMANNS, Wolfgang , DREIFERT, Thomas
发明人： GIEBMANNS, Wolfgang , DREIFERT, Thomas
IPC分类号： F04C29/04
CPC分类号： F04B39/06 , F01C21/007 , F01C21/10 , F04C25/02 , F04C29/04 , F04C2230/21 , F04C2240/30 , F05C2201/0442
摘要： Ein Vakuumpumpengehäuse, das insbesondere aus Grau- oder Sphäro-, Aluminium- oder Edelstahl-Guss hergestellt ist, weist an einer Gehäuseaussenseite mehrere Stege (12, 14) auf. Ferner ist ein Deckelelement (18) vorgesehen, das sich über mindestens zwei Stege (12, 14) erstreckt. Durch eine Innenseite (22) des Deckelelements (18) sowie zwei einander gegenüberliegende Seitenwände (26) benachbarter Stege (12, 14) ist ein Kühlkanal (16) zur Durchleitung von Kühlflussigkeit ausgebildet.
摘要翻译：真空泵壳体，它尤其是由灰色或韧性，铝或不锈钢铸钢，包括在壳体外侧上几个连接板（12，14）。此外，提供了一个盖件（18），其延伸过至少两个腹板（12，14）。通过该盖部件（18）和两个相对的侧壁（26）相邻的腹板（12，14）的内侧（22）是用于进行冷却Expansiontank形成的冷却通道（16）。

8. 发明申请

WO2008022916A1 VERFAHREN ZUR ABREAKTION SELBSTENTZÜNDLICHER STÄUBE IN EINER VAKUUMPUMPVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译： FOR SELF Abreaktion炎性DUST方法在真空泵装置
公开(公告)号：WO2008022916A1
公开(公告)日：2008-02-28
申请号：PCT/EP2007/058199
申请日：2007-08-07
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , ZÖLLIG, Uwe , DREIFERT, Thomas
发明人： ZÖLLIG, Uwe , DREIFERT, Thomas
IPC分类号： F04C29/00 , F04C28/28
CPC分类号： F04C28/28 , F04C18/16 , F04C29/0092 , F04C2220/12 , F04C2280/02 , F04D3/02 , F04D19/04 , Y10T137/85986
摘要： In eine Vakuumpumpvorrichtung, in die ein Prozessgas (38), das reaktive Partikel (40) enthalten kann, eingesaugt wird, wird kontrolliert über einen Sauerstoffeinlass (26, 26a, 26b) Sauerstoff in Form von Luft oder reinem Sauerstoff zugeführt. Dadurch erfolgt in dem Kompressionsraum (24) eine kontrollierte Oxidation, so dass die Stäube im Falle einer plötzlichen Belüftung sich nicht entzünden können.
摘要翻译：在真空中泵装置，其中工艺气体（38），所述反应性颗粒（40）可包含，被吸入，通过氧入口（26，26A，26B）的氧气在空气或纯氧气的形式提供控制。这导致压缩室（24）的受控氧化，以便在突然通风的情况下，粉尘没有被点燃。

9. 发明申请

WO2007082831A1 VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2007082831A1
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：PCT/EP2007/050250
申请日：2007-01-11
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , DREIFERT, Thomas , GROSS, Hans-Rochus
发明人： DREIFERT, Thomas , GROSS, Hans-Rochus
IPC分类号： F04C18/107
CPC分类号： F04C18/107 , F05C2201/0442
摘要： Eine Vakuumpumpe zur Erzeugung eines Vakuums in einem zu evakuierenden Raum weist ein Gehäuse (10) mit einem zylindrischen Innenraum (22) auf. In dem Innenraum (22) ist exzentrisch ein Verdränger (26) angeordnet. Zwischen dem Verdränger (26) und einer Innenwand (38) des Gehäuses (10) ist ein wendelförmiges Dichtelement (34) zur Ausbildung mindestens eines sichelförmigen Förderraums vorgesehen. Das Gehäuse (10) oder der Verdränger (26) sind mit einer Antriebseinrichtung (44) zum Erzeugen einer relativen Drehbewegung zwischen dem Gehäuse ( 10) und dem Verdränger (26) verbunden. Erfindungsgemäß ist die Vakuumpumpe als trockenlaufende Vakuumpumpe ausgebildet.
摘要翻译：一种真空泵，在被抽成真空的空间内产生的真空具有壳体（10）具有圆筒形内部（22）。在所述内部空间（22），一置换器（26）偏心地设置。置换器（26）和所述壳体的内壁（38）（10）之间提供了一种用于形成至少一个月牙形输送空间中的螺旋形密封件（34）。所述壳体（10）或置换器（26）被连接到驱动装置（44），用于产生所述壳体（10）和置换器（26）之间的相对旋转运动。根据本发明，真空泵被构造为干式运行真空泵。

10. 发明申请

WO2014072276A1 VAKUUMPUMPENSYSTEM ZUR EVAKUIERUNG EINER KAMMER SOWIE VERFAHREN ZUR STEUERUNG EINES VAKUUMPUMPENSYSTEMS 审中-公开
标题翻译：真空系统室，用于控制一个真空系统抽真空和方法
公开(公告)号：WO2014072276A1
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：PCT/EP2013/073021
申请日：2013-11-05
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH
发明人： SCHILLER, Dirk , SCHNEIDENBACH, Daniel , DREIFERT, Thomas , JANICKI, Magnus
IPC分类号： F04C23/00 , F04C25/02 , F04C28/02 , F04C28/08
CPC分类号： F04C23/005 , F04C18/126 , F04C18/16 , F04C25/02 , F04C28/02 , F04C28/08 , F04C2270/21 , F04C2270/56
摘要： Ein Vakuumpumpensystem zur Evakuierung einer Kammer (10) weist ein Hauptpumpensystem (12, 14) auf, das mit der Kammer (10) verbunden ist. Mit dem Hauptpumpensystem (12, 14) ist ein Hilfspumpensystem (20) verbunden, wobei das Hilfspumpensystem (20) eine Ejektorpumpe aufweist. Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt ein Regeln der Drehzahl der mindestens einen Pumpe des Hauptpumpensystems (12, 14) in Abhängigkeit eines am Auslass (16) oder am Einlass (50) des Hauptpumpensystems (12, 14) gemessenen Drucks.
摘要翻译：用于抽空的腔室（10）一种真空抽吸系统包括被连接到腔室（10）的主泵送系统（12，14）。与主泵系统（12，14）被连接到一台辅助泵系统（20），所述辅助泵送系统（20）包括喷射器。利用本发明的方法的调整主泵系统的至少一个泵的速度的辅助响应于一个出口（16）或在所述主泵系统（12，14）所测量的压力的入口（50）进行（12,14）。

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