专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2009104709A1 プラズマ発生装置审中-公开
标题翻译：等离子发生器
公开(公告)号：WO2009104709A1
公开(公告)日：2009-08-27
申请号：PCT/JP2009/052956
申请日：2009-02-20
申请人： NUエコエンジニアリング株式会社 , 堀勝 , 加納浩之 , 天野和男 , 小池哲哉 , 吉田直史 , 池戸俊之
发明人：堀勝 , 加納浩之 , 天野和男 , 小池哲哉 , 吉田直史 , 池戸俊之
IPC分类号： H05H1/24 , B08B7/00
CPC分类号： H05H1/48 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32467 , H01J37/3255
摘要：【課題】プラズマ発生領域の体積を大きくしたプラズマ発生装置。【解決手段】プラズマ発生装置１００は、アルミナ（Ａｌ 2 Ｏ 3 ）を原料とする焼結体から成る筐体１０を有する。筐体１０は、スリット状のガス導入部１２及び複数個の孔が直線状に配列された排出部２０を有する。ガス導入部１２からプラズマ化領域Ｐの直上までは、スリット幅を１ｍｍである。直径０．５ｍｍ、長さ、１６ｍｍの孔２４を有した第２排出部２２が、プラズマ化領域Ｐの長手方向に一直線状に形成されている。プラズマ化領域Ｐの断面は一辺２～５ｍｍの長方形とした。電極２ａ及び２ｂは各々向き合った表面に凹部（ホロー）を有する。６０Ｈｚ、１００Ｖを用いて約９ｋＶに昇圧し、２０ｍＡで電極２ａ、２ｂ間に印加し、アルゴンをガス導入部１８から導入すると、電極２ａ及び２ｂ間を４ｃｍ迄離間しても、プラズマ化が確認された。また、孔２４の先端と対象物の間の放電が防止された。
摘要翻译：公开了一种等离子体发生器，其中用于产生等离子体的区域的体积增加。等离子体发生器（100）具有由氧化铝（Al 2 O 3）的烧结体制成的壳体（10）。壳体（10）具有狭缝状气体导入部（12）和排列部（20），其中多个孔线性排列。狭缝的宽度从气体导入部（12）到等离子体区域（P）正上方为1mm。具有直径为0.5mm，长度为16mm的孔（24）的第二排出部（22）在等离子体区域（P）的长度方向上线性地形成。等离子体区域（P）的矩形截面具有2-5mm的一侧。电极（2a，2b）在彼此面对的表面中具有凹部（中空部分）。当将60Hz和100V的电压升压到约9kV并且施加在电极（2a，2b）之间以供给20mA的电流并且从气体引入部分（18）引入氩气时，甚至确认产生等离子体如果电极（2a，2b）分离达4cm。此外，防止在孔（24）的尖端和物体之间的排出。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式