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1. 发明申请

WO2004094022A3 PLEATED CONSTRUCTION FOR EFFECTING GAS TRANSFER MEMBRANE 审中-公开
标题翻译：用于影响气体传输膜的打桩结构
公开(公告)号：WO2004094022A3
公开(公告)日：2004-12-23
申请号：PCT/US2004012247
申请日：2004-04-22
申请人： MYKROLIS CORP , WU QUNWEI , BRODEUR CRAIG L , SHYU JIEH-HWA , MCNAMARA ERIC
发明人： WU QUNWEI , BRODEUR CRAIG L , SHYU JIEH-HWA , MCNAMARA ERIC
IPC分类号： B01D20060101 , B01D19/00 , B01D53/22 , B01D61/00 , B01D63/06
CPC分类号： B01D53/22 , B01D19/0031 , B01D61/00 , B01D63/067 , B01D63/14 , B01D2313/08 , B01D2313/086 , B01D2313/44 , C02F1/20 , C02F1/78 , C02F2201/782 , C02F2201/784
摘要： A contactor (10) for effecting passage of a gas through a membrane from a first fluid a to a second fluid, wherein contactor (10) has a cylindrical pleated membrane cartridge (24) that is positioned within a housing (12) having a first inlet (18) and a first outlet (20) for the first fluid and at least a second outlet (22) for the second fluid, with at least one baffle (30) positioned within a first flow path for the first fluid.
摘要翻译：一种用于使气体通过膜从第一流体a通至第二流体的接触器（10），其中接触器（10）具有定位在壳体（12）内的圆柱形褶裥膜滤芯（24），壳体（12）入口（18）和用于第一流体的第一出口（20）和用于第二流体的至少第二出口（22），其中至少一个挡板（30）定位在用于第一流体的第一流动路径内。

2. 发明申请

WO2006023041A2 SYSTEM AND METHOD FOR OPTIMIZING AND SIMULATING THERMAL MANAGEMENT SYSTEMS AND PREDICTIVE FLOW CONTROL 审中-公开
标题翻译：用于优化和模拟热管理系统和预测流量控制的系统和方法
公开(公告)号：WO2006023041A2
公开(公告)日：2006-03-02
申请号：PCT/US2005021976
申请日：2005-06-21
申请人： ENTEGRIS INC , WU QUNWEI , SMITH JOSEPH E
发明人： WU QUNWEI , SMITH JOSEPH E
IPC分类号： G06G7/48
CPC分类号： G06F17/5009 , G05B13/021 , G05B17/02 , G06F2217/80
摘要： Embodiments of the present invention provide a system and method for optimizing a thermal management system. One embodiment of the present invention can include a computer program product including computer instructions that are executable to receive a set of process parameters, including fluid parameters and heat exchanger parameters, and determine a time for a dispense fluid to reach a target temperature. Additionally, the instructions can be executable to determine a set of process parameters that result in a time to reach the target temperature of below a predefined limit. According to another embodiment of the present invention, a set of computer instructions can calculate the time it takes for a dispense fluid to reach a target temperature for predictive flow control of a heating/cooling fluid.
摘要翻译：本发明的实施例提供了一种用于优化热管理系统的系统和方法。本发明的一个实施例可以包括计算机程序产品，其包括可执行以接收包括流体参数和热交换器参数的一组过程参数的计算机指令，并且确定分配流体达到目标温度的时间。另外，指令可以被执行以确定一组过程参数，其导致达到目标温度低于预定极限的时间。根据本发明的另一个实施例，一组计算机指令可以计算分配流体达到目标温度所需的时间，以便对加热/冷却流体进行预测性流量控制。

3. 发明申请

WO2005042804A3 METHOD AND APPARATUS FOR FLUID PROCESSING A WORKPIECE 审中-公开
标题翻译：流体加工工艺的方法和装置
公开(公告)号：WO2005042804A3
公开(公告)日：2006-02-23
申请号：PCT/US2004035163
申请日：2004-10-22
申请人： NEXX SYSTEMS INC , KEIGLER ARTHUR , LIU ZHENQUI , HARRELL JOHN , WU QUNWEI
发明人： KEIGLER ARTHUR , LIU ZHENQUI , HARRELL JOHN , WU QUNWEI
IPC分类号： B23K15/00 , C25D5/18 , C25D5/22 , C25D7/12 , C25D17/00 , C25D21/10 , C25D21/12 , H01L21/00
CPC分类号： C25D17/001 , C25D5/003 , C25D7/123 , C25D17/005 , C25D17/06 , C25D21/10 , C25D21/12 , H01L21/67023 , H01L21/67126
摘要： A method and apparatus for fluid processing a workpiece are described. The system can include a process module and a system of one or more fluid processing elements to control the fluid flow and/or the electric field distribution during the fluid processing of the workpiece. A member can be used to agitate the fluid during deposition of a film (e.g., using an oscillatory motion). A plate can be used to shape an electric field incident on a surface of a workpiece. By controlling the fluid flow and the electric field distribution, improved deposition of the film on the workpiece surface can result. Furthermore, a vertical configuration and/or a modular architecture can be employed to improve throughput, increase productivity, and reduce cost.
摘要翻译：描述了用于流体处理工件的方法和装置。该系统可以包括处理模块和一个或多个流体处理元件的系统，以在工件的流体处理期间控制流体流动和/或电场分布。可以使用成员在膜的沉积期间搅拌流体（例如，使用振荡运动）。可以使用板来形成入射在工件表面上的电场。通过控制流体流动和电场分布，可以改善薄膜在工件表面上的沉积。此外，可以采用垂直配置和/或模块化架构来提高吞吐量，提高生产率并降低成本。

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