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1. 发明申请

WO2019057469A1 VORRICHTUNG ZUR AUSRICHTUNG UND OPTISCHEN INSPEKTION EINES HALBLEITERBAUTEILS 审中-公开
公开(公告)号：WO2019057469A1
公开(公告)日：2019-03-28
申请号：PCT/EP2018/073476
申请日：2018-08-31
申请人： MUEHLBAUER GMBH & CO. KG
发明人： AUGST, Franz Uwe , HOLZNER, Benjamin
IPC分类号： H01L21/67 , B65G47/91 , H05K13/04 , H05K13/08 , H01L21/683
摘要： Eine Vorrichtung zum Ausrichten und optischen Inspizieren eines an einem Aufnahmewerkzeug befindlichen Halbleiterbauteils, wobei das Aufnahmewerkzeug an einer ersten Wendeeinrichtung für das Halbleiterbauteil angeordnet ist, und wobei die Vorrichtung zum Ausrichten dazu bestimmt und eingerichtet ist, das Halbleiterbauteil relativ zu einem Zentrum des Aufnahmewerkzeugs in wenigstens einer Achsen-Richtung und/oder einer Dreh-Richtung auszurichten, wobei die erste Wendeeinrichtung dazu eingerichtet ist, um eine erste Wendeachse zu rotieren und dabei das Halbleiterbauteil aus einer ersten Aufnahmeposition in eine erste Absetzposition zu fördern, mit zwei aufeinander zu und voneinander weg beweglichen ersten Schiebern, die erste Schiebeabschnitte aufweisen, wobei die beiden ersten Schiebeabschnitte dazu bestimmt und eingerichtet sind, an zwei ersten Seitenflächen des Halbleiterbauteils zumindest abschnittsweise zur Anlage zu kommen, um das an dem Aufnahmewerkzeug befindliche Halbleiterbauteil auszurichten, indem die ersten Schieber dazu bestimmt und eingerichtet sind, das Halbleiterbauteil in eine Inspektionsposition hinzuschieben und/oder hinzudrehen, während das Aufnahmewerkzeug das Halbleiterbauteil hält.

2. 发明申请

WO2022111917A1 THERMOKOMPRESSIONSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VERBINDEN VON ELEKTRISCHEN BAUTEILEN MIT EINEM SUBSTRAT 审中-公开
公开(公告)号：WO2022111917A1
公开(公告)日：2022-06-02
申请号：PCT/EP2021/079313
申请日：2021-10-22
申请人： MUEHLBAUER GMBH & CO. KG
发明人： HOLZNER, Benjamin , AUGUST, Uwe Franz
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/60
摘要： Eine Thermokompressionsvorrichtung dient zum Verbinden elektrischer Bauteile mit einem Substrat, mit einem Unterwerkzeug mit einer Auflagefläche zum Auflegen des Substrats mit zumindest einem darauf angeordneten elektrischen Bauteil und einem Oberwerkzeug mit einem Anpresselement, das der Auflagefläche des Unterwerkzeugs zugewandt ist. Das Unterwerkzeug und das Oberwerkzeug sind relativ zueinander in einer Auf- / Zu-Bewegung bewegbar sind. Das Unterwerkzeug und/oder das Oberwerkzeug sind dazu eingerichtet, die Auf- / Zu-Bewegung durch einen ersten Antrieb und einen zweiten Antrieb auszuführen. Der erste Antrieb ist dazu eingerichtet, eine erste Bewegung in einem ersten Geschwindigkeitsbereich und einem ersten Hubbereich auszuführen. Der zweite Antrieb ist dazu eingerichtet, eine zweite Bewegung in einem zweiten Geschwindigkeitsbereich und einem zweiten Hubbereich auszuführen. Der erste Geschwindigkeitsbereich ist geringer als der zweite Geschwindigkeitsbereich, und der erste Hubbereich ist größer als der zweite Hubbereich. Das Unterwerkzeug oder das Oberwerkzeug trägt eine der Auflagefläche und/oder dem Anpresselement zugeordnete Thermodenanordnung. Diese Thermodenanordnung ist dazu eingerichtet, in das Bauteil und/oder das Substrat Heizenergie einzuspeisen, um einen zwischen das Bauteil und das Substrat eingebrachten oder dort befindlichen Klebstoff thermisch auszuhärten.

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